專(zhuān)利名稱(chēng):一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能產(chǎn)品技術(shù)領(lǐng)域,具體地說(shuō)是涉及一種太陽(yáng)能級(jí)直拉硅單晶籽晶生產(chǎn)用夾具。
背景技術(shù):
在太陽(yáng)能級(jí)單晶硅圓棒的生產(chǎn)過(guò)程中,籽晶作為拉制單晶硅棒的“種子”,可以拉制不同牌號(hào)的單晶硅棒,同時(shí),也充當(dāng)著單晶硅棒的承重載體,在規(guī)?;a(chǎn)中,不良品質(zhì)的籽晶應(yīng)用到生產(chǎn)中將會(huì)單晶爐系統(tǒng)帶來(lái)毀滅性災(zāi)難,每次事故均給單晶硅棒制造商無(wú)形增加十萬(wàn)元以上經(jīng)濟(jì)損失,或者造成惡性的單晶生產(chǎn)事故。因此,應(yīng)該選用結(jié)構(gòu)完整,沒(méi)有缺陷的硅單晶作為加工籽晶的材料;同一晶體的不同晶面晶體生長(zhǎng)速率不同,在切割籽晶的過(guò)程中需要根據(jù)晶體生長(zhǎng)的要求選定特定的晶向進(jìn)行單晶硅棒切割,并且需要保證晶向偏度不大于0.5°目前,籽晶生產(chǎn)的過(guò)程是通過(guò)X射線定向儀選擇晶向偏角較小的硅單晶圓棒,然后直接將其切割約為IOOmmX IOOmmX 150 mm的長(zhǎng)方體籽晶,對(duì)于晶向偏角較大的硅單晶圓棒則不宜切割籽晶。這種傳統(tǒng)方法的弊端如下1、不能充分利用單晶硅圓棒,增加企業(yè)成本;2、即便用晶向偏角較小的單晶硅圓棒切割籽晶,也存在一定的晶向偏差。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種可在切斷機(jī)上加工籽晶的專(zhuān)用夾具一太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具。本實(shí)用新型一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具通過(guò)下述技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型為一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具,包括夾緊鉗、硅棒固定座、夾緊鉗固定螺栓、上導(dǎo)向塊、壓板螺栓、壓板、下導(dǎo)向塊、方頭緊固螺釘、下導(dǎo)向塊座緊固螺釘、旋轉(zhuǎn)底板緊固螺栓、旋轉(zhuǎn)底板、連接法蘭緊固螺栓、連接法蘭、固定底板、內(nèi)六角螺釘、圓螺母、螺桿方形頭、螺桿固定圓螺母、緊固螺桿、滑動(dòng)夾板、固定夾板、支撐夾板、硅棒固定螺釘、托板、螺釘座、擋板、硅棒支撐板、旋轉(zhuǎn)底板軸、刻度線,所述的夾緊鉗通過(guò)夾緊鉗固定螺栓固定于上導(dǎo)向塊的上平面上,上導(dǎo)向塊通過(guò)壓板和壓板螺栓與下導(dǎo)向塊固定連接,下導(dǎo)向塊通過(guò)旋轉(zhuǎn)底板固定螺栓與旋轉(zhuǎn)底板固定連接,旋轉(zhuǎn)底板的螺紋端穿過(guò)連接法蘭的中心孔和固定底板的中心孔通過(guò)圓螺母固定于固定底板底部。本實(shí)用新型一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具與現(xiàn)有技術(shù)相比較有如下有益效果由于本實(shí)用新型夾具是夾緊臺(tái)鉗和硅棒固定座結(jié)合而成,當(dāng)夾緊臺(tái)固定底板固定在單晶硅立式帶鋸床工作臺(tái)上后,上導(dǎo)向塊下端的凸圓弧可沿下導(dǎo)向塊上端的凹圓弧調(diào)節(jié), 帶動(dòng)夾緊鉗移動(dòng);旋轉(zhuǎn)底板可繞旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng),帶動(dòng)夾緊鉗轉(zhuǎn)動(dòng),可實(shí)現(xiàn)夾緊鉗兩個(gè)方向的調(diào)節(jié);硅棒固定座的硅棒卡具支板與硅棒固定座之間夾角焊接時(shí)可在50°、5°之間選擇制作系列硅棒固定座,硅棒支撐板與硅棒固定座之間夾角焊接時(shí)可在100° 130°之間選擇制作系列硅棒固定座,使得硅棒固定座與籽晶加工設(shè)備加工中心之間距離可調(diào)節(jié),硅棒固定座的特殊形狀可降低加工件的中心,以適應(yīng)單晶硅立式帶鋸床的切割中心;并使得單晶硅籽晶在沒(méi)有其專(zhuān)用設(shè)備情況下的切割成為可能。本實(shí)用新型夾具結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,制作簡(jiǎn)便,使用方便,適用于太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶的生產(chǎn)。
本實(shí)用新型一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具有如下附圖圖1為本實(shí)用新型一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具安裝結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本實(shí)用新型一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具結(jié)構(gòu)示意圖;圖3為本實(shí)用新型一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具夾緊鉗結(jié)構(gòu)示意圖;圖4為本實(shí)用新型一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具硅棒固定座結(jié)構(gòu)示意圖;圖5為本實(shí)用新型一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具壓板主視結(jié)構(gòu)示意圖;圖6為本實(shí)用新型一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具壓板俯視結(jié)構(gòu)示意圖;圖7為本實(shí)用新型一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具旋轉(zhuǎn)底板主視結(jié)構(gòu)示意圖;圖8為本實(shí)用新型一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具連接法蘭結(jié)構(gòu)示意圖;圖9為本實(shí)用新型一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具固定底板結(jié)構(gòu)示意圖;圖10為本實(shí)用新型一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具下導(dǎo)向塊結(jié)構(gòu)示意圖;圖11為本實(shí)用新型一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具上導(dǎo)向塊結(jié)構(gòu)示意圖。其中1、夾緊鉗;2、硅棒固定座;3、切削刀具;4、硅棒;5、夾緊鉗固定螺栓;6、上導(dǎo)向塊;7、壓板螺栓;8、壓板;9、下導(dǎo)向塊;10、方頭緊固螺釘;11、下導(dǎo)向塊座緊固螺釘; 12、旋轉(zhuǎn)底板緊固螺栓;13、旋轉(zhuǎn)底板;14、連接法蘭緊固螺栓;15、連接法蘭;16、固定底板; 17、內(nèi)六角螺釘;18、圓螺母;19、單晶硅立式帶鋸床工作臺(tái);20、螺桿方形頭;21、螺桿固定圓螺母;22、緊固螺桿;23、滑動(dòng)夾板;24、固定夾板;25、支撐夾板;26、硅棒固定螺釘;27、 托板;28、螺釘座;29、擋板;30、硅棒支撐板;31、旋轉(zhuǎn)底板軸;32、刻度線。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具技術(shù)方案作進(jìn)一步描述。如圖1 一圖11所示,本實(shí)用新型一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具包括夾緊鉗1、硅棒固定座2、夾緊鉗固定螺栓5、上導(dǎo)向塊6、壓板螺栓7、壓板8、下導(dǎo)向塊9、方頭緊固螺釘10、下導(dǎo)向塊座緊固螺釘11、旋轉(zhuǎn)底板緊固螺栓12、旋轉(zhuǎn)底板13、連接法蘭緊固螺栓 14、連接法蘭15、固定底板16、內(nèi)六角螺釘17、圓螺母18、單晶硅立式帶鋸床工作臺(tái)19、螺桿方形頭20、螺桿固定圓螺母21、緊固螺桿22、滑動(dòng)夾板23、固定夾板24、支撐夾板25、硅棒固定螺釘26、托板27、螺釘座28、擋板29、硅棒支撐板30、旋轉(zhuǎn)底板軸31、刻度線32,所述的夾緊鉗1通過(guò)夾緊鉗固定螺栓5固定于上導(dǎo)向塊6的上平面上,上導(dǎo)向塊6通過(guò)壓板8和壓板螺栓7與下導(dǎo)向塊9固定連接,下導(dǎo)向塊9通過(guò)旋轉(zhuǎn)底板固定螺栓12與旋轉(zhuǎn)底板13 固定連接,旋轉(zhuǎn)底板13的螺紋端穿過(guò)連接法蘭15的中心孔和固定底板16的中心孔通過(guò)圓螺母18固定于固定底板16底部。所述的夾緊鉗1包括緊固螺桿21、設(shè)置在緊固螺桿22外端部的螺桿方形頭20、螺桿固定圓螺母21、滑動(dòng)夾板23、固定夾板24和擋板29,所述的螺桿固定圓螺母21旋接在緊
4固螺桿22的螺桿方形頭20 —端,緊固螺桿22另一端穿過(guò)擋板29上的孔旋接在滑動(dòng)夾板 23中心的螺孔內(nèi)。所述的硅棒固定座2包括支撐夾板25、硅棒固定內(nèi)六角螺釘26、硅棒托板27和螺釘座28,所述的支撐夾板25焊接固定在硅棒固定座2底板的一端,硅棒支撐板30焊接固定在硅棒固定座2底板與支撐夾板25相對(duì)端同一側(cè),所述的螺釘座28焊接固定在硅棒支撐板30外側(cè)上端部,硅棒托板27通過(guò)內(nèi)六角螺釘固定在硅棒支撐板30下端螺釘座28 —側(cè)。所述的支撐夾板25與硅棒固定座2的夾角為50°、5°,所述的硅棒支撐板30與硅棒固定座2的夾角為100° 130°。實(shí)施例1。本實(shí)用新型一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具包括夾緊鉗1、硅棒固定座2、夾緊鉗固定螺栓5、上導(dǎo)向塊6、壓板螺栓7、壓板8、下導(dǎo)向塊9、方頭緊固螺釘10、下導(dǎo)向塊座緊固螺釘11、旋轉(zhuǎn)底板緊固螺栓12、旋轉(zhuǎn)底板13、連接法蘭緊固螺栓14、連接法蘭15、固定底板16、內(nèi)六角螺釘17、圓螺母18、單晶硅立式帶鋸床工作臺(tái)19、螺桿方形頭20、螺桿固定圓螺母21、緊固螺桿22、滑動(dòng)夾板23、固定夾板24、支撐夾板25、硅棒固定螺釘26、托板27、 螺釘座28、擋板29、硅棒支撐板30、旋轉(zhuǎn)底板軸31、刻度盤(pán)32,所述的夾緊鉗1通過(guò)夾緊鉗固定螺栓5固定于上導(dǎo)向塊6的上平面上,上導(dǎo)向塊6通過(guò)壓板8和壓板螺栓7與下導(dǎo)向塊9固定連接,下導(dǎo)向塊9通過(guò)旋轉(zhuǎn)底板固定螺栓12與旋轉(zhuǎn)底板13固定連接,旋轉(zhuǎn)底板13 的螺紋端穿過(guò)連接法蘭15的中心孔和固定底板16的中心孔通過(guò)圓螺母18固定于固定底板16底部。所述的夾緊鉗1包括緊固螺桿21、設(shè)置在緊固螺桿22外端部的螺桿方形頭20、螺桿固定圓螺母21、滑動(dòng)夾板23、固定夾板24和擋板29,所述的螺桿固定圓螺母21旋接在緊固螺桿22的螺桿方形頭20 —端,緊固螺桿22另一端穿過(guò)擋板29上的孔旋接在滑動(dòng)夾板 23中心的螺孔內(nèi)。所述的硅棒固定座2包括支撐夾板25、硅棒固定內(nèi)六角螺釘26、硅棒托板27和螺釘座28,所述的支撐夾板25焊接固定在硅棒固定座2底板的一端,硅棒支撐板30焊接固定在硅棒固定座2底板與支撐夾板25相對(duì)端同一側(cè),所述的螺釘座28焊接固定在硅棒支撐板30外側(cè)上端部,硅棒托板27通過(guò)內(nèi)六角螺釘固定在硅棒支撐板30下端螺釘座28 —側(cè)。所述的支撐夾板25與硅棒固定座2的夾角為50°,所述的硅棒支撐板30與硅棒固定座2的夾角為100°。實(shí)施例2。本實(shí)施例的支撐夾板25與硅棒固定座2的夾角為58°,硅棒支撐板30與硅棒固定座2的夾角為122°。其余組裝與實(shí)施例1相同。實(shí)施例3。本實(shí)施例的支撐夾板25與硅棒固定座2的夾角為95°,硅棒支撐板30與硅棒固定座2的夾角為130°。其余組裝與實(shí)施例1相同。本實(shí)用新型一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具使用時(shí),夾具放在切斷機(jī)工作臺(tái)上通過(guò)內(nèi)六角螺釘17將夾具固定底板16進(jìn)行安裝固定,將硅棒固定座2的支撐夾板25端放置在夾緊鉗1的鉗口處,板手卡住螺桿方形頭20擰動(dòng)緊固螺桿22,滑動(dòng)夾板23向固定夾板24移動(dòng)夾緊支撐夾板25 ;單晶硅圓棒Φ 150mmX IOOmm安裝在圖4所示的硅棒固定座2上的硅棒支撐板30上,稍稍擰動(dòng)螺釘座28上的硅棒固定內(nèi)六角螺釘26將單晶硅圓棒固定在硅棒托板27和內(nèi)六角螺釘26之間;啟動(dòng)切斷機(jī)試切,目測(cè)單晶硅棒和夾具間的平行度與垂直度,再結(jié)合圖3、圖10和圖11所示的夾緊鉗1調(diào)節(jié)水平度與上導(dǎo)向塊6和下導(dǎo)向塊9調(diào)節(jié)垂直度進(jìn)行切割(切割厚度為2-5mm)。用χ射線定向儀對(duì)切片進(jìn)行定向,定向面為 <100>,再根據(jù)切片監(jiān)測(cè)晶向調(diào)節(jié)單晶硅棒切割方向,達(dá)到晶向偏度不大于0.5°之后進(jìn)行切割。
權(quán)利要求1.一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具,包括夾緊鉗(1)、硅棒固定座(2)、夾緊鉗固定螺栓(5)、上導(dǎo)向塊(6)、壓板螺栓(7)、壓板(8)、下導(dǎo)向塊(9)、方頭緊固螺釘(10)、下導(dǎo)向塊座緊固螺釘(11)、旋轉(zhuǎn)底板緊固螺栓(12)、旋轉(zhuǎn)底板(13)、連接法蘭緊固螺栓(14)、 連接法蘭(15)、固定底板(16)、內(nèi)六角螺釘(17)、圓螺母(18)、單晶硅立式帶鋸床工作臺(tái) (19)、螺桿方形頭(20)、螺桿固定圓螺母(21)、緊固螺桿(22)、滑動(dòng)夾板(23)、固定夾板 (M)、支撐夾板(25)、硅棒固定螺釘(26)、托板(27)、螺釘座(28)、擋板(29)、硅棒支撐板 (30),其特征是所述的夾緊鉗(1)通過(guò)夾緊鉗固定螺栓(5)固定于上導(dǎo)向塊(6)的上平面上,上導(dǎo)向塊(6)通過(guò)壓板(8)和壓板螺栓(7)與下導(dǎo)向塊(9)固定連接,下導(dǎo)向塊(9)通過(guò)旋轉(zhuǎn)底板固定螺栓(12)與旋轉(zhuǎn)底板(13)固定連接,旋轉(zhuǎn)底板(13)的螺紋端穿過(guò)連接法蘭(15)的中心孔和固定底板(16)的中心孔通過(guò)圓螺母(18)固定于固定底板(16)底部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具,其特征是所述的夾緊鉗 (1)包括緊固螺桿(21)、設(shè)置在緊固螺桿(22)外端部的螺桿方形頭(20)、螺桿固定圓螺母 (21)、滑動(dòng)夾板(23)、固定夾板(24)和擋板(29),所述的螺桿固定圓螺母(21)旋接在緊固螺桿(22)的螺桿方形頭(20) —端,緊固螺桿(22)另一端穿過(guò)擋板(29)上的孔旋接在滑動(dòng)夾板(23)中心的螺孔內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具,其特征是所述的硅棒固定座(2 )包括支撐夾板(25 )、硅棒固定內(nèi)六角螺釘(26 )、硅棒托板(27 )和螺釘座(28 ),所述的支撐夾板(25)焊接固定在硅棒固定座(2)底板的一端,硅棒支撐板(30)焊接固定在硅棒固定座(2)底板與支撐夾板(25)相對(duì)端同一側(cè),所述的螺釘座(28)焊接固定在硅棒支撐板 (30)外側(cè)上端部,硅棒托板(27)通過(guò)內(nèi)六角螺釘固定在硅棒支撐板(30)下端螺釘座(28) 一側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具,其特征是所述的支撐夾板(25 )與硅棒固定座(2 )的夾角為50°、5°,所述的硅棒支撐板(30 )與硅棒固定座(2 ) 的夾角為100° 130°。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能產(chǎn)品技術(shù)領(lǐng)域,具體地說(shuō)是涉及一種太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶生產(chǎn)用夾具。本實(shí)用新型所述的夾緊鉗通過(guò)夾緊鉗固定螺栓固定于上導(dǎo)向塊的上平面上,上導(dǎo)向塊通過(guò)壓板和壓板螺栓與下導(dǎo)向塊固定連接,下導(dǎo)向塊通過(guò)旋轉(zhuǎn)底板固定螺栓與旋轉(zhuǎn)底板固定連接,旋轉(zhuǎn)底板的螺紋端穿過(guò)連接法蘭的中心孔和固定底板的中心孔通過(guò)圓螺母固定于固定底板底部。本實(shí)用新型夾具結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,制作簡(jiǎn)便,使用方便,適用于太陽(yáng)能級(jí)單晶硅籽晶的生產(chǎn)。
文檔編號(hào)B28D7/04GK201950739SQ201020690909
公開(kāi)日2011年8月31日 申請(qǐng)日期2010年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月30日
發(fā)明者馮全來(lái), 張永忠, 張治民, 李文婷, 李治明, 武超, 陳芝俊, 雷光輝 申請(qǐng)人:青海華硅能源有限公司