劈刀的制作方法
【專利摘要】一種劈刀，包括依序連接的刀身部、延伸部及刀鋒部，其中，該刀身部具有相對的第一側(cè)與第二側(cè)，且該第一側(cè)的寬度大于該第二側(cè)的寬度，該延伸部自該刀身部的第二側(cè)向該刀鋒部延伸，且該延伸部的寬度等于該刀身部在第二側(cè)的寬度，以于進行晶圓劈裂作業(yè)時，能避免碰撞及損毀晶圓上的外部結(jié)構(gòu)。
【專利說明】
劈刀
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及一種劈刀，特別涉及一種用于晶圓劈裂工藝的劈刀。
【背景技術(shù)】
[0002]常用半導(dǎo)體工藝中，晶圓于制造完成后，會進行薄化加工、切單工藝、封裝工藝等，其中，切單工藝的方式繁多，例如、激光切割、機械切割、劈裂分離等。
[0003]如圖1A及圖1B所示，常用劈裂式分離設(shè)備9包括:一機臺本體(圖略)、一設(shè)于該機臺本體下側(cè)的基座90、一設(shè)于該機臺本體上側(cè)的劈裂裝置92、以及一設(shè)于該基座90上的貼膜93。
[0004]于進行劈裂作業(yè)時，先將一具有多個預(yù)切割道80的晶圓8黏貼于該貼膜93上，且于該晶圓8上設(shè)有外部結(jié)構(gòu)7(如治具、線路、絕緣模、被動元件等)，該外部結(jié)構(gòu)7具有外露空間70以外露該預(yù)切割道80，再將該劈裂裝置92的劈刀I對位于其中一預(yù)切割道80上，并利用該劈裂裝置92的震動件91撞擊該劈刀I，使該劈刀I碰觸該晶圓8對應(yīng)該預(yù)切割道80的背面位置A，以令該晶圓8沿該預(yù)切割道80裂開(如裂痕S)。之后重復(fù)上述該劈裂裝置92的劈裂步驟，以于該晶圓8背面的直向與橫向上劈裂各該預(yù)切割道80，使該晶圓8分離成多個晶粒8a。
[0005]如圖1C所示，該劈刀I包括:一支撐部13、一刀身部10以及一刀鋒部12。該刀身部10的寬度自該上側(cè)朝該下側(cè)漸縮，且該支撐部13結(jié)合該刀身部10的上側(cè)，而該刀鋒部12結(jié)合該刀身部10的下側(cè)，并使該刀鋒部12的寬度與該刀身部10的寬度為漸縮。
[0006]或者，如圖1D所示，該劈刀I’復(fù)包括于該支撐部13與該刀身部10之間形成一可調(diào)整角度a的調(diào)整部10’，且該刀鋒部12的寬度與該刀身部10的寬度為非漸縮者。
[0007]然而，悉知圖1D所示的劈刀I’的強度較強，但其因具有該調(diào)整部10’，因而于進行晶圓劈裂作業(yè)時，容易碰撞及損毀該外部結(jié)構(gòu)7。
[0008]此外，若改用圖1C所示的劈刀1，雖可避免碰撞及損毀該外部結(jié)構(gòu)7的問題，但圖1C所示的劈刀I的強度較弱，故于進行晶圓劈裂作業(yè)時，該劈刀I容易斷裂。
[0009]因此，如何克服悉知技術(shù)的種種問題，實為一重要課題。
【實用新型內(nèi)容】
[0010]為解決上述悉知技術(shù)的問題，本實用新型公開一種劈刀，以于進行晶圓劈裂作業(yè)時，能避免碰撞及損毀晶圓上的外部結(jié)構(gòu)。
[0011]本實用新型的劈刀包括依序連接的刀身部、延伸部及刀鋒部，其中，該刀身部具有相對的第一側(cè)與第二側(cè)，且該第一側(cè)的寬度大于該第二側(cè)的寬度，該延伸部自該刀身部的第二側(cè)向該刀鋒部延伸，且該延伸部的寬度等于該刀身部在第二側(cè)的寬度。
[0012]在前述劈刀的一具體實施例中，該刀身部的寬度自該第一側(cè)朝該第二側(cè)漸縮。
[0013]在前述劈刀的一具體實施例中，該刀身部、延伸部及刀鋒部為一體成形。
[0014]在前述劈刀的一具體實施例中，該延伸部的側(cè)面為矩形。
[0015]在前述劈刀的一具體實施例中，該刀鋒部的側(cè)面為三角形。
[0016]在前述劈刀的一具體實施例中，還包括支撐部，該支撐部結(jié)合在該刀身部的第一偵U。其中，該支撐部的寬度等于該刀身部在第一側(cè)的寬度。
[0017]由上可知，本實用新型的劈刀主要通過該延伸部自該刀身部的第二側(cè)平直延伸，以于進行晶圓劈裂作業(yè)時，能避免碰撞及損毀晶圓上的外部結(jié)構(gòu)。
【附圖說明】
[0018]圖1A為常用劈裂式分離設(shè)備的剖面示意圖；
[0019]圖1B為圖1A的局部放大示意圖；
[0020]圖1C及圖1D為圖1A的劈刀的不同實施例的側(cè)面局部放大示意圖；
[0021]圖2為本實用新型的劈刀的側(cè)面不意圖；以及
[0022]圖3為本實用新型的劈刀于使用時的側(cè)面示意圖。
[0023]其中，附圖標記說明如下:
[0024]1、1’、2劈刀
[0025]10,20刀身部
[0026]10，調(diào)整部
[0027]12,22刀鋒部
[0028]13,23支撐部
[0029]20a第一側(cè)
[0030]20b第二側(cè)
[0031]21延伸部
[0032]22a劈裂端
[0033]7外部結(jié)構(gòu)
[0034]70外露空間
[0035]8晶圓
[0036]8a晶粒
[0037]80預(yù)切割道
[0038]81保護層
[0039]9劈裂式分離設(shè)備
[0040]90基座[0041 ]91 震動件
[0042]92劈裂裝置
[0043]93貼膜
[0044]a角度
[0045]A背面位置
[0046]D、R、W寬度
[0047]F劈裂作用力
[0048]L長度
[0049]S裂痕
[0050]Θ1νΘ2夾角
【具體實施方式】
[0051]以下通過特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所公開的內(nèi)容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點及功效。
[0052]須知，本說明書附圖所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所公開的內(nèi)容，以供本領(lǐng)域技術(shù)人員的了解與閱讀，并非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術(shù)上的實質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達成的目的下，均應(yīng)仍落在本實用新型所公開的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時，本說明書中所引用的如“上”、“第一”、“第二”及“一”等的用語，也僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當也視為本實用新型可實施的范疇。
[0053]圖2為本實用新型的劈刀2的側(cè)面示意圖。如圖2所示，該劈刀2包括:一支撐部23、一刀身部20、一延伸部21以及一刀鋒部22。
[0054]所述的刀身部20具有相對的第一側(cè)20a與第二側(cè)20b，且該第一側(cè)20a的寬度D大于該第二側(cè)20b的寬度R。
[0055]于本實施例中，該刀身部20的寬度自該第一側(cè)20a朝該第二側(cè)20b漸縮，使該刀身部20的側(cè)面呈錐狀，且產(chǎn)生一夾角0工，其中，該夾角0工可依需求而定。
[0056]所述的支撐部23結(jié)合該刀身部20的第一側(cè)20a，其寬度等于該第一側(cè)20a的寬度D。
[0057]所述的延伸部21自該刀身部20的第二側(cè)20b平直延伸至一長度L。
[0058]于本實施例中，該延伸部21的側(cè)面為矩形，使該延伸部21的寬度W等于該第二側(cè)20b的寬度R，其中，該延伸部21的長度L及該寬度W的尺寸可依需求而定。
[0059]所述的刀鋒部22結(jié)合該延伸部21，使該延伸部21位于該刀身部22與該刀鋒部20之間。
[0060]于本實施例中，該刀鋒部22的側(cè)面為三角形，使該刀鋒部22產(chǎn)生一具有夾角02的劈裂端22a，其中，該夾角02的角度可依需求而定。
[0061 ]于使用該劈刀2時，如圖3所示，將該劈刀2設(shè)于一劈裂設(shè)備(圖略，可參考圖1A及圖1B所示)上。然而，有關(guān)劈裂設(shè)備的種類繁多，并不限于上述，特此述明。
[0062]于進行劈裂作業(yè)時，于該晶圓8上設(shè)置一具有外露空間70的外部結(jié)構(gòu)7，并使該劈刀2的劈裂作用力F集中于該刀鋒部22上，再平均分散于該延伸部21上，使該刀鋒部22的劈裂端22a經(jīng)過該晶圓8而產(chǎn)生裂痕S后，以令該晶圓8受力后可沿該預(yù)切割道80裂開。
[0063]因此，該劈刀2通過該延伸部21自該刀身部20的第二側(cè)20b平直延伸，故于進行晶圓劈裂作業(yè)時，能避免碰撞及損毀該外部結(jié)構(gòu)7，且通過該刀身部20的支撐，使該劈刀2具有較強的強度。
[0064]此外，若該晶圓8上具有一如絕緣薄膜的保護層81，且該保護層81的硬度小于該晶圓8的硬度，使本實用新型的劈刀2通過該延伸部21的設(shè)計，以于進行晶圓劈裂作業(yè)時，該刀鋒部22經(jīng)過該保護層81后，相較于該刀身部20，該延伸部21能順利通過該保護層81，以避免該保護層81發(fā)生翹曲或變形。
[0065]綜上所述，本實用新型的劈刀通過該刀身部與延伸部的設(shè)計，不僅使該劈刀具有較強的強度，且于進行劈裂作業(yè)時，能有效避免碰撞及損毀晶圓的外部結(jié)構(gòu)。
[0066]上述實施例僅用以例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新型。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員均可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進行修改。因此本實用新型的權(quán)利保護范圍，應(yīng)如權(quán)利要求書所列。
【主權(quán)項】
1.一種劈刀，其包括依序連接的刀身部、延伸部及刀鋒部，其特征為，該刀身部具有相對的第一側(cè)與第二側(cè)，且該第一側(cè)的寬度大于該第二側(cè)的寬度，該延伸部自該刀身部的第二側(cè)向該刀鋒部延伸，且該延伸部的寬度等于該刀身部在第二側(cè)的寬度。2.如權(quán)利要求1所述的劈刀，其特征為，該刀身部的寬度自該第一側(cè)朝該第二側(cè)漸縮。3.如權(quán)利要求1所述的劈刀，其特征為，該延伸部的側(cè)面為矩形。4.如權(quán)利要求1所述的劈刀，其特征為，該刀鋒部的側(cè)面為三角形。5.如權(quán)利要求1所述的劈刀，其特征為，該刀身部、延伸部及刀鋒部為一體成形。6.如權(quán)利要求1所述的劈刀，其特征為，該劈刀還包括支撐部，該支撐部結(jié)合在該刀身部的第一側(cè)。7.如權(quán)利要求6所述的劈刀，其特征為，該支撐部的寬度等于該刀身部在第一側(cè)的寬度。
【文檔編號】H01L21/78GK205522036SQ201620096443
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年1月29日
【發(fā)明人】陳孟端
【申請人】正恩科技有限公司