專利名稱：輸送設(shè)備、清潔設(shè)備和液晶顯示裝置的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用在液晶顯示裝置等的制造過程中的輸送設(shè)備和清潔 設(shè)備以及液晶顯示裝置的制造方法。
背景技術(shù)：
用在液晶顯示裝置等的制造過程中的公知的輸送和清潔設(shè)備以及 利用上述輸送和清潔設(shè)備的液晶顯示裝置的公知的制造方法都是已有 的。
日本專利Laid-open公開文本No. 2005 — 99595披露了一種用于清 潔暴露和排列在顯示裝置單元末端中的端子的清潔設(shè)備。該清潔設(shè)備包 括放置要供送到清潔過程的基底的供送臺；執(zhí)行第一清潔過程的第一 基底保持臺；執(zhí)行第二清潔過程的第二基底保持臺；該基底在輸送到后 續(xù)過程之前被暫時放置在上面的中間臺；以及三個基底保持頭，用于當(dāng) 該基底在相鄰臺之間輸送時保持該基底。
這四個臺以相等的間隔排列。這三個基底保持頭的相對位置以與 各個臺之間的間隔相等的間隔而固定。這三個基底保持頭在這四個臺的 排列方向上移動且不改變間隔。
在該清潔設(shè)備中，基底單獨放置于供送臺、第一基底保持臺和第 二基底保持臺上。這種情況下，在第一基底保持臺上執(zhí)行第一清潔過程， 在第二基底保持臺上執(zhí)行與第一清潔過程不同的第二清潔過程。
接下來，放置于供送臺、第一和第二基底保持臺上的三個基底由
這三個基底保持頭保持。這三個基底與相應(yīng)的三個基底保持臺一起移 動，然后分別放置于第一和第二基底保持臺以及中間臺上。
放置于中間臺上的基底被輸送至執(zhí)行后續(xù)過程的制造設(shè)備，已經(jīng) 經(jīng)歷在先過程的新的基底被輸送至供送臺。
然而，在上述專利文獻(xiàn)的清潔設(shè)備中，由于所有基底在基底輸送 過程中被同時輸送，因此在該基底輸送過程中不執(zhí)行基底清潔過程。因 此，基底輸送和清潔過程需要在不同的時間執(zhí)行，從而引起增加操作時 間的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明意在解決上述問題，因此本發(fā)明的目的是提供一種輸送設(shè) 備、清潔設(shè)備以及可縮短制造時間的液晶顯示裝置的制造方法。
根據(jù)本發(fā)明的第一方面的輸送設(shè)備，包括臺部和輸送部。該臺 部包括供送臺，其上放置要供送的工件；第一工作臺，在該第一工作 臺該工件經(jīng)歷一個工作過程；第二工作臺，在該第二工作臺該工件經(jīng)歷 與第一工作臺相同的工作過程；以及卸載臺，其上放置要卸載的工件， 供送臺、第一工作臺、第二工作臺和卸載臺順序排列。該輸送部包括 供送臂，將該工件從供送臺供送到第一或第二工作臺；卸載臂，其位于 供送臂的卸載臺一側(cè)，并將該工件從第一或第二工作臺卸載到卸載臺； 第一驅(qū)動單元，在這四個臺子的排列方向上移動供送臂和卸載臂；以及 第二驅(qū)動單元，其改變排列方向上的供送臂和卸載臂之間的距離。
根據(jù)本發(fā)明的第二方面的清潔設(shè)備，包括臺部，輸送部和清潔部。 該臺部包括:供送臺，其上放置要供送的工件；第一工作臺，在該第一 工作臺該工件經(jīng)歷一個清潔過程；第二工作臺，在第二工作臺該工件經(jīng) 歷與第一工作臺相同的清潔過程；以及卸載臺，其上放置要卸載的工件，
供送臺、第一工作臺、第二工作臺和卸載臺順序排列。該輸送部包括 供送臂，將該工件從供送臺供送到第一或第二工作臺；卸載臂，其位于 供送臂的卸載臺一側(cè)，并將該工件從第一或第二工作臺卸載到卸載臺； 第一驅(qū)動單元，在這四個臺子的排列方向上移動供送臂和卸載臂；以及 第二驅(qū)動單元，其改變排列方向上的供送臂和卸載臂之間的距離。該清 潔部包括清潔該工件的清潔頭；以及在該排列方向上移動該清潔頭的
清潔部驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
根據(jù)本發(fā)明的第三方面的制造液晶顯示裝置的方法，包括密封 每對基底，其上形成端子并暴露該端子；通過清潔部驅(qū)動機(jī)構(gòu)移動清潔 頭，清潔放置于一對工作臺之一上的基底上的端子；通過用于卸載的卸 載臂，輸送已經(jīng)清潔并放置于所述成對工作臺之一上的基底，以及通過 用于供送的供送臂，將接下來要清潔的基底輸送到所述成對工作臺中的 另一個；以及將驅(qū)動器IC連接到所述端子，其中同時執(zhí)行一部分清潔 和一部分輸送。
根據(jù)本發(fā)明，能夠在其中一個工作臺執(zhí)行工件的工作過程例如清 潔過程，同時將另一個工件輸送至另一個工作臺。因此，制造時間可以 縮短。


圖1是根據(jù)一個實施例的清潔設(shè)備的平面圖。 圖2是該清潔設(shè)備在圖1的箭頭II的方向上的側(cè)視圖。 圖3是示意性地說明該清潔設(shè)備的一過程的平面圖。 圖4是用于示意性地說明一過程的清潔頭周圍的側(cè)視圖。 圖5是用于示意性地說明一過程的該清潔設(shè)備的平面圖。 圖6是用于示意性地說明一過程的該清潔頭周圍的側(cè)視圖。 圖7是用于示意性地說明一過程的該清潔設(shè)備的平面圖。 圖8是用于示意性地說明一過程的該清潔設(shè)備的平面圖。 圖9是用于示意性地說明一過程的該清潔設(shè)備的平面圖。 圖IO是用于示意性地說明一過程的該清潔設(shè)備的平面圖。 圖11是用于示意性地說明一過程的該清潔設(shè)備的平面圖。 圖12是用于示意性地說明一過程的該清潔設(shè)備的平面圖。 圖13是用于示意性地說明一過程的該清潔設(shè)備的平面圖。 圖14是用于示意性地說明一過程的該清潔設(shè)備的平面圖。
具體實施例方式
下面參照附圖描述本發(fā)明的各個實施例。注意在整個附圖中，相 同或相似的參考標(biāo)號表示相同或相似的部件和元件，相同或相似的部件 和元件的描述將被省略或簡化。
下面參照附圖對本發(fā)明的實施例作出描述。
圖1是根據(jù)本發(fā)明的實施例的清潔設(shè)備的平面圖。圖2是該清潔 設(shè)備在圖1的箭頭II的方向上的側(cè)視圖。在以下描述中，圖1和圖2 所示的坐標(biāo)中的X、 Y、 Z定義為X、 Y、 Z方向。X方向?qū)?yīng)于權(quán)利要求
中所述臺的排列方向。
如圖1和圖2所示，清潔設(shè)備1包括臺部2、輸送部3和清潔部4。 臺部2和輸送部3對應(yīng)于權(quán)利要求中所述的輸送設(shè)備。
臺部2包括供送臺11、第一工作臺12、第二工作臺13以及卸載 臺14。供送臺11、第一工作臺12、第二工作臺13以及卸載(discharge) 臺14在X方向上排列。
供送臺11是經(jīng)歷在先過程并供送的工件101n (n=l， 2，……) 在被供送至第一工作臺12或第二工作臺13之前被暫時放置的臺子。
第一工作臺12和第二工作臺13是工件IOU被放置并經(jīng)歷相同的 清潔過程的臺子。第一工作臺12和第二工作臺13在X方向上以預(yù)定的 距離設(shè)置。第一工作臺12和第二工作臺13分別包括致動器16和17， 并被設(shè)置成在Y方向上獨立地移動。致動器16和17中的每一個包括活 塞和氣缸。這使得工作臺12 (13)之一定位于清潔位置Y3，而另一個 工作臺13 (12)定位于輸送位置Y4，以便輸送部3可以輸送工件101n。
卸載臺14是已經(jīng)經(jīng)歷清潔過程的工件IOU在被卸載至后續(xù)過程 之前暫時放置的臺子。
這里，如圖1所示，供送臺11的X坐標(biāo)是供送位置X"第一工作 臺12的X坐標(biāo)是第一工作位置X 2;第二工作臺13的X坐標(biāo)是第二工 作位置X"卸載臺14的X坐標(biāo)是卸載位置X4。
因此，供送臺11和第一工作臺12之間的距離是X2—X,，第二工 作臺13和卸載臺14之間的距離是X4 — X3。臺11至14被定位成使得 X2 —X,二X4 — X3。因此，X3—Xi = X4 —X2。下面，X2 —X！ (=X4 —X3) 稱為D,， X3—X, (=X4 —X2)稱為D2。
輸送部3輸送放置于臺部2的四個臺子11至14上的工件101n。 輸送部3包括第一驅(qū)動單元21、第二驅(qū)動單元22、供送臂23以 及卸載臂24。
第一驅(qū)動單元21包括設(shè)置成在X方向上延伸的滾珠絲杠26;位 于滾珠絲杠26端部處的驅(qū)動電機(jī)27;以及一對導(dǎo)軌28a和28b。滾珠 絲杠26和驅(qū)動電機(jī)27固定于工作臺(未示出)。在第一驅(qū)動單元21中， 數(shù)字控制所述驅(qū)動電機(jī)27以轉(zhuǎn)動滾珠絲杠26。第一驅(qū)動單元21由此 使得第二驅(qū)動單元22、供送臂23和卸載臂24由導(dǎo)軌28a和28b引導(dǎo)， 并在X方向上移動。
第二驅(qū)動單元22包括活塞29、氣缸30以及導(dǎo)向元件31。在第二 驅(qū)動單元22中，空氣被提供給氣缸或從氣缸排出，從而延伸或回退活 塞29。第二驅(qū)動單元22改變卸載臂24相對于供送臂23的相對位置， 同時通過導(dǎo)向元件31引導(dǎo)卸載臂24。因此，第二驅(qū)動單元22在X方 向上改變供送臂23和卸載臂24之間的距離。卸載臂24相對于供送臂 23的位置由位置傳感器(未示出)檢測。
這里，構(gòu)造成當(dāng)?shù)诙?qū)動單元22的氣缸30的活塞29以最大延 伸量充分延伸時，供送臂23和卸載臂24之間的距離是D2。構(gòu)造成當(dāng) 第二驅(qū)動單元22的氣缸30的活塞29以最大回退量充分回退時，供送 臂23和卸載臂24之間的距離是D1Q因此第二驅(qū)動單元22在活塞29的 最大延伸量與最大回退量處的長度之差是D2—D,。
供送臂23用于將放置于供送臺11上的工件IOL供送至第一工作 臺12或第二工作臺13。卸載臂24用于將放置于第一工作臺12和第二 工作臺13上的工件101 卸載至卸載臺14。
供送臂23和卸載臂24包括吸取機(jī)構(gòu)(未示出)，用于將工件101n 吸至底部表面上。如圖2所示，供送臂23和卸載臂24中的每一個包括 可在Z方向上回退的致動器32。供送臂23和卸載臂24可在Z方向上 在輸送位置Z,和放置位置Z2之間被致動器32移動，其中在輸送位置Z,. 供送臂23和卸載臂24定位以輸送工件101n，在放置位置Z2,供送臂23 和卸載臂24定位以將工件101 放置于工作臺12或13上(或者從而吸 取放置于工作臺12和13上的工件101n)。
清潔部4包括清潔頭41、清潔布供送單元42、清潔單元驅(qū)動機(jī)構(gòu) 43以及固定棒47。
清潔頭41將清潔布102放置在工件IOL的一個電極的端子101a 上，以清潔工件101。的端子101a。清潔頭41包括一對清潔爪44a和44b。 這對清潔爪44a和44b構(gòu)造成在Z方向上相互移近或移遠(yuǎn)，相互移近以 允許清潔布102覆蓋端子101a。清潔爪44a具有清潔供送管(未示出)， 清潔液通過該管被壓送至覆蓋工件IOL的端子101a的清潔布102。清 潔頭41構(gòu)造成被驅(qū)動機(jī)構(gòu)(未示出)在Y方向上移動。該驅(qū)動機(jī)構(gòu)使 清潔頭41在與工件IOL分離的準(zhǔn)備位置Yi和將工件IOL定位于清潔爪 44a和44b之間的清潔位置Y2之間移動。
清潔布供送單元42包括供送輥45和旋轉(zhuǎn)支撐的取回輥46。清潔 布供送單元42將清潔布102從纏繞著清潔布102的供送輥45供送至清 潔頭41，并在清潔布102經(jīng)過清潔頭41之后取回清潔布102。
清潔部驅(qū)動機(jī)構(gòu)43包括驅(qū)動電機(jī)48、滾珠絲杠49和一對導(dǎo)軌50a 和50b。如圖2所示，清潔部驅(qū)動機(jī)構(gòu)中，數(shù)字控制所述驅(qū)動電機(jī)48 以轉(zhuǎn)動滾珠絲杠49。由此清潔部驅(qū)動機(jī)構(gòu)43分別沿著導(dǎo)軌50a和50b 將清潔頭41和清潔布供送單元42從第一清潔起始位置Xs移至第二清潔 終止位置X8。這里，第一清潔起始位置Xs是第一工作臺12上的工件101n 的清潔過程起始的位置。第二清潔終止位置X8是第二工作臺13上的工 件101n的清潔過程終止的位置。在第一清潔起始位置Xs和第二清潔終 止位置Xs之間，存在有第一清潔終止位置Xe和第二清潔起始位置X7， 其中第一清潔終止位置X6是第一工作臺12上的工件10L的清潔過程終 止的位置，第二清潔起始位置X7是第二工作臺13上的工件IOL的清潔 過程起始的位置。
固定棒47防止清潔布102擠壓面向+Y方向的工件IOL的端面。 這可以防止清潔布102在一Y方向上移位工件101n。固定棒47被固定， 這樣即使當(dāng)清潔頭41在Y方向上移動時，固定棒47也不會移動。這里， 當(dāng)清潔頭41定位在準(zhǔn)備位置YJ寸，固定棒47被固定于其處的Y方向上 的位置超過一Y方向上的清潔爪44a和44b的尖端。另一方面，固定棒 47被固定于其處的Y方向上的位置超過+ Y方向上的清潔爪44a和44b
的尖端。固定棒47被固定，從而在Z方向上的同一位置的平面中沿著 一Y方向位置超過了清潔布102。固定棒47固定的Z方向上的位置基本 位于清潔爪44a和44b的中間，固定棒27固定在與Z方向上的工件101n 基本相同的位置。
接下來，參照圖3至圖14，對液晶顯示裝置的制造過程給予描述， 著重于輸送過程和清潔過程。圖3、 5、和7至14是清潔設(shè)備的平面圖， 用于示意性地說明該過程。圖4和圖6是清潔頭及其周圍的側(cè)視圖，用 于示意性地說明此過程。參考標(biāo)號27a表示將電源和信號傳送到驅(qū)動電 機(jī)27的電線。
首先，在顯示單元的組裝過程中，電極形成在對應(yīng)于顯示單元內(nèi) 表面的兩個玻璃基底的表面中，然后兩個玻璃基底相互連接并由注入其 間的液晶密封，以便電極端子暴露出來，從而組裝顯示單元(以下稱作 工件)。
接下來，執(zhí)行清潔過程和在清潔過程中輸送工件的輸送過程。下 面詳細(xì)描述清潔和輸送過程。
首先，如圖3和圖4所示，下列描述從工件IOI,、 1012、 1013分 別放置于臺子ll、 12、 13上的狀態(tài)開始。放置于第一工作臺12上的工 件1012的端子101a已經(jīng)被清潔。另一方面，放置于第二工作臺13上 的工件1013的端子101a還沒有被清潔。供送臂23定位于供送位置X,。 卸載臂24通過處于最大延伸量的活塞29被設(shè)置成最靠近供送臂23， 并且定位于第一工作位置X 2。工作臺12和13在Y方向上定位于輸送 位置Y 4。清潔頭41通過清潔部驅(qū)動機(jī)構(gòu)43定位于X方向上的第二清 潔起始位置X7，并且定位于Y方向上的準(zhǔn)備位置Y,。在沿著Z方向與 工件1013的位置相對應(yīng)的區(qū)域中，清潔布102沿著Y方向位于清潔爪 44a和44b的尖端與固定棒47之間。
接下來，如圖5和圖_6所示，位于第二清潔起始位置X7的清潔頭 41被驅(qū)動機(jī)構(gòu)從準(zhǔn)備位置Y,移至清潔位置Y2，同時清潔爪44a和44b 閉合。第二工作臺13從輸送位置Y,移至清潔位置Y3。如圖6所示，第 二工作臺13上的工件1013的端子101a由此插在閉合的清潔爪44a和 44b之間。因此清潔布102在一Y方向上被清潔爪44a和44b擠壓。清 潔布102在+ Y方向上被工件1013擠壓，以便覆蓋工件1013的端子101a。 此外，為了防止工件1013被清潔布102在一端擠壓并在一Y方向上被移 位，在Z方向上的位置與工件1013相同的一部分清潔布102被固定棒 47擠壓。然后位于供送位置X,的供送臂23吸取供送臺11上的工件101,。 卸載臂24定位于與第一工作臺12對應(yīng)的第一工作位置X2，并吸取第一 工作臺12上的工件1012。在吸取工件IOI,和1012的過程中，在吸取之 前和吸取之后，臂23和24在Z方向上的輸送位置Z^卩放置位置L之 間往復(fù)運動。在以下描述中，有關(guān)臂23和24在Z方向上的運動的描述 被省略。
接下來，如圖7所示，供送臂23和卸載臂24被第一驅(qū)動單元21 移動，同時卸載臂24通過第二驅(qū)動單元22的活塞29的回退從而離開 供送臂23。第一輸送過程由此開始，其中工件IOL從供送臺11輸送到 第一工作臺12，而工件1012從第一工作臺12輸送到卸載臺14。當(dāng)供送 臂23和卸載臂24處于上述第一輸送過程的操作時，清潔頭41執(zhí)行清 潔所述工件1013的端子101a的第二清潔過程，并通過清潔部驅(qū)動機(jī)構(gòu) 43從第二清潔起始位置X7移至第二清潔終止位置X8。
接下來，如圖8所示，當(dāng)供送臂23和卸載臂24被第一驅(qū)動單元 21移動且供送臂23到達(dá)第一工作臺12時，供送臂23將工件1013釋放， 以將其放置到第一工作臺12上。第二驅(qū)動單元22的活塞29達(dá)到最大 回退量，且供送臂23和卸載臂24之間的距離變成最長距離D2。卸載臂 24到達(dá)卸載臺14被定位于其處的卸載位置X4并且釋放工件1012，從而 將工件1012放置于卸載臺14上。第一輸送過程由此完成。在第一輸送 過程期間，清潔頭41被清潔部驅(qū)動機(jī)構(gòu)43移至第二清潔終止位置X8， 并結(jié)束第二清潔過程。
接下來，如圖9所示，第二工作臺13被移至輸送位置Y4，清潔頭 41被移至準(zhǔn)備位置Yt。如上所述，工作臺12、 13和清潔頭41相互移 近或移遠(yuǎn)，從而清潔工件101n，但是有關(guān)Y方向上的移動的描述在下面 省略。
接下來，如圖10所示，不保持任何工件的供送臂23和卸載臂24 被第一驅(qū)動單元21移動。供送臂23由此向供送臺11被定位于其處的
供送位置X,移動。卸載臂24向卸載臺13被定位于其處的第二工作位置 L移動。在供送臂23和卸載臂24的移動過程中，第二驅(qū)動單元22的 活塞29不延伸或回退，而且供送臂23和卸載臂24之間的距離D2保持 恒定。清潔頭41被清潔部驅(qū)動機(jī)構(gòu)43從第二清潔終止位置X8向第一清 潔起始位置X5沿著端子101a移動。在這個過程中，已經(jīng)經(jīng)歷在先過程 的下一個工件1014供送至供送臺11。
接下來，如圖11所示，當(dāng)通過第一驅(qū)動單元21到達(dá)供送位置X, 時，供送臂23吸取并保持著放置于供送臺11上的工件1014。當(dāng)通過第 一驅(qū)動單元21到達(dá)第二工作位置X3之后，卸載臂24吸取并保持著放置 于第二工作臺13上的工件1013。清潔頭41通過清潔部驅(qū)動機(jī)構(gòu)43達(dá) 到第一清潔起始位置X5。
接下來，如圖12所示，供送臂23和卸載臂24被第一驅(qū)動單元21 移動，同時卸載臂24被第二驅(qū)動單元22的活塞29的延伸而移動，以 便靠近供送臂23。第二輸送過程開始，其間工件1014從供送臺11輸送 至第二工作臺13，同時工件1013從第二工作臺13輸送至卸載臺14。當(dāng) 供送臂23和卸載臂24執(zhí)行上述第二輸送過程時，清潔頭41開始清潔 放置于第一工作臺12上的工件101,的端子101a的第一清潔過程，并被 清潔部驅(qū)動機(jī)構(gòu)43從第一清潔起始位置X5向第一清潔終止位置Xe沿著 端子101a移動。
接下來，如圖13所示，供送臂23和卸載臂24被第一驅(qū)動單元21 移動。當(dāng)?shù)竭_(dá)第二工作臺13時，供送臂23釋放所吸取并保持的工件 1014，以將其放置于第二工作臺13上。第二驅(qū)動單元22的活塞29達(dá) 到最大延伸量，使供送臂23和卸載臂24相互最為靠近至距離D,。因此， 當(dāng)?shù)竭_(dá)卸載臺15被定位于其處的卸載位置X4時，卸載臂24釋放所吸取 的工件1013以將其放置于卸載臺14上。第一輸送過程由此完成。在第 一輸送過程中，清潔頭41被清潔部驅(qū)動機(jī)構(gòu)43移至第一清潔終止位置
Xe并完成第一清潔過程。
接下來，如圖14所示，供送臂23和卸載臂24被第一驅(qū)動單元21 移動。供送臂23由此向供送臺11被定位于其處的供送位置X,移動。卸 載臂24向第一工作臺12被定位于其處的第一工作位置X2移動。在供送
臂23和卸載臂24的移動過程中，第二驅(qū)動單元22的活塞29不延伸或 回退，而且供送臂23和卸載臂24之間的距離D,保持恒定。清潔頭41 被清潔部驅(qū)動機(jī)構(gòu)43從第一清潔終止位置X6向第二清潔起始位置L移 動。在這個過程中，已經(jīng)經(jīng)歷在先過程的下一個工件1015供送至供送臺 11。
重復(fù)基于圖3至圖14描述的清潔和輸送過程。
接下來，已經(jīng)經(jīng)歷清潔過程的工件(顯示單元)101 被設(shè)置以電連 接于驅(qū)動器IC (未示出)的端子101a，從而制造液晶顯示裝置。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明實施例的清潔設(shè)備1包括兩個工作臺12和 13。這使得可以清潔放置于工作臺12 (13)之一上的工件101n、同時 輸送放置于另一個工作臺13 (12)上的工件101n。因此輸送和清潔過 程可同時執(zhí)行，而且制造時間可以縮短。
此外，在輸送部3中，驅(qū)動電機(jī)27被固定。因此能夠避免電線的 損壞，例如用于向驅(qū)動電機(jī)27提供電源的電源線27a。盡管特別移動 驅(qū)動電機(jī)連同粗線例如電源線給驅(qū)動電機(jī)增加了負(fù)擔(dān)，但是輸送部3也 可解決這種負(fù)擔(dān)。
此外，供送臂23和卸載臂24之間的距離由包括氣缸30和活塞29 的第二驅(qū)動單元22控制。因此第二驅(qū)動單元22可包括用于向氣缸30 提供空氣的細(xì)管和用于檢測活塞29的回退的位置傳感器的細(xì)線。因此， 與包括需要電源線等等的驅(qū)動電機(jī)的情況相比，第二驅(qū)動單元22可被 簡化且更加便宜。
以上通過實施例詳細(xì)描述了本發(fā)明，但是本發(fā)明不限于本說明書 所述的實施例。本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求和與權(quán)利要求的范圍等價的范 圍確定。以下描述給出了上述實施例的某些部件作了改變的修改。
例如，在上述實施例中，本發(fā)明的輸送設(shè)備應(yīng)用于用于清潔過程 的臺部和輸送部。然而，上述輸送設(shè)備(臺部和輸送部)可用于另一個 過程，例如將驅(qū)動器IC附著于工件端子的過程。
權(quán)利要求
1.一種輸送設(shè)備，包括臺部，所述臺部包括供送臺，其上放置要供送的工件；第一工作臺，在該第一工作臺上，工件經(jīng)歷一工作過程；第二工作臺，在第二工作臺上，工件經(jīng)歷與第一工作臺相同的工作過程；以及卸載臺，其上放置要卸載的工件，供送臺、第一工作臺、第二工作臺和卸載臺順序排列；和輸送部，輸送部包括供送臂，將工件從供送臺供送到第一或第二工作臺；卸載臂，其位于供送臂的卸載臺一側(cè)上，并將工件從第一或第二工作臺卸載到卸載臺；第一驅(qū)動單元，在這四個臺的排列方向上移動供送臂和卸載臂；以及第二驅(qū)動單元，其改變排列方向上的供送臂和卸載臂之間的距離。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1的輸送設(shè)備，其特征在于，第二驅(qū)動單元包括 活塞和延伸并回退所述活塞的缸，供送臺和第一工作臺之間的距離以及第二工作臺和卸載臺之間的 距離是D,，供送臺和第二工作臺之間的距離以及第一工作臺和卸載臺之間的 距離是02，以及第二驅(qū)動單元在活塞的最大延伸量和最大回退量處的長度之間的 距離是D2—D^
3、 根據(jù)權(quán)利要求1的輸送設(shè)備，其特征在于，第一驅(qū)動單元在所 述排列方向上移動第二驅(qū)動單元。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1的輸送設(shè)備，其特征在于，第一驅(qū)動單元包括 在所述排列方向上延伸的滾珠絲杠；以及固定以轉(zhuǎn)動滾珠絲杠的驅(qū)動電 機(jī)。
5、 根據(jù)權(quán)利要求2的輸送設(shè)備，其特征在于，第一驅(qū)動單元在所 述排列方向上移動第二驅(qū)動單元。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5的輸送設(shè)備，其特征在于，第一驅(qū)動單元包括:在所述排列方向上延伸的滾珠絲杠；以及固定以轉(zhuǎn)動滾珠絲杠的驅(qū)動電 機(jī)。
7、 一種清潔設(shè)備，包括臺部，所述臺部包括供送臺，其上放置要供送的工件；第一工 作臺，在第一工作臺上工件經(jīng)歷清潔過程；第二工作臺，在第二工作臺 上工件經(jīng)歷與第一工作臺相同的清潔過程；以及卸載臺，其上放置要卸 載的工件，供送臺、第一工作臺、第二工作臺和卸載臺順序排列；輸送部，輸送部包括供送臂，將工件從供送臺供送到第一或第 二工作臺；卸載臂，其位于供送臂的卸載臺一側(cè)上，并將工件從第一或 第二工作臺卸載到卸載臺；第一驅(qū)動單元，在這四個臺的排列方向上移 動供送臂和卸載臂；以及第二驅(qū)動單元，其改變排列方向上的供送臂和 卸載臂之間的距離；和清潔部，所述清潔部包括清潔工件的清潔頭；以及在排列方向 上移動清潔頭的清潔部驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
8、 根據(jù)權(quán)利要求7的清潔設(shè)備，其特征在于，清潔部驅(qū)動機(jī)構(gòu)從 工件一端到另一端執(zhí)行清潔運動以清潔工件，并執(zhí)行第一工作臺和第二 工作臺之間的臺間運動。
9、 根據(jù)權(quán)利要求8的清潔設(shè)備，其特征在于，清潔運動和臺間運 動沿著所述排列方向。
10、 根據(jù)權(quán)利要求9的清潔設(shè)備，其特征在于，清潔部驅(qū)動機(jī)構(gòu) 包括執(zhí)行清潔運動和臺間運動的驅(qū)動電機(jī)。
11、 根據(jù)權(quán)利要求7的清潔設(shè)備，其特征在于，第二驅(qū)動單元包 括活塞和延伸并回退所述活塞的缸，供送臺和第一工作臺之間的距離以及第二工作臺和卸載臺之間的 距離是D,，供送臺和第二工作臺之間的距離以及第一工作臺和卸載臺之間的 距離是02，以及 第二驅(qū)動單元在活塞的最大延伸量和最大回退量處的長度之間的距離是D2—D,。
12、 根據(jù)權(quán)利要求7的清潔設(shè)備，其特征在于，第一驅(qū)動單元在 所述排列方向上移動第二驅(qū)動單元。
13、 根據(jù)權(quán)利要求7的清潔設(shè)備，其特征在于，第一驅(qū)動單元包 括在該排列方向上延伸的滾珠絲杠；以及固定以轉(zhuǎn)動滾珠絲杠的驅(qū)動 電機(jī)。
14、 根據(jù)權(quán)利要求11的清潔設(shè)備，其特征在于，第一驅(qū)動單元在 該排列方向上移動第二驅(qū)動單元。
15、 根據(jù)權(quán)利要求14的清潔設(shè)備，其特征在于，第一驅(qū)動單元包 括在該排列方向上延伸的滾珠絲杠；以及固定以轉(zhuǎn)動滾珠絲杠的驅(qū)動 電機(jī)。
16、 一種制造液晶顯示裝置的方法，包括密封每對基底，其中端子形成在其上，并暴露所述端子；通過清潔部驅(qū)動機(jī)構(gòu)移動清潔頭，清潔放置于一對工作臺之一上 的基底上的端子；通過用于卸載的卸載臂，輸送已經(jīng)清潔并放置于所述成對工作臺 之一上的基底，以及通過用于供送的供送臂，將接下來要清潔的基底輸 送到所述成對工作臺中的另一個；以及將驅(qū)動器IC連接到所述端子，其中同時執(zhí)行一部分清潔和一部分輸送。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種輸送設(shè)備、一種清潔設(shè)備和一種制造液晶顯示裝置的方法，其中輸送設(shè)備包括臺部，該臺部具有供送臺，其上放置要供送的工件；第一工作臺，在該第一工作臺上該工件經(jīng)歷一個工作過程；第二工作臺，在該第二工作臺上該工件經(jīng)歷與第一工作臺相同的工作過程；以及卸載臺，其上放置要卸載的工件；輸送部，該輸送部具有供送臂，將該工件從供送臺供送到工作臺；卸載臂，其位于供送臂的卸載臺一側(cè)，并將該工件從工作臺卸載到卸載臺；第一驅(qū)動單元，在這四個臺子的排列方向上移動這兩個臂；以及第二驅(qū)動單元，其改變排列方向上的兩個臂之間的距離。
文檔編號B08B13/00GK101367472SQ20081014280
公開日2009年2月18日 申請日期2008年5月23日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月23日
發(fā)明者中川惠美子, 武者整 申請人:株式會社東芝