專利名稱：探針板清潔刷的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種清潔刷。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體工廠內(nèi)，探針板是晶圓芯片可靠性測試中所需的一個重要部件。需要保 持探針板中的探針具有一個良好的狀態(tài)。需要時刻保持探針板及其上的探針的清潔干凈?，F(xiàn)有的探針板的清潔刷是采用生活中普通的帶硬質(zhì)刷毛的刷子。清洗探針板的時 候，先在刷毛上蘸一點清潔劑如異丙醇(IPA)，然后，用硬質(zhì)刷毛正向擦洗探針板，接著，再 在硬質(zhì)刷毛上蘸一點IPA，最后，再用硬質(zhì)刷毛反向擦洗探針板，最終將探針板擦洗干凈。然而，這種刷子及其清洗探針板的方法，經(jīng)常會有刷毛的纖維落到探針板上。而 且，由于刷毛上的IPA的劑量通過蘸取，因此IPA的使用量很不精確，以致刷洗完畢后，探針 板上經(jīng)常留有大量IPA殘留物。由于，IPA是一種有毒物質(zhì)，操作人員吸入揮發(fā)的IPA后，呼 吸道會有刺激性的癥狀。當(dāng)皮膚接觸IPA時，皮膚會發(fā)生去油的現(xiàn)象，可能造成二次灼傷。 一旦眼睛接觸IPA時，會使得眼睛黏膜受到刺激。因此，如何提供一種降低清潔劑如IPA殘留的探針板清潔刷是本領(lǐng)域亟待解決的 一個技術(shù)問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種探針板清潔刷，可以有效降低清潔劑殘留。為了達(dá)到上述的目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案一種探針板清潔刷，包括刷桿和刷頭，所述刷頭的一端與所述刷桿的一端固定連 接，所述刷頭的另一端為刷毛底座，所述刷毛底座上設(shè)有刷毛，所述刷桿內(nèi)設(shè)有清潔劑儲存 腔，所述刷頭內(nèi)設(shè)有清潔劑通道，所述清潔劑儲存腔和所述清潔劑通道通過毛細(xì)管相連通， 所述刷桿上還設(shè)有用于擠壓清潔劑的擠壓機(jī)構(gòu)。所述擠壓機(jī)構(gòu)包括設(shè)置于刷桿桿壁的開口，所述清潔劑儲存腔的腔壁是由軟質(zhì)材 料制成。所述清潔劑通道包括設(shè)有刷頭內(nèi)部的主通道和設(shè)于刷毛底座內(nèi)的若干導(dǎo)流口，所 述導(dǎo)流口與所述主通道相連通。所述刷毛包括硬質(zhì)刷毛和軟質(zhì)刷毛。所述導(dǎo)流口設(shè)置在刷毛底座對應(yīng)硬質(zhì)刷毛的部位。所述硬質(zhì)刷毛和軟質(zhì)刷毛依次間隔環(huán)繞設(shè)置于所述刷毛底座上。所述硬質(zhì)刷毛和軟質(zhì)刷毛分別有兩組。所述硬質(zhì)刷毛和軟質(zhì)刷毛分別相對設(shè)置。本實用新型的有益效果如下本實用新型探針板清潔刷，結(jié)構(gòu)簡單、使用方便，通過擠壓裝置可以有效控制IPA 的使用量，防止有大量IPA殘留。并且，通過軟質(zhì)刷毛可以進(jìn)一步吸收殘留的小部分IPA，從而使得探針板上的IPA殘留量進(jìn)一步降低，從而有效保護(hù)操作人員的人身安全，并對環(huán)境 保護(hù)具有積極意義。

本實用新型的探針板清潔刷由以下的實施例及附圖給出。圖1是本實用新型探針板清潔刷的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1的仰視圖；圖3是去掉刷毛后的圖1的仰視圖；圖4是圖2的A-A剖視圖；圖中，1-刷桿、11-清潔劑存儲腔、12-毛細(xì)管、13-開口、2-刷頭、21-刷毛底座、 211-硬質(zhì)刷毛、212-軟質(zhì)刷毛、213-導(dǎo)流口、22-主通道。
具體實施方式
以下將對本實用新型的探針板清潔刷作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。下面將參照附圖對本實用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選 實施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現(xiàn)本實用新型 的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對 本實用新型的限制。為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能 和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本實用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實際實施例 的開發(fā)中，必須作出大量實施細(xì)節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商 業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和 耗費時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。為使本實用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實 施方式作進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。請參閱圖1-4，圖1是本實用新型探針板清潔刷的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1的仰視 圖；圖3是去掉刷毛后的圖1的仰視圖；圖4是圖2的A-A剖視圖；這種探針板清潔刷，包括刷桿1和刷頭2，所述刷頭2的一端與所述刷桿1的一端 固定連接，所述刷頭2的另一端為刷毛底座21，所述刷毛底座21上設(shè)有刷毛，所述刷桿1內(nèi) 設(shè)有清潔劑儲存腔，所述刷頭2內(nèi)設(shè)有清潔劑通道，所述清潔劑儲存腔和所述清潔劑通道 通過毛細(xì)管12相連通，所述刷桿1上還設(shè)有用于擠壓清潔劑的擠壓機(jī)構(gòu)。本實施例中，所 述刷頭2和刷桿1螺紋連接。所述擠壓機(jī)構(gòu)包括設(shè)置于刷桿1桿壁的開口 13，所述清潔劑儲存腔的腔壁是由軟 質(zhì)材料制成。當(dāng)然擠壓機(jī)構(gòu)也可以采用其他形式，均為現(xiàn)有技術(shù)，在此不再贅述。所述清潔劑通道包括設(shè)有刷頭2內(nèi)部的主通道22和設(shè)于刷毛底座21內(nèi)的若干導(dǎo) 流口 213，所述導(dǎo)流口 213與所述主通道22相連通。所述刷毛包括硬質(zhì)刷毛211和軟質(zhì)刷 毛212。所述導(dǎo)流口 213設(shè)置在刷毛底座21對應(yīng)硬質(zhì)刷毛211的部位，以便從導(dǎo)流口出來 的清潔劑(IPA)直接流到硬質(zhì)刷毛211上，用于擦洗探針板。[0032]本實施例中，所述硬質(zhì)刷毛211和軟質(zhì)刷毛212依次間隔環(huán)繞設(shè)置于所述刷毛底 座21上。所述硬質(zhì)刷毛211和軟質(zhì)刷毛212分別有兩組。所述硬質(zhì)刷毛211和軟質(zhì)刷毛 212分別相對設(shè)置。采用這種設(shè)置方式，不但美觀，而且還可以分別使用硬質(zhì)刷毛211和軟 質(zhì)刷毛212擦洗探針板。本實用新型是這樣工作的請繼續(xù)參閱圖1-4，當(dāng)需要清洗探針板的時候，先通過擠壓機(jī)構(gòu)擠壓清潔劑存儲腔 11，使得清潔劑存儲腔11內(nèi)的清潔劑如IPA依次經(jīng)毛細(xì)管12、主通道22和導(dǎo)流口 213，流 到硬質(zhì)刷毛211，手?jǐn)D壓的輕重可以控制IPA的用量。當(dāng)IPA流到硬質(zhì)刷毛211時，就可以 通過硬質(zhì)刷毛211正向擦洗探針板。然后，再擠一些IPA到硬質(zhì)刷毛211，反向擦洗探針板。 最后，用軟質(zhì)刷毛212吸收多余的一小部分IPA殘留。本實用新型通過設(shè)置擠壓裝置可以有效控制IPA的使用量，防止有大量IPA殘留。 而且通過軟質(zhì)刷毛可以進(jìn)一步吸收殘留的小部分IPA，從而使得探針板上的IPA殘留量降 低到更低。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實用 新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及 其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種探針板清潔刷，包括刷桿和刷頭，所述刷頭的一端與所述刷桿的一端固定連接， 所述刷頭的另一端為刷毛底座，所述刷毛底座上設(shè)有刷毛，其特征在于，所述刷桿內(nèi)設(shè)有清 潔劑儲存腔，所述刷頭內(nèi)設(shè)有清潔劑通道，所述清潔劑儲存腔和所述清潔劑通道通過毛細(xì) 管相連通，所述刷桿上還設(shè)有用于擠壓清潔劑的擠壓機(jī)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的探針板清潔刷，其特征在于，所述擠壓機(jī)構(gòu)包括設(shè)置于刷桿桿 壁的開口，所述清潔劑儲存腔的腔壁是由軟質(zhì)材料制成。
3.如權(quán)利要求1所述的探針板清潔刷，其特征在于，所述清潔劑通道包括設(shè)有刷頭內(nèi) 部的主通道和設(shè)于刷毛底座內(nèi)的若干導(dǎo)流口，所述導(dǎo)流口與所述主通道相連通。
4.如權(quán)利要求3所述的探針板清潔刷，其特征在于，所述刷毛包括硬質(zhì)刷毛和軟質(zhì)刷毛。
5.如權(quán)利要求4所述的探針板清潔刷，其特征在于，所述導(dǎo)流口設(shè)置在刷毛底座對應(yīng) 硬質(zhì)刷毛的部位。
6.如權(quán)利要求4所述的探針板清潔刷，其特征在于，所述硬質(zhì)刷毛和軟質(zhì)刷毛依次間 隔環(huán)繞設(shè)置于所述刷毛底座上。
7.如權(quán)利要求6所述的探針板清潔刷，其特征在于，所述硬質(zhì)刷毛和軟質(zhì)刷毛分別有兩組。
8.如權(quán)利要求7所述的探針板清潔刷，其特征在于，所述硬質(zhì)刷毛和軟質(zhì)刷毛分別相對設(shè)置。
專利摘要本實用新型公開了一種清潔刷。這種探針板清潔刷，包括刷桿和刷頭，所述刷頭的一端與所述刷桿的一端固定連接，所述刷頭的另一端為刷毛底座，所述刷毛底座上設(shè)有刷毛，所述刷桿內(nèi)設(shè)有清潔劑儲存腔，所述刷頭內(nèi)設(shè)有清潔劑通道，所述清潔劑儲存腔和所述清潔劑通道通過毛細(xì)管相連通，所述刷桿上還設(shè)有用于擠壓清潔劑的擠壓機(jī)構(gòu)。本實用新型探針板清潔刷，結(jié)構(gòu)簡單、使用方便，通過擠壓裝置可以有效控制清潔劑如IPA的使用量，防止有大量IPA殘留。并且，通過軟質(zhì)刷毛可以進(jìn)一步吸收殘留的小部分IPA，從而使得探針板上的IPA殘留量進(jìn)一步降低，從而有效保護(hù)操作人員的人身安全，并對環(huán)境保護(hù)具有積極意義。
文檔編號A46B9/02GK201840010SQ201020506059
公開日2011年5月25日 申請日期2010年8月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月26日
發(fā)明者盧秋明, 曹巍, 李德勇 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司, 武漢新芯集成電路制造有限公司