本技術(shù)涉及晶圓加工，特別涉及一種高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置。

背景技術(shù)：

1、高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置是一種用于在玻璃晶圓表面進(jìn)行高精度數(shù)控精雕加工的設(shè)備，玻璃晶圓是用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)器件制造等領(lǐng)域的關(guān)鍵材料，在制造過(guò)程中需要進(jìn)行復(fù)雜精密的加工，以滿足精密度和光學(xué)性能的要求，高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置是專門用于這一類加工需求的設(shè)備。

2、目前，公開號(hào)為：cn219901337u的中國(guó)實(shí)用新型，公開了一種高精度cnc自動(dòng)化多機(jī)頭精雕機(jī)，該精雕機(jī)旨在解決現(xiàn)有技術(shù)下碎屑會(huì)堆積在機(jī)床的凹槽內(nèi)，長(zhǎng)時(shí)間未清理，碎屑會(huì)繼續(xù)堆疊，影響板件放置的技術(shù)問(wèn)題，該精雕機(jī)包括機(jī)臺(tái)、數(shù)控箱以及機(jī)床，數(shù)控箱的表面安裝有精雕頭，機(jī)床的表面設(shè)有清潔裝置，清潔裝置包括兩個(gè)導(dǎo)軌，導(dǎo)軌和機(jī)床的表面固定連接，導(dǎo)軌的表面滑動(dòng)連接有滑塊，滑塊的表面滑動(dòng)連接有支撐板，兩個(gè)支撐板彼此接近的一面放置有清潔刷，支撐板的側(cè)壁固定連接有擋板，擋板的表面螺紋連接有螺桿，清潔刷的側(cè)壁開設(shè)有圓槽，螺桿的尺寸和清潔刷側(cè)壁圓槽的尺寸相適配，清潔刷的表面固定連接有若干個(gè)磁鐵塊。

3、在對(duì)玻璃晶圓進(jìn)行高精度加工時(shí)，就會(huì)使用到高精度數(shù)控精雕加工設(shè)備，而高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置就是其中一種，但是現(xiàn)有的高精度玻璃晶圓精雕設(shè)備缺少對(duì)不同種類晶圓裝載的可切換式結(jié)構(gòu)，無(wú)法根據(jù)所需精雕方式實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)晶圓位置，降低了對(duì)晶圓加工的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型提供一種高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置，旨在解決現(xiàn)有的高精度玻璃晶圓精雕設(shè)備缺少對(duì)不同種類晶圓裝載的可切換式結(jié)構(gòu)，無(wú)法根據(jù)所需精雕方式實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)晶圓位置，降低了對(duì)晶圓加工的問(wèn)題。

2、本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置，包括機(jī)殼和切換機(jī)構(gòu)，所述機(jī)殼的頂部栓接有精雕機(jī)頭，所述機(jī)殼的內(nèi)側(cè)卡接有裝載盤，所述裝載盤的內(nèi)側(cè)栓接有伺服電機(jī)，所述裝載盤內(nèi)側(cè)的后側(cè)栓接有液壓桿，所述液壓桿的頂部栓接有卡盤，所述切換機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在卡盤的內(nèi)側(cè)；

3、所述切換機(jī)構(gòu)包括更替輪盤、主卡套和副卡套，所述更替輪盤卡接在伺服電機(jī)頂部的輸出端，所述更替輪盤的表面與卡盤的內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述主卡套栓接在更替輪盤頂部的前側(cè)、頂部的后側(cè)和頂部的兩側(cè)，所述副卡套栓接在主卡套的內(nèi)側(cè)。

4、為了起到增加伺服電機(jī)與更替輪盤連接結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性的效果，作為本實(shí)用新型的一種高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置優(yōu)選的，所述伺服電機(jī)頂部的輸出端栓接有輔助卡套，所述輔助卡套的頂部與更替輪盤的底部卡接。

5、為了起到增加裝載盤與卡盤連接穩(wěn)定性的效果，作為本實(shí)用新型的一種高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置優(yōu)選的，所述裝載盤的內(nèi)側(cè)栓接有限位環(huán)板，所述限位環(huán)板的頂部與卡盤的底部接觸。

6、為了起到便于將裝載盤取出的效果，作為本實(shí)用新型的一種高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置優(yōu)選的，所述裝載盤的前側(cè)栓接有拉手，所述拉手的內(nèi)側(cè)刻有防滑紋路。

7、為了起到增加裝載盤與機(jī)殼連接密閉性的效果，作為本實(shí)用新型的一種高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置優(yōu)選的，所述裝載盤前側(cè)的頂部和底部均栓接有密封墊，所述密封墊的表面刻有防滑紋路。

8、為了起到增加裝載盤與機(jī)殼連接時(shí)穩(wěn)定性的效果，作為本實(shí)用新型的一種高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置優(yōu)選的，所述裝載盤的兩側(cè)開設(shè)有引導(dǎo)槽，所述引導(dǎo)槽的內(nèi)側(cè)與機(jī)殼的內(nèi)側(cè)滑動(dòng)連接。

9、為了起到對(duì)卡盤表面防護(hù)的效果，作為本實(shí)用新型的一種高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置優(yōu)選的，所述卡盤的表面套設(shè)有防護(hù)圈，所述防護(hù)圈的表面刻有引導(dǎo)紋路。

10、為了起到對(duì)更替輪盤與伺服電機(jī)連接處防護(hù)的效果，作為本實(shí)用新型的一種高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置優(yōu)選的，所述更替輪盤的頂部栓接有防護(hù)蓋，所述防護(hù)蓋的頂部設(shè)為弧面。

11、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

12、該高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置，通過(guò)設(shè)置機(jī)殼和切換機(jī)構(gòu)，機(jī)殼可以與精雕機(jī)頭配合，對(duì)主卡套和副卡套內(nèi)的玻璃晶圓進(jìn)行精雕加工，裝載盤可以與伺服電機(jī)配合，對(duì)更替輪盤進(jìn)行限位，并且可以帶動(dòng)更替輪盤進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，從而可以讓更替輪盤切換主卡套和副卡套內(nèi)的玻璃晶圓，液壓桿可以與卡盤配合，對(duì)更替輪盤進(jìn)行支撐和限位，并且可以在玻璃晶圓完成加工后，將更替輪盤抬起，以便于對(duì)玻璃晶圓進(jìn)行翻面，主卡套可以與副卡套配合，分別對(duì)不同大小的玻璃晶圓進(jìn)行限位，從而提高了對(duì)玻璃晶圓精雕加工的靈活性。

技術(shù)特征：

1.一種高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置，包括機(jī)殼(1)和切換機(jī)構(gòu)(7)，其特征在于：所述機(jī)殼(1)的頂部栓接有精雕機(jī)頭(2)，所述機(jī)殼(1)的內(nèi)側(cè)卡接有裝載盤(3)，所述裝載盤(3)的內(nèi)側(cè)栓接有伺服電機(jī)(4)，所述裝載盤(3)內(nèi)側(cè)的后側(cè)栓接有液壓桿(5)，所述液壓桿(5)的頂部栓接有卡盤(6)，所述切換機(jī)構(gòu)(7)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在卡盤(6)的內(nèi)側(cè)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置，其特征在于：所述伺服電機(jī)(4)頂部的輸出端栓接有輔助卡套(8)，所述輔助卡套(8)的頂部與更替輪盤(701)的底部卡接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置，其特征在于：所述裝載盤(3)的內(nèi)側(cè)栓接有限位環(huán)板(9)，所述限位環(huán)板(9)的頂部與卡盤(6)的底部接觸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置，其特征在于：所述裝載盤(3)的前側(cè)栓接有拉手(10)，所述拉手(10)的內(nèi)側(cè)刻有防滑紋路。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置，其特征在于：所述裝載盤(3)前側(cè)的頂部和底部均栓接有密封墊(11)，所述密封墊(11)的表面刻有防滑紋路。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置，其特征在于：所述裝載盤(3)的兩側(cè)開設(shè)有引導(dǎo)槽(12)，所述引導(dǎo)槽(12)的內(nèi)側(cè)與機(jī)殼(1)的內(nèi)側(cè)滑動(dòng)連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置，其特征在于：所述卡盤(6)的表面套設(shè)有防護(hù)圈(13)，所述防護(hù)圈(13)的表面刻有引導(dǎo)紋路。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精度玻璃晶圓cnc精雕裝置，其特征在于：所述更替輪盤(701)的頂部栓接有防護(hù)蓋(14)，所述防護(hù)蓋(14)的頂部設(shè)為弧面。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種高精度玻璃晶圓CNC精雕裝置，屬于晶圓加工技術(shù)領(lǐng)域，其技術(shù)方案要點(diǎn)包括機(jī)殼和切換機(jī)構(gòu)，所述機(jī)殼的頂部栓接有精雕機(jī)頭，所述機(jī)殼的內(nèi)側(cè)卡接有裝載盤，所述裝載盤的內(nèi)側(cè)栓接有伺服電機(jī)，所述裝載盤內(nèi)側(cè)的后側(cè)栓接有液壓桿，所述液壓桿的頂部栓接有卡盤，所述切換機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在卡盤的內(nèi)側(cè)，通過(guò)設(shè)置機(jī)殼和切換機(jī)構(gòu)，機(jī)殼可以與精雕機(jī)頭配合，對(duì)主卡套和副卡套內(nèi)的玻璃晶圓進(jìn)行精雕加工，裝載盤可以與伺服電機(jī)配合，對(duì)更替輪盤進(jìn)行限位，并且可以帶動(dòng)更替輪盤進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，從而可以讓更替輪盤切換主卡套和副卡套內(nèi)的玻璃晶圓，液壓桿可以與卡盤配合，對(duì)更替輪盤進(jìn)行支撐和限位。

技術(shù)研發(fā)人員：劉娟,阮金陵
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇美東半導(dǎo)體有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240507
技術(shù)公布日：2025/1/9