專利名稱：一種用于微光像增強器光電陰極輸入窗的清潔方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對電真空器件用的光學玻璃，光纖面板表面清潔的方法，主要用于微光像增強器多堿光電陰極玻璃輸入窗和光纖面板輸入窗的表面清潔。也可用于類似的光電陰極輸入窗的表面清潔。
背景技術(shù)：
以微光像增強器為代表的真空光電子器件在國防、科研等行業(yè)中有著廣泛的應用，在國際國內(nèi)受到普遍的重視。微光像增強器(見圖1)，主要由陰極輸入窗、光電陰極、錐電極或微通道板、熒光屏、陽極輸出窗等零部件組成。其工作原理:在夜間低照度下，將人眼不能直接看見的景物圖像，通過陰極輸入窗上的光電陰極轉(zhuǎn)換成相應的光電子圖像，光電子圖像經(jīng)過錐電極或微通道板電子倍增器的放大、增強，再經(jīng)陽極高壓加速，由熒光屏轉(zhuǎn)換成亮度足夠的光學圖像，最后經(jīng)過陽極輸出窗輸出，供人眼觀看。它的光電陰極的制作需要在超高真空條件下進行，同時要求所要蒸鍍的多堿光電陰極玻璃輸入窗I或光纖面板輸入窗2 (見圖2表面的清潔程度相當高，要求達到原子級清潔，即輸入窗表面的微量化學物質(zhì)為零。采用一般的化學或機械清洗，在完成之后，從微觀上看，如玻璃輸入窗的表面實際上還是存留一部分化學殘留物，這樣在其表面蒸鍍光電陰極時，由于光電陰極膜層生長為一種半導體膜層，因此殘留在玻璃表面的微量化學物質(zhì)就會對光電陰極的結(jié)構(gòu)和性能產(chǎn)生影響，導致光電陰極的技術(shù)性能不穩(wěn)定和技術(shù)指標明顯下降，嚴重影響到微光像增強器的質(zhì)量，因此在像增強器的制造過程中，為了使輸入窗表面達到原子級清潔，往往需要對玻璃窗表面進行機械拋光，然后再進行清洗、烘干。由于采用機械拋光的辦法，一般只能單件生產(chǎn)，一件一件的拋光。具體的工藝為:將90g氧化鈰拋光粉(Cerox 1650)放入純水中，在溫度為20°C的環(huán)境下攪拌均勻；調(diào)節(jié)壓縮空氣的氣壓，使拋光頭壓力約為1.5大氣壓,根據(jù)所要拋光的輸入窗的表面調(diào)節(jié)拋光機的前、后偏心輪,使左右方向的位移相等，調(diào)節(jié)拋光機的轉(zhuǎn)速為1000轉(zhuǎn)/分鐘，調(diào)節(jié)拋光機定時器的時間；將工件放入拋光卡盤，啟動定時器開始拋光，拋光結(jié)束之后，取下工件，用純水清洗干凈，然后放入工件托架，并將工件托架放入盛有純水的不銹鋼桶中，重復以上過程直至工件裝滿工件托架；在工件托架裝滿之后，再將工件托架放入超聲波清洗槽，超聲5分鐘，取出工件托架，用純水沖洗工件托架即工件I分鐘，之后更換不銹鋼桶中的純水，再次將工件托架放入超聲波清洗槽，再超聲5分鐘；超聲結(jié)束之后，取出工件托架，再用純水沖洗I分鐘，從工件架上取下一件工件，放入離心甩干機，將工件一件一件甩干，放入培養(yǎng)皿。重復該過程，甩干全部工件并放入培養(yǎng)皿；最后對工件按技術(shù)要求進行抽檢。利用這種機械拋光的方法對光電陰極輸入窗進行清洗，雖然能夠達到零件的技術(shù)要求。但此種方法耗費時間較長,工作效率低下,成本高,遠不適應大批量生產(chǎn)的需求。同時由于使用拋光粉，對環(huán)境也產(chǎn)生一定的污染
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要任務和目的是，根據(jù)現(xiàn)行的對微光像增強器多堿光電陰極輸入窗表面機械拋光的清洗方法所存在的缺陷，研制一種采用等離子清潔技術(shù)，對微光像增強器多堿光電陰極玻璃輸入窗和光纖面板輸入窗的表面進行清洗，從根本上服原方法只能單件操作，工作效率低下，成本高，影響環(huán)境等不足。達到有效地保證光電陰極質(zhì)量，提高效率，完全適應現(xiàn)代微光像增強器大批量生產(chǎn)的需求。本發(fā)明的主要技術(shù)方案是:對微光像增強器光電陰極玻璃輸入窗和光纖面板輸入窗表面進行等離子清洗，其工藝流程:
A、配制洗滌液。將一定量的洗滌劑放入不銹鋼桶中，之后向桶中注入一定量的純水并進行充分混合，形成洗滌液，純水與洗滌劑比例為體積比100:1，即濃度為1%;
B、清洗工件。手拿干凈海綿,沾洗滌液輕輕擦洗工件的外表面,每件工件約數(shù)秒鐘,之后放入工件托架，重復該過程直至清洗完一批工件；
C、沖洗工件。用純水沖洗工件及工件架I分鐘，之后放入裝有干凈純水的不銹鋼桶中；
D、超聲波清洗。將不銹鋼桶放入超聲波清洗槽，超聲5分鐘；
E、再沖洗工件。超聲結(jié)束之后，取出工件托架，再用純水沖洗I分鐘；
F、甩干工件。從工件架上取下一件工件，放入離心甩干機，將工件甩干，放入培養(yǎng)皿。重復該過程，并將甩干工件一一裝入專用固定墊中；
G、工件裝機。將裝有工件的專用固定墊裝入等離子清洗機的石英管中，關(guān)好石英管密封門；
H、調(diào)節(jié)氬氣壓力。打開氬氣減壓閥,使輸出氬氣壓力達到0.1MPa ；
1、等離子清洗。啟動等離子清洗機運行程序，首先對石英腔體進行抽真空達10—4乇，接著對石英腔體充入氬氣，使石英管腔體內(nèi)的壓力控制在10 —2乇，之后啟動輝光放電，對工件進行等離子清洗7分鐘；
J、結(jié)束程序。關(guān)掉氬氣，在石英腔體中充入氮氣，當石英腔體中的壓力恢復到大氣壓時，打開石英腔體門，取出專用固定墊，將工件從專用固定墊上一一取出，放入培養(yǎng)皿中；
K、檢驗。根據(jù)批次和數(shù)量，對工件進行抽檢，用針筒將純水滴在工件表面，純水迅速散開或散開消失，說明工件合格，如果純水仍然保持水滴的形狀不會散開，則工件不合格，說明工件表面存在一層化學殘留物和其它雜質(zhì)。若出現(xiàn)不合格的現(xiàn)象需加倍抽檢或進行全部檢驗，將不合格的工件(4)按工序重新清潔。本發(fā)明通過試用證明:完全達到研制目的，與傳統(tǒng)的機械拋光清洗方法相比，效率提高了 5倍以上，成本降低了 70%，對環(huán)境無污染，工件在該道工序的合格率基本上達到100%，完全適應大批量生產(chǎn)的需求。為我公司乃至該行業(yè)內(nèi)解決了一大技術(shù)難題。


下面結(jié)合附圖，對本發(fā)明作進一步詳細地描述。圖1，是微光像增強器的主要結(jié)構(gòu)示意圖。圖2，是微光像增強器的多堿光電陰極光纖面板輸入窗示意圖。圖3，是本發(fā)明的工藝流程圖。圖4，是本發(fā)明專用固定墊3及工件4的安裝位置結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式 參照圖1、2、3、4，對本發(fā)明的主要技術(shù)方案進行說明:微光像增強器光電陰極玻璃輸入窗I和光纖面板輸入窗2的表面進行等離子清洗，其具體工藝流程同上。所述的等離子清洗機為:⑶R-1OPR型，主要參數(shù):頻率13.56MHz，功率300W，市場可購置；洗滌劑為:RBS_25型濃縮中性洗滌劑，市場可購置；超聲波清洗機為:1012S型，市場可購置；專用固定墊3(見圖4):根據(jù)等離子清洗的特點自行設(shè)計的安裝工具，其結(jié)構(gòu)由臺階柱(3-2)在底板(3-1)面上，按工件4 (輸入窗)的外徑大小排列組裝而成。
權(quán)利要求
1.一種用于微光像增強器光電陰極輸入窗的清潔方法，含工序C沖洗工件、D超聲波清洗、E再沖洗工件、F甩干工件，其特征在于:微光像增強器光電陰極玻璃輸入窗(I)和光纖面板輸入窗(2)的表面進行等離子清洗的具體工藝流程: A、配制洗滌液，將一定量的洗滌劑放入不銹鋼桶中，之后向桶中注入一定量的純水并進行充分混合，形成洗滌液，純水與洗滌劑比例為體積比100:1，即濃度為1% ； B、清洗工件，手拿干凈海綿，沾洗滌液輕輕擦洗工件(4)的外表面，每件工件約數(shù)秒鐘，之后放入工件托架，重復該過程直至清洗完一批工件； C、沖洗工件，用純水沖洗工件(4)及工件架I分鐘，之后放入裝有干凈純水的不銹鋼桶中； D、超聲波清洗，將不銹鋼桶放入超聲波清洗槽，超聲5分鐘； E、再沖洗工件，超聲結(jié)束之后，取出工件托架，再用純水沖洗I分鐘； F、甩干工件，從工件架上取下一件工件(4)，放入離心甩干機，將工件甩干，放入培養(yǎng)皿，重復該過程，并將甩干工件一一裝入專用固定墊(3)中； G、工件裝機，將裝有工件(4)的專用固定墊(3)裝入等離子清洗機的石英管中，關(guān)好石英管密封門； H、調(diào)節(jié)氬氣壓力，打開氬氣減壓閥,使輸出氬氣壓力達到0.1MPa ； 1、等離子清洗，啟動等離子清洗機運行程序，首先對石英腔體進行抽真空達10—4乇，接著對石英腔體充入氬氣，使石英管腔體內(nèi)的壓力控制在10 —2乇，之后啟動輝光放電，對工件(4)進行等離子清洗7分鐘； J、結(jié)束程序，關(guān)掉氬氣，在石英腔體中充入氮氣，當石英腔體中的壓力恢復到大氣壓時，打開石英腔體門，取出專用固定墊(3 )，將工件(4)從專用固定墊(3 )上一一取出，放入培養(yǎng)皿中； K、檢驗，根據(jù)批次和數(shù)量，對工件(4)進行抽檢，用針筒將純水滴在工件表面，純水迅速散開或散開消失，說明工件合格，如果純水仍然保持水滴的形狀不會散開，則工件不合格，說明工件表面存在一層化學殘留物和其它雜質(zhì)，若出現(xiàn)不合格的現(xiàn)象需加倍抽檢或進行全部檢驗，將不合格的工件(4)按工序重新清潔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于微光像增強器光電陰極輸入窗的清潔方法，其特征在于:專用固定墊(3)由臺階柱(3-2)在底板(3-1)面上，按工件(4)的外徑大小排列組裝而成。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于微光像增強器光電陰極輸入窗的清潔方法，主要用于微光像增強器光電陰極玻璃輸入窗和光纖面板輸入窗的表面清潔。其主要技術(shù)方案是研制一種采用等離子清潔技術(shù)，對像增強器光電陰極輸入窗的表面進行清洗，其工藝流程由配制洗滌液、清洗工件、沖洗工件、超聲波清洗、再沖洗工件、甩干工件、工件裝機、調(diào)節(jié)氬氣壓力、等離子清洗、結(jié)束程序及檢驗組成。本發(fā)明通過試用證明完全達到研制目的，從根本上服原方法工作效率低下，成本高，影響環(huán)境等不足。有效地保證了光電陰極的質(zhì)量，提高效率，完全適應現(xiàn)代微光像增強器大批量生產(chǎn)的需求。
文檔編號B08B7/04GK103191889SQ20121000256
公開日2013年7月10日 申請日期2012年1月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月6日
發(fā)明者李曉峰 申請人:北方夜視技術(shù)股份有限公司