專利名稱：一種微生物去除裝置和基板清洗設備的制作方法
技術領域：
一種微生物去除裝置和基板清洗設備技術領域[0001]本實用新型涉及顯示技術，特別涉及一種微生物去除裝置和基板清洗設備。
背景技術：
[0002]在顯示面板(如液晶面板、OLED面板等)的制造中，需要對玻璃基板等基板進行清洗。在清洗過程中，為了減少水資源的浪費，在基板清洗設備中用于清洗基板的水會被循環(huán)使用。這導致循環(huán)使用的水中的微生物含量逐漸增加。[0003]目前，電子生產行業(yè)針對微生物滋生的問題主要采取以下三種方法第一，不使用循環(huán)水，直接用純水一次性清洗，這種方法的純水使用量大，過于浪費，同時也要求工廠有極高的水處理能力，增加了產品成本；第二，定期清潔用于清洗玻璃基板的清洗系統(tǒng)，但清洗系統(tǒng)的管路復雜，并且需要長時間的停機操作，因此清洗極為不便，影響生產，費時費力； 第三，定期在對玻璃基板進行清洗的水中添加具有一定氧化作用的化學試劑，以去除微生物，但這種方法除菌不完全，除菌有效期短，一段時間后又會有微生物滋生。實用新型內容[0004]有鑒于此，本實用新型的主要目的在于提供一種微生物去除裝置和基板清洗設備，用于減少基板清洗設備中用于清洗基板的水中的微生物，改善基板的清洗效果。[0005]為達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現(xiàn)的[0006]本實用新型一方面提供一種微生物去除裝置，該裝置包括進水口和出水口，并且進水口和出水口之間由水管相連；所述裝置還包括發(fā)出的光線能夠照射到水管的滅菌燈管。該裝置可以設置于基板清洗設備中，用于減少基板清洗設備中的水中的微生物。[0007]其中，所述水管的材質為石英,水管的數(shù)量為一個或多個。[0008]其中，當水管的數(shù)量為一個時,水管的形狀為包括S或U形在內的迂回形狀。[0009]其中，所述滅菌燈管是紫外線燈管，所述滅菌燈管的數(shù)量為一個或多個。[0010]其中，所述滅菌燈管的安裝位置為緊貼或靠近水管的位置。[0011]其中，所述滅菌燈管的安裝方式為一個滅菌燈管設置在多個水管中間，或多個滅菌燈管環(huán)繞在一個水管周圍。[0012]其中，該裝置還設置有外殼，材質是金屬。[0013]進一步地，所述外殼的內壁為反光的光滑面。[0014]進一步地，所述外殼包含多個分體結構，各分體結構依靠連接件組合為整體。[0015]其中，所述裝置還包括控制器，用于對滅菌燈管的功率大小和開關的時間進行控制。[0016]本實用新型實施例另一方面提供一種基板清洗設備，其包括權上述任一所述的微生物去除裝置。[0017]可見，無論清洗基板的水是否為循環(huán)利用，本實用新型的微生物去除裝置能夠對基板清洗設備中清洗玻璃基板等基板的水進行滅菌處理，清洗基板的水因經過滅菌處理而含有極少微生物甚至不含有微生物，因此能夠有效改善玻璃基板的清洗效果。


[0018]圖I為本實用新型實施例的微生物去除裝置結構圖；[0019]圖2為本實用新型實施例的微生物去除裝置在清洗系統(tǒng)中的工作原理示意圖；[0020]附圖標記說明[0021]I、進水口 ；2、出水口 ；3、水管；4、滅菌燈管；5、外殼；6、控制器；7、支架；8、玻璃基板；9、水管；11、收集室；12、箱；13、高壓泵；14、常壓泵；15、過濾器；16、清洗噴嘴；17、傳動滾軸；19、微生物去除裝置。
具體實施方式
[0022]紫外線(UV)在工業(yè)應用中被認為具有良好的殺菌消毒的能力，因此可將UV應用在清洗玻璃基板等基板的清洗系統(tǒng)(即基板清洗設備)中以去除微生物；同時UV還可以氧化水中所溶解的O2，使之電離成O3，而含有O3的臭氧水可去除玻璃基板表面所附著的有機物，提高了玻璃基板的潔凈度。[0023]基于以上原理，可以進入如圖I所示的設置。參見圖1，圖I為本實用新型實施例的微生物去除裝置結構圖。圖I所示的微生物去除裝置19包括進水口 I和出水口 2，并且進水口 I和出水口 2之間由水管3相連，清洗玻璃基板的水從進水口 I進入微生物去除裝置19，流經水管3后從出水口 2流出并用于清洗玻璃基板。進水口 I和出水口 2之間安裝有滅菌燈管4，如水管3的附近(如緊貼或靠近)安裝有滅菌燈管4。在進水口 I和出水口 2之間，還可以安裝包圍水管3、滅菌燈管4的外殼5。微生物去除裝置19上還可以安裝支架7 (如將支架7安裝在外殼5上)，以方便微生物去除裝置19的安裝。[0024]需要說明的是，水管3的材質可以為石英等，水管3的數(shù)量可以為一個或多個。當水管3的數(shù)量為一個時，水管3的形狀可以設計為形如S、U等的迂回形狀，以盡量增加水管 3的長度，使流經水管3的水量盡量大，以便滅菌燈管4發(fā)出的滅菌燈光能夠照射到盡量多的水。當水管3的數(shù)量為多個時，能夠在得到較高滅菌效率的同時提供較高的流速。[0025]滅菌燈管4所發(fā)出的光可以是紫外線等能夠殺滅微生物的光線，即滅菌燈管4是紫外線燈管等能夠殺滅微生物的燈管。滅菌燈管4的數(shù)量可以為一個或多個，滅菌燈管4 的數(shù)量越多，滅菌效果越好。滅菌燈管4的安裝位置可隨意設置，只要滅菌燈管4發(fā)出的滅菌燈光能夠照射到流經水管3中的水即可，如一個滅菌燈管4設置在多個水管3中間，多個滅菌燈管4環(huán)繞在一個水管3周圍等。[0026]外殼5的材質可以是不透明的金屬等，也可以是透明的玻璃等。[0027]當外殼5的材質是金屬時，可以將外殼5的內壁設置為反光的光滑面，以便最大限度地利用滅菌燈管4所發(fā)出的滅菌光線。并且，外殼5可以包含多個分體結構，各分體結構能夠依靠螺栓、鉸鏈等連接件組合為整體，以方便水管3、滅菌燈管4的拆卸和安裝。[0028]為了提高滅菌效果，還可以應用控制器6對滅菌燈管4進行光照控制，如調節(jié)滅菌燈管4的功率大小和開關的時間，以便在具有較好滅菌效果的同時節(jié)約電能并延長滅菌燈管4的使用壽命。[0029]在實際應用中，還可以根據(jù)滅菌的最佳時間和水的流速計算出滅菌燈管4的口徑和長度的比例，據(jù)此設置合適的滅菌燈管4。[0030]由以上技術描述可見，無論清洗玻璃基板的水是否為循環(huán)利用，從圖I中的微生物去除裝置19的進水口 I流進的用于清洗玻璃基板的水，在流經水管3時能夠被滅菌燈管 4進行滅菌處理，完成滅菌處理的水則能夠通過出水口 2流出并用于清洗玻璃基板。因此， 清洗玻璃基板的水因經過滅菌處理而含有極少微生物甚至不含有微生物，因此能夠有效改善玻璃基板的清洗效果。[0031]本實施例還提供一種基板清洗設備，其使用了上述的任一種微生物去除裝置。[0032]在具體應用圖I所示的微生物去除裝置19時，可以將微生物去除裝置19設置在用于清洗玻璃基板的清洗系統(tǒng)(即基板清洗設備)中的任何位置，如將微生物去除裝置 19設置在如圖2所示的位置。圖2中，清洗系統(tǒng)中的清洗噴嘴16能夠將DIW(去離子水) 噴淋到玻璃基板8 (玻璃基板8可由傳動滾軸17帶動，還可用刷子等對玻璃基板8進行清潔)上，從玻璃基板8上流下的水能夠被收集室11收集并經水管9匯聚到箱12中。箱12 中的水則能夠經過水管9、清洗噴嘴16 (水從箱12到清洗噴嘴16時可能還會流經高壓泵 13、常壓泵14、過濾器15等常見器件)被噴淋到玻璃基板8上，從玻璃基板8上流下的水能夠被收集室11收集并經水管9再次匯聚到箱12中，這樣就形成了用于清洗玻璃基板的水循環(huán)。[0033]由圖2可見，微生物去除裝置19設置在過濾器15與清洗噴嘴16之間的水管9上， 這樣能夠保證流經水管9的水被微生物去除裝置19有效滅菌?？梢姡诰哂型瑯拥臏缇Ч那闆r下，還可以將微生物去除裝置19設置在如圖中所示的A、B、C、D等任何位置，即將微生物去除裝置19設置在用于清洗玻璃基板8的清洗系統(tǒng)的水管9上。[0034]在實際應用中，還可以將滅菌燈管4用透明玻璃密封后直接置于箱12中，也能起到一定的滅菌作用。[0035]綜上所述可見，無論清洗玻璃基板的水是否為循環(huán)利用，本實用新型的微生物去除裝置能夠對清洗玻璃基板的水進行滅菌處理，清洗玻璃基板的水因經過滅菌處理而含有極少微生物甚至不含有微生物，因此能夠有效改善玻璃基板的清洗效果。[0036]以上所述，僅為本實用新型的較佳實施例而已，并非用于限定本實用新型的保護范圍。權利要求1.一種微生物去除裝置，其特征在于，該裝置包括進水口和出水口，并且進水口和出水口之間由水管相連；所述裝置還包括發(fā)出的光線能夠照射到水管的滅菌燈管。
2.根據(jù)權利要求I所述的微生物去除裝置，其特征在于，所述水管的材質為石英，水管的數(shù)量為一個或多個。
3.根據(jù)權利要求2所述的微生物去除裝置，其特征在于，當水管的數(shù)量為一個時，水管的形狀為包括S或U形在內的迂回形狀。
4.根據(jù)權利要求I所述的微生物去除裝置，其特征在于，所述滅菌燈管是紫外線燈管， 所述滅菌燈管的數(shù)量為一個或多個。
5.根據(jù)權利要求I所述的微生物去除裝置，其特征在于，所述滅菌燈管的安裝位置為 緊貼或靠近水管的位置。
6.根據(jù)權利要求5所述的微生物去除裝置，其特征在于，所述滅菌燈管的安裝方式為 一個滅菌燈管設置在多個水管中間，或多個滅菌燈管環(huán)繞在一個水管周圍。
7.根據(jù)權利要求I所述的微生物去除裝置，其特征在于，該裝置還設置有外殼，材質是金屬。
8.根據(jù)權利要求7所述的微生物去除裝置，其特征在于，所述外殼的內壁為反光的光滑面。
9.根據(jù)權利要求7所述的微生物去除裝置，其特征在于，所述外殼包含多個分體結構， 各分體結構依靠連接件組合為整體。
10.根據(jù)權利要求I至9任一項所述的微生物去除裝置，其特征在于，所述裝置還包括控制器，用于對滅菌燈管的功率大小和開關的時間進行控制。
11.一種基板清洗設備，其特征在于，包括權利要求I至10任一項所述的微生物去除裝置。
專利摘要本實用新型涉及顯示技術領域，公開了一種微生物去除裝置和基板清洗設備。該微生物去除裝置包括進水口和出水口，并且進水口和出水口之間由水管相連；所述裝置還包括發(fā)出的光線能夠照射到水管的滅菌燈管。無論清洗玻璃基板的水是否為循環(huán)利用，本實用新型的微生物去除裝置能夠對清洗基板的水進行滅菌處理，清洗基板的水因經過滅菌處理而含有極少微生物甚至不含有微生物，因此能夠有效改善基板的清洗效果。該基板清洗設備使用了上述的微生物去除裝置，也可以有效改善基板的清洗效果。
文檔編號B08B3/00GK202729846SQ20122027684
公開日2013年2月13日 申請日期2012年6月12日 優(yōu)先權日2012年6月12日
發(fā)明者高安安 申請人:北京京東方光電科技有限公司