專(zhuān)利名稱(chēng)：一種玻璃導(dǎo)電膜的生產(chǎn)設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及導(dǎo)電玻璃的生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)，是一種玻璃導(dǎo)電膜的生產(chǎn)
設(shè)備。
背景技術(shù)：
目前已知的IT0(Indium Tin Oxides,銦錫金屬氧化物)導(dǎo)電膜主要是氧化銦錫， 其成膜方法是用磁控濺射在1-4毫米厚的CaF玻璃表面，形成一層厚1-2 m的Snln導(dǎo)電 膜。如中國(guó)專(zhuān)利99801982. 8提供了一種一濺渡法進(jìn)行成膜操作，生產(chǎn)金屬氧化物的燒結(jié) 物，及燒結(jié)物所構(gòu)成的耙，及由該靶形成的透明導(dǎo)電玻璃和導(dǎo)電膜。這些導(dǎo)電玻璃和導(dǎo)電膜 具有良好的透明性，導(dǎo)電性及較低的電阻。但是將玻璃導(dǎo)電膜置于透明基板上進(jìn)行濺鍍成 膜時(shí)，隨靶的表面和形成的導(dǎo)電膜的膜厚等離子體輸出可產(chǎn)生變動(dòng)，導(dǎo)電膜的穩(wěn)定溫度在 280°C以下，方塊電阻為80-250 Q ，可見(jiàn)光波段透光率僅為70% ，機(jī)械強(qiáng)度低，在常溫下含 氧化膜和增大方塊電阻。自Badkerl907年通過(guò)熱氧化法濺射鎘制備出第一塊氧化鎘(CdO) 透明導(dǎo)電膜以來(lái)，透明導(dǎo)電氧化物(transparent conduct oxide， TCO)等膜的制備技術(shù)方 法得到長(zhǎng)足進(jìn)展。 但是，現(xiàn)有的玻璃導(dǎo)電膜的生產(chǎn)設(shè)備，其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本高、控制和使用麻煩，所制
產(chǎn)品性能差。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低，可以實(shí)用自動(dòng)控制、 操作簡(jiǎn)便的玻璃導(dǎo)電膜的生產(chǎn)設(shè)備。 為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種玻璃導(dǎo)電膜的生產(chǎn)設(shè)備，包括玻 璃傳送帶，所述傳送帶上方設(shè)有噴涂裝置，所述噴涂裝置包括溶液罐，所述溶液罐通過(guò)壓力 泵連接有噴嘴，所述壓力泵與噴嘴之間設(shè)有加熱器；所述噴嘴處設(shè)有超聲波系統(tǒng)；所述噴 嘴上還連接有噴涂控制系統(tǒng)。 進(jìn)一步地，所述噴涂裝置上還設(shè)有尾氣回收系統(tǒng)。 進(jìn)一步地，所述壓力泵上連接有壓力控制監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。 進(jìn)一步地，所述加熱器上連接有溫控監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。 進(jìn)一步地，所述溶液罐上設(shè)有溶液濃度和PH值監(jiān)控系統(tǒng)。 進(jìn)一步地，所述噴嘴設(shè)有三排，噴嘴之間呈伏犬交錯(cuò)排列。進(jìn)一步地，相臨噴嘴之間的間距為4. 5 5. 5cm。 進(jìn)一步地，所述噴嘴的直徑為0. 40 0. 55mm。 本實(shí)用新型通過(guò)超聲波高溫汽化的方式在玻璃上制備導(dǎo)電膜，其生產(chǎn)設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn) 單、成本低，可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制，操作簡(jiǎn)單方便；另外，通過(guò)本實(shí)用新型的生產(chǎn)設(shè)備制得的玻 璃導(dǎo)電膜，其結(jié)構(gòu)均勻，性能穩(wěn)定，導(dǎo)電穩(wěn)定性等各項(xiàng)性能均優(yōu)于磁控賤射制備的玻璃導(dǎo)電 膜，投資少，經(jīng)濟(jì)環(huán)保。
圖1是本實(shí)用新型的玻璃導(dǎo)電膜的生產(chǎn)設(shè)備結(jié)構(gòu)原理圖。 圖中1.汽化噴涂裝置，2.壓力泵，3.加熱器，4.超聲波系統(tǒng)，5.噴嘴，6.浮法玻 璃生產(chǎn)線(xiàn)上的玻璃傳送帶，7.溶液濃度和Kl值控制監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明，以使本領(lǐng)域的技術(shù)人員 可以更好的理解本實(shí)用新型并能予以實(shí)施，但所舉實(shí)施例不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。 如圖1所示，本實(shí)用新型的玻璃導(dǎo)電膜的生產(chǎn)設(shè)備，包括浮法玻璃生產(chǎn)流水線(xiàn)的 玻璃傳送帶6，在玻璃傳送帶6的上方設(shè)有超聲波高溫汽化噴涂裝置l，該汽化噴涂裝置1 由溶液罐、壓力泵2、噴嘴5、加熱器3、超聲波系統(tǒng)4及噴涂控制系統(tǒng)構(gòu)成。其中，所述溶液 罐通過(guò)壓力泵連接噴嘴5，加熱器設(shè)置在壓力泵與噴嘴5之間，超聲波系統(tǒng)4設(shè)置在噴嘴5 處，噴嘴5上連接有噴涂控制系統(tǒng)。其中，噴嘴5優(yōu)選設(shè)置三排，噴嘴之間呈伏犬交錯(cuò)排列， 相臨噴嘴之間的間距為4. 5 5. 5cm，噴嘴的直徑為0. 40 0. 55mm。 將玻璃導(dǎo)電膜溶液放入溶液罐，溶液罐內(nèi)的溶液在壓力泵的噴嘴，溶液經(jīng)過(guò)加熱 器時(shí)被加熱，在高溫與超聲波系統(tǒng)發(fā)出的超聲波的雙重作用下，溶液被汽化，經(jīng)噴嘴5噴涂 到玻璃表面，形成導(dǎo)電膜。噴涂過(guò)程中，超聲波高溫汽化噴涂裝置將汽化溫度控制在液化化 學(xué)變化點(diǎn)以下。 另外，壓力泵上還連接有壓力控制監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，用以監(jiān)測(cè)并控制壓泵的輸出壓力，從 而控制溶液的噴涂速度；加熱器上還連接有溫控監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，用以監(jiān)測(cè)并控制加熱器的加熱 溫度，使溶液保持在預(yù)定的汽化溫度；溶液罐上還設(shè)有溶液濃度和值監(jiān)控系統(tǒng)7，用以監(jiān)
測(cè)并控制溶液的濃度和ra值。 為了進(jìn)一步降低生產(chǎn)玻璃導(dǎo)電膜的成本，對(duì)廢余溶液實(shí)現(xiàn)回收利用，并減少?gòu)U余 溶液對(duì)環(huán)境的污染，所以噴涂裝置上還設(shè)置尾氣回收系統(tǒng)。 本實(shí)用新型的玻璃導(dǎo)電膜的生產(chǎn)設(shè)備，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，簡(jiǎn)化了玻璃重新加
熱的工藝，成品率高，降低了生產(chǎn)成本，提高了玻璃導(dǎo)電膜的質(zhì)量；所生產(chǎn)出的玻璃導(dǎo)電膜
結(jié)構(gòu)均勻，性能穩(wěn)定，導(dǎo)電穩(wěn)定性等各項(xiàng)性能均優(yōu)于磁控賤射制備的玻璃導(dǎo)電膜，方法簡(jiǎn)單
實(shí)用，投資少，經(jīng)濟(jì)環(huán)保；本實(shí)用新型的玻璃導(dǎo)電膜的生產(chǎn)設(shè)備生產(chǎn)出的導(dǎo)電膜可廣泛用于
IT產(chǎn)業(yè)中的導(dǎo)電系統(tǒng)、建筑、汽車(chē)和光電池等產(chǎn)業(yè)中的導(dǎo)電玻璃，應(yīng)用市場(chǎng)廣闊。 以上所述實(shí)施例僅是為充分說(shuō)明本實(shí)用新型而所舉的較佳的實(shí)施例，本實(shí)用新型
的保護(hù)范圍不限于此。本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型基礎(chǔ)上所作的等同替代或變
換，均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。本實(shí)用新型的保護(hù)范圍以權(quán)利要求書(shū)為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種玻璃導(dǎo)電膜的生產(chǎn)設(shè)備，包括玻璃傳送帶，其特征在于，所述傳送帶上方設(shè)有噴涂裝置，所述噴涂裝置包括溶液罐，所述溶液罐通過(guò)壓力泵連接有噴嘴，所述壓力泵與噴嘴之間設(shè)有加熱器；所述噴嘴處設(shè)有超聲波系統(tǒng)；所述噴嘴上還連接有噴涂控制系統(tǒng)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃導(dǎo)電膜的生產(chǎn)設(shè)備，其特征在于，所述噴涂裝置上還設(shè) 有尾氣回收系統(tǒng)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃導(dǎo)電膜的生產(chǎn)設(shè)備，其特征在于，所述壓力泵上連接有 壓力控制監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃導(dǎo)電膜的生產(chǎn)設(shè)備，其特征在于，所述加熱器上連接有 溫控監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃導(dǎo)電膜的生產(chǎn)設(shè)備，其特征在于，所述溶液罐上設(shè)有溶 液濃度和PH值監(jiān)控系統(tǒng)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃導(dǎo)電膜的生產(chǎn)設(shè)備，其特征在于，所述噴嘴設(shè)有三排，噴 嘴之間呈伏犬交錯(cuò)排列。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的玻璃導(dǎo)電膜的生產(chǎn)設(shè)備，其特征在于，相臨噴嘴之間的間距 為4. 5 5. 5cm。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1、6或7所述的玻璃導(dǎo)電膜的生產(chǎn)設(shè)備，其特征在于，所述噴嘴的直徑 為0. 40 0. 55mm。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種玻璃導(dǎo)電膜的生產(chǎn)設(shè)備，包括玻璃傳送帶，所述傳送帶上方設(shè)有噴涂裝置，所述噴涂裝置包括溶液罐，所述溶液罐通過(guò)壓力泵連接有噴嘴，所述壓力泵與噴嘴之間設(shè)有加熱器；所述噴嘴處設(shè)有超聲波系統(tǒng)；所述噴嘴上還連接有噴涂控制系統(tǒng)。本實(shí)用新型通過(guò)超聲波高溫汽化的方式在玻璃上制備導(dǎo)電膜，其生產(chǎn)設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低，可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制，操作簡(jiǎn)單方便；另外，通過(guò)本實(shí)用新型的生產(chǎn)設(shè)備制得的玻璃導(dǎo)電膜，其結(jié)構(gòu)均勻，性能穩(wěn)定，導(dǎo)電穩(wěn)定性，透光率和方塊電阻等各項(xiàng)性能均優(yōu)于磁控賤射制備的玻璃導(dǎo)電膜，投資少，經(jīng)濟(jì)環(huán)保。
文檔編號(hào)C03C17/00GK201538742SQ20092017488
公開(kāi)日2010年8月4日 申請(qǐng)日期2009年9月17日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月17日
發(fā)明者徐瑞松, 樊秀蓮 申請(qǐng)人:徐瑞松