一種導(dǎo)電玻璃樣片制作裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及導(dǎo)電玻璃【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種導(dǎo)電玻璃樣片制作裝置，它包括濺射室，濺射室內(nèi)設(shè)置有圓形旋轉(zhuǎn)臺，圓形旋轉(zhuǎn)臺設(shè)置有多邊形雙層基片架，多邊形雙層基片架的每條邊上放置有玻璃基片，多邊形雙層基片架的邊數(shù)大于等于六邊；所述圓形旋轉(zhuǎn)臺的旁側(cè)設(shè)置有一組磁力濺射機構(gòu)，磁力濺射機構(gòu)包括極板、磁鐵、銅背板和靶材，所述極板通過磁鐵連接銅背板，靶材設(shè)置于銅背板上，靶材與玻璃基片相對置，可大大提高制作效率，縮短生產(chǎn)周期。
【專利說明】一種導(dǎo)電玻璃樣片制作裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實用新型涉及導(dǎo)電玻璃【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種導(dǎo)電玻璃樣片制作裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]ITO鍍膜導(dǎo)電玻璃是生產(chǎn)液晶顯示器和觸摸屏的關(guān)鍵技術(shù)。液晶顯示器之所以能顯示特定的圖形，就是利用導(dǎo)電玻璃上的透明導(dǎo)電膜，經(jīng)蝕刻制成特定外形的電極，上下導(dǎo)電玻璃制成液晶盒后，在這些電極上加適當(dāng)電壓信號，使具有偶極矩的液晶分子在電場作用下特定的方面排列，僅而顯示出與電極波長相對應(yīng)的圖形。
[0003]ITO鍍膜導(dǎo)電玻璃需要制作多個樣片，并對多個樣片進行檢測，綜合檢測結(jié)果，再決定是否能同批次批量生產(chǎn)。然而，現(xiàn)有的樣片制作效率較低，影響生產(chǎn)周期。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種導(dǎo)電玻璃樣片制作裝置，可大大提高制作效率，縮短生產(chǎn)周期。
[0005]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)。
[0006]一種導(dǎo)電玻璃樣片制作裝置，它包括濺射室，濺射室內(nèi)設(shè)置有圓形旋轉(zhuǎn)臺，圓形旋轉(zhuǎn)臺設(shè)置有多邊形雙層基片架，多邊形雙層基片架的每條邊上放置有玻璃基片，多邊形雙層基片架的邊數(shù)大于等于六邊；所述圓形旋轉(zhuǎn)臺的旁側(cè)設(shè)置有一組磁力濺射機構(gòu)，磁力濺射機構(gòu)包括極板、磁鐵、銅背板和靶材，所述極板通過磁鐵連接銅背板，靶材設(shè)置于銅背板上，靶材與玻璃基片相對置。
[0007]所述濺射室的右側(cè)設(shè)置有穿透率檢驗室。
[0008]所述穿透率檢驗室的右側(cè)設(shè)置有阻抗特性檢驗室。
[0009]本實用新型的有益效果為:本實用新型所述一種導(dǎo)電玻璃樣片制作裝置，可大大提高制作效率，縮短生產(chǎn)周期。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步的說明。
[0012]如圖1所示，一種導(dǎo)電玻璃樣片制作裝置，它包括濺射室1，濺射室I內(nèi)設(shè)置有圓形旋轉(zhuǎn)臺2，圓形旋轉(zhuǎn)臺2設(shè)置有多邊形雙層基片架3，多邊形雙層基片架3的每條邊上放置有玻璃基片，多邊形雙層基片架3的邊數(shù)大于等于六邊；所述圓形旋轉(zhuǎn)臺2的旁側(cè)設(shè)置有一組磁力濺射機構(gòu)，磁力濺射機構(gòu)包括極板9、磁鐵8、銅背板7和靶材6，所述極板9通過磁鐵8連接銅背板7，靶材6設(shè)置于銅背板7上，靶材6與玻璃基片相對置。所述多邊形雙層基片架3為雙層結(jié)構(gòu)，每層均為多邊形架體，每層的多邊形架體均可放置多個玻璃基片，以六邊形雙層基片架為例，可以一次性放置十二片玻璃基片，上下層各六片。
[0013]進一步的，所述濺射室I的右側(cè)設(shè)置有穿透率檢驗室4，所述穿透率檢驗室4的右側(cè)設(shè)置有阻抗特性檢驗室5，可以自動完成樣片的穿透率檢驗和阻抗特性檢驗，大大提高效率。
[0014]工作時，多邊形雙層基片架3上放置有多個玻璃基片，圓形旋轉(zhuǎn)臺2帶動多邊形雙層基片架3旋轉(zhuǎn)，磁力濺射機構(gòu)工作，對旋轉(zhuǎn)過程中與靶材6相對置的玻璃基片上進行濺射鍍膜，快速完成多片玻璃基片的鍍膜工藝，可大大提高制作效率，縮短生產(chǎn)周期。
[0015]當(dāng)然，本實用新型還可有其他多種制作方式，在不背離本實用新型精神及其實質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員可根據(jù)本實用新型作出相應(yīng)的改變和變形。以上所述僅是本實用新型的較佳實施方式，故凡依本實用新型專利申請范圍所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或修飾，均包括于本實用新型專利保護范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種導(dǎo)電玻璃樣片制作裝置，其特征在于:它包括濺射室(1)，濺射室(I)內(nèi)設(shè)置有圓形旋轉(zhuǎn)臺(2)，圓形旋轉(zhuǎn)臺(2)設(shè)置有多邊形雙層基片架(3)，多邊形雙層基片架(3)的每條邊上放置有玻璃基片，多邊形雙層基片架(3)的邊數(shù)大于等于六邊；所述圓形旋轉(zhuǎn)臺(2)的旁側(cè)設(shè)置有一組磁力濺射機構(gòu)，磁力濺射機構(gòu)包括極板(9)、磁鐵(8)、銅背板(7)和靶材(6),所述極板(9)通過磁鐵(8)連接銅背板(7)，靶材(6)設(shè)置于銅背板(7)上，靶材(6)與玻璃基片相對置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種導(dǎo)電玻璃樣片制作裝置，其特征在于:所述濺射室(I)的右側(cè)設(shè)置有穿透率檢驗室(4)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種導(dǎo)電玻璃樣片制作裝置，其特征在于:所述穿透率檢驗室(4)的右側(cè)設(shè)置有阻抗特性檢驗室(5)。
【文檔編號】C03C17/00GK203700196SQ201320827007
【公開日】2014年7月9日 申請日期:2013年12月11日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月11日
【發(fā)明者】郭衛(wèi)軍 申請人:湖北優(yōu)泰顯示技術(shù)有限公司