專利名稱：流體噴射裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種流體噴射裝置，尤其涉及一種可應(yīng)用于基板處理裝置中
將液體(DIW)和氣體(CDA)的混合流體噴射到基板上而對(duì)基板進(jìn)行清洗，且容 易制作，并可以提高流體噴射效率的流體噴射裝置。
背景技術(shù)：
通常，流體噴射裝置可應(yīng)用于為清洗基板而對(duì)基板噴射混合流體的過程。 這種流體噴射裝置中，形成有氣體腔室的第一墊板和形成有液體腔室的第二 墊板相重疊并藉由連接部件相互結(jié)合。并且，第一墊板和第二墊板之間形成 有用于噴射供給到氣體腔室的氣體(CDA，清潔用干燥氣體)的噴射管道。另 外，第二墊板上形成有以傾斜狀態(tài)設(shè)置、并用于連接液體腔室和噴射管道的 多個(gè)連接管道。
艮口，液體腔室的液體(DI water,去離子水)依據(jù)汽化器原理經(jīng)氣體和連
接管道被噴射到噴射管道內(nèi)而形成混合流體，然后噴射到基板上。
上述連接管道是通過銑削(milling)作業(yè)等工序形成細(xì)長的孔而制作的。
這種現(xiàn)有的流體噴射裝置在對(duì)所述連接管道進(jìn)行加工時(shí)，由于處理基板逐漸 大型化，流體噴射裝置的長度明顯變大，而且連接管道的數(shù)增加，從而導(dǎo)致 加工時(shí)間和加工成本增加。
而且，向氣體腔室供給氣體的壓力大于向液體腔室供給液體的壓力。在 氣體從氣體腔室向噴射管道噴射的過程中，液體腔室側(cè)的連接管道與噴射管
道相連接的位置上有部分氣體沒有噴射到噴射管道外部，而與液體流出的連 接管道的末端壁相撞,從而改變移動(dòng)方向，反而流入壓力較弱的液體腔室內(nèi)， 這種現(xiàn)象會(huì)降低流體的噴射效率。
而且，現(xiàn)有的流體噴射裝置的底面為平面形狀，因此混合流體噴射到基 板上時(shí)，噴射的流體周圍會(huì)產(chǎn)生負(fù)壓，從而發(fā)生基板被吸附到流體噴射裝置 上的現(xiàn)象，因此會(huì)導(dǎo)致基板處理不良的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問題而作，本發(fā)明的目的在于提供一種具有可易于加工 的用于連接液體腔室和噴射單元的連接流道結(jié)構(gòu)，從而減少生產(chǎn)成本并節(jié)約 生產(chǎn)時(shí)間，以此來提高生產(chǎn)效率的流體噴射裝置。
并且，本發(fā)明的又一目的在于提供一種可以防止氣體向液體腔室逆流的 現(xiàn)象，以提高流體噴射效率的流體噴射裝置。
另外，本發(fā)明的另一目的在于提供一種可去除在流體噴射裝置中因噴射 的混合流體周圍產(chǎn)生負(fù)壓，導(dǎo)致基板被吸附到流體噴射裝置上的現(xiàn)象，從而 防止基板處理不良的流體噴射裝置。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種流體噴射裝置，其包括第一墊板， 其用于形成氣體供給單元；第二墊板，其用于形成液體供給單元，并與所述 第一墊板結(jié)合而構(gòu)成主體；噴射單元，其設(shè)置在相互結(jié)合的所述第一墊板和 所述第二墊板的末端，并用于噴射混合流體；以及間隙墊板，其設(shè)置在所述 第一墊板和所述第二墊板之間，并且其下面設(shè)有用于連接所述液體供給單元 和所述噴射單元的連接流道。
所述氣體供給單元最好包括氣體腔室；以及氣體供給流道，其一端與所 述氣體腔室連接，另一端與所述噴射單元連接，從而使氣體流動(dòng)。
所述液體供給單元最好包括液體腔室；以及液體供給流道，其一端與所 述液體腔室連接，另一端與所述連接流道連接，從而使液體流動(dòng)。
所述間隙墊板的下面最好相隔預(yù)定距離設(shè)置用于形成所述連接流道的多
曰所述噴射單元的寬度最好大于所述氣體供給流道的寬度。 所述第一墊板和所述第二墊板之間最好放置所述間隙墊板，并且兩者相 面對(duì)的側(cè)面分別形成有氣體腔室和液體腔室。
所述第一墊板和第二墊板的前端部最好是傾斜面。
所述第二墊板的前端部上最好形成有朝所述第一墊板方向延伸的延伸部。
如上所述的本發(fā)明，在間隙墊板的下端部以相同距離隔開形成連接流道 并將其結(jié)合到第一墊板和第二墊板之間，所述連接流道由將液體輸送到噴射 管道上的多個(gè)槽組成。因此其加工容易，生產(chǎn)成本低廉，可提高生產(chǎn)效率。并且，本發(fā)明中噴射單元的寬度大于氣體供給流道的間距，因此從氣體供 給流道向噴射單元供給的部分氣體不會(huì)流入流體腔室內(nèi)，而全部被噴射出去， 從而提高了流體的噴射效率。
另外，本發(fā)明中流體噴射裝置的第一墊板和第二墊板的前端部為傾斜 面，因此可以防止從噴射單元噴射的混合流體的周圍產(chǎn)生負(fù)壓，而避免基板 被吸附到流體噴射裝置上的現(xiàn)象，從而防止基板的處理不良。


圖1是本發(fā)明流體噴射裝置一個(gè)實(shí)施例的的外觀結(jié)構(gòu)圖。
圖2是圖1中主要部分的分解立體圖。
圖3是圖i中m-m向剖面圖。
圖4是圖3中A部分的放大圖。
圖5是用于說明本發(fā)明實(shí)施例作用的示意圖。
具體實(shí)施例方式
以下參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。 圖.l是用于說明本發(fā)明流體噴射裝置一個(gè)實(shí)施例的的外觀結(jié)構(gòu)圖。 流體噴射裝置具有較長的狹縫，其可將在處理槽內(nèi)混合的液體(DI Water) 和氣體(CDA， Clean Dry Air)的混合流體噴射到基板G上，而對(duì)基板G進(jìn)行 清洗。所述流體噴射裝置中第一墊板1和第二墊板3藉由連接部件5相互連 接。如圖2和圖3所示，上述第一墊板1和第二墊板3之間配置有間隙墊板 7。
第一墊板1上形成有氣體供給單元2。氣體供給單元2可以包括氣體腔 室la、用于輸送氣體腔室la中氣體的氣體供給流道lb。氣體腔室la形成于 第一墊板1上，并可以暫時(shí)存儲(chǔ)從氣體供給裝置(省略圖示)供給的氣體。
而且，第二墊板3上形成有液體供給單元4。液體供給單元4可以包括 液體腔室3a、用于輸送液體腔室3a中液體的液體供給流道3b。液體腔室3a 形成于第二墊板3上，并可以暫時(shí)存儲(chǔ)從液體供給裝置(省略圖示)供給的液 體。如圖3所示，第一墊板1和第二墊板3相互結(jié)合，并在其間設(shè)有間隙墊 板7，并且第一墊板1和第二墊板3相互面對(duì)的側(cè)面分別形成有氣體腔室la 和液體腔室3a。
并且，第一墊板1和間隙墊板7之間形成有與氣體腔室la連接的氣體供 給流道lb。另外，第二墊板3和間隙墊板7之間形成有與液體腔室3a連接 的液體供給流道3b。
另外，第一墊板1和第二墊板3之間的前端上形成有供混合流體通過的 噴射單元13。 g卩，第一墊板1和第一墊板3的前端具有一定間距(gap)，從 而形成了可噴射混合流體的空間，該空間即為噴射單元13。
換句話說，氣體供給流道lb是由氣體腔室la流出的氣體通過的區(qū)域， 噴射單元13是由氣體腔室la流出的氣體和液體的混合流體通過并噴射到基 板G上的區(qū)域。
所述噴射單元13的寬度b (如圖4所示)最好大于上述氣體供給流道lb 的寬度a (如圖4所示)。
另外，第二墊板3的前端部朝第一墊板1的方向延伸而形成突出形狀的 延伸部3c。
并且，如圖2所示，間隙墊板7在其下端形成有等距離隔開的多個(gè)槽7a， 所述槽7a具有朝下的開口部。所述多個(gè)槽7a是用于連接液體腔室3a和噴射 單元13的連接流道9 (如圖4所示)，從而向噴射單元13噴射液體腔室3a 內(nèi)的液體。即，間隙墊板7與第二墊板3相結(jié)合后，間隙墊板7下面的多個(gè) 槽7a成為輸送液體的連接流道9。
如上所述，間隙墊板7可通過在其下端部以相同間距隔開形成的多個(gè)槽 7a來制作使液體流到噴射單元13的連接流道9。如此，通過對(duì)間隙墊板7 的下端部進(jìn)行加工來制作多個(gè)槽而形成連接流道9的方式具有加工性優(yōu)秀、 減少生產(chǎn)成本和時(shí)間，從而可提高生產(chǎn)效率的效果。
另外，第一墊板1和第二墊板3的下端部形成有朝兩側(cè)傾斜的傾斜面le、 3e。當(dāng)混合流體以高壓狀態(tài)經(jīng)噴射單元13噴射到基板G上時(shí)，所述傾斜面 le、 3e的周圍會(huì)形成充分的閑置空間，從而防止噴射的混合流體周圍產(chǎn)生負(fù) 壓。
下面參照附圖具體說明如上所述的本發(fā)明的作用。并且詳細(xì)說明向通過 輸送裝置移送到處理槽內(nèi)部的基板G噴射混合流體的過程。通過氣體供給裝置供給到氣體腔室la內(nèi)的氣體經(jīng)由氣體供給流道lb和 噴射單元13噴射。此時(shí)，液體腔室3a內(nèi)的液體流過液體供給流道3b，并沿 由間隙墊板7的槽7a構(gòu)成的連接流道9噴射到噴射單元13上。gp，根據(jù)汽 化器的原理，氣體從氣體供給流道lb和噴射單元13流出時(shí)，液體就會(huì)與氣 體一起通過連接流道9，此時(shí)液體和氣體混合的混合流體被噴射到基板G上。
此時(shí)，如圖5所示，氣體從氣體噴射流道lb流過噴射單元13。并且， 隨著噴射單元13的擴(kuò)充，可防止現(xiàn)有技術(shù)中氣體向液體噴射流道3b逆流的 現(xiàn)象。
當(dāng)然氣體流過噴射單元13時(shí)，液體腔室3a的液體流過連接流道9的同 時(shí)成為混合流體，然后噴射到基板G上。
如上所述，由于第一墊板1和第二墊板3的前端部被構(gòu)成為斜面le、 3e， 因此噴射到基板G上的混合流體的周圍會(huì)形成充分的空間，從而防止噴射到 基板G上的混合流體的周圍產(chǎn)生負(fù)壓。因此，可以避免基板G被吸附到流體 噴射裝置上或者搖晃，從而防止基板處理不良的現(xiàn)象。
權(quán)利要求
1.一種流體噴射裝置，其特征在于，包括第一墊板，其用于形成氣體供給單元；第二墊板，其用于形成液體供給單元，并與所述第一墊板相結(jié)合而構(gòu)成主體；噴射單元，其設(shè)置在相結(jié)合的所述第一墊板和所述第二墊板的末端，用于噴射混合流體；以及間隙墊板，其設(shè)置在所述第一墊板和所述第二墊板之間，并且其下面設(shè)有用于連接所述液體供給單元和所述噴射單元的連接流道。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體噴射裝置，其特征在于，所述氣體供給單 元包括氣體腔室，其設(shè)置于所述第一墊板上并用于暫時(shí)存儲(chǔ)氣體；以及 氣體供給流道，其一端與所述氣體腔室連接，另一端與所述噴射單元連 接，從而使氣體流動(dòng)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體噴射裝置，其特征在于，所述液體供給單 元包括液體腔室，其設(shè)置于所述第二墊板上并用于暫時(shí)存儲(chǔ)液體；以及 液體供給流道，其一端與所述液體腔室連接，另一端與所述連接流道連 接，從而使液體流動(dòng)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體噴射裝置，其特征在于 所述間隙墊板的下面相隔預(yù)定距離設(shè)置有用于形成所述連接流道的多個(gè)槽。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體噴射裝置，其特征在于所述噴射單元的寬度大于所述氣體供給流道的寬度。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體噴射裝置，其特征在于所述第一墊板和所述第二墊板之間放置有所述間隙墊板，并且兩者相面 對(duì)的側(cè)面分別形成有氣體腔室和液體腔室。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體噴射裝置，其特征在于 所述第一墊板和第二墊板的前端部為傾斜面。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體噴射裝置，其特征在于 所述第二墊板的前端部形成有朝所述第一墊板方向延伸的延伸部。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種可以應(yīng)用于基板處理裝置中將液體(DIW)和氣體(CDA)的混合流體噴射到基板上而對(duì)基板進(jìn)行清洗，且容易制作，并可以提高流體噴射效率的流體噴射裝置。本發(fā)明的流體噴射裝置包括第一墊板，其用于形成氣體供給單元；第二墊板，其用于形成液體供給單元，并與所述第一墊板相結(jié)合而構(gòu)成主體；噴射單元，其設(shè)置在相互結(jié)合的所述第一墊板和所述第二墊板的末端，而用于噴射混合流體；以及間隙墊板，其設(shè)置在所述第一墊板和所述第二墊板之間，且在下面設(shè)有用于連接所述液體供給單元和所述噴射單元的連接流道。
文檔編號(hào)B08B3/02GK101632991SQ200910136428
公開日2010年1月27日 申請(qǐng)日期2009年5月8日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月24日
發(fā)明者樸鎬胤, 李承俊 申請(qǐng)人:顯示器生產(chǎn)服務(wù)株式會(huì)社