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光處理裝置的制作方法

文檔序號(hào):1420626閱讀:184來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:光處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種例如用于有機(jī)物的清洗或拋光(ァッシング)等的紫外線處理裝置之類的光處理裝置。


圖10是用來(lái)進(jìn)行上述清洗工序的清洗裝置的一個(gè)例子的概略結(jié)構(gòu)圖,圖11是該清洗裝置中所使用的紫外線處理裝置處于打開(kāi)狀態(tài)時(shí)的立體圖。本清洗裝置,是面對(duì)紫外線處理裝置50的正面,在左右兩側(cè)相連續(xù)地配置紅外線預(yù)加熱處理裝置60和冷卻處理裝置70,再在冷卻處理裝置70的右側(cè)相連續(xù)地配置濕式清洗處理裝置80而構(gòu)成的傳送機(jī)輸送式處理裝置,再在其左右連接用來(lái)進(jìn)行其它工序的處理裝置可構(gòu)成連續(xù)的生產(chǎn)線。
如圖11所示,在紫外線處理裝置50的本體51內(nèi),設(shè)置有具有多個(gè)輸送滾子52的輸送裝置,這樣,可將作為被處理物的多片玻璃基板(未圖示)放在輸送滾子52上向圖10和圖11的箭頭方向順序進(jìn)行輸送。通過(guò)燈室53可將本體51上面的開(kāi)口部打開(kāi)或關(guān)閉,所說(shuō)燈室53上設(shè)置有用來(lái)進(jìn)行紫外線處理的多根紫外線燈管54。燈室53通過(guò)鉸鏈55安裝在本體51的后壁上而能夠從本體51的正面向后自由開(kāi)合,用來(lái)對(duì)打開(kāi)狀態(tài)進(jìn)行保持的氣體阻尼式支桿56,是橫跨在燈室53的前緣與本體51的前壁之間而設(shè)置的。
然而,對(duì)于這種光處理裝置,需要定期進(jìn)行輸送滾子52和燈管54的清掃、檢查、更換等作業(yè),這些維護(hù)作業(yè)是在如圖11所示將燈室53打開(kāi)的狀態(tài)下進(jìn)行。另外,當(dāng)采用的是不易對(duì)作為被處理物的玻璃基板造成損傷的樹(shù)脂制造的輸送滾子52時(shí),在紫外線、熱量、臭氧等作用下容易老化,因而不得不頻繁進(jìn)行更換。
而且,現(xiàn)有的光處理裝置,其燈室53是從正面向后方打開(kāi)的,因此,維護(hù)作業(yè)只能從本體51的正面一側(cè)進(jìn)行。特別是近年來(lái),隨著液晶板用玻璃基板的大型化,光處理裝置整體也在向大型化方向發(fā)展,面對(duì)這樣的發(fā)展,若只能從裝置的前面進(jìn)行作業(yè),手將無(wú)法夠到裝置的后部,給維護(hù)作業(yè)帶來(lái)極大的困難。此外,使燈室53保持打開(kāi)狀態(tài)的支桿56,橫跨在被處理物輸送區(qū)域的上方,因此,存在著從該支桿56上落下的灰塵會(huì)附著在被處理物上的問(wèn)題。
本發(fā)明旨在解決上述問(wèn)題,其目的是,提供一種即使本體體積較大也便于進(jìn)行內(nèi)部的清掃和檢查以及零部件更換等維護(hù)作業(yè)的光處理裝置。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu),燈室可橫向打開(kāi),因此,能夠從裝置本體的背面進(jìn)行維護(hù)作業(yè)而不會(huì)被燈室擋住,即使裝置體積較大,也很容易進(jìn)行維護(hù)。此外,由于能夠從本體的前后兩個(gè)方向進(jìn)行維護(hù)作業(yè),因此,即使在光處理裝置的左右配置其它處理裝置,也能夠組成不會(huì)影響維護(hù)作業(yè)易操作性的生產(chǎn)線。
圖2是本實(shí)施例所涉及的光處理裝置的燈室打開(kāi)狀態(tài)下的立體圖。
圖3是燈室打開(kāi)狀態(tài)下的光處理裝置的局部側(cè)視圖。
圖4是鉸鏈機(jī)構(gòu)的放大側(cè)視圖。
圖5是燈室打開(kāi)狀態(tài)下的光處理裝置的主視圖。
圖6是燈室關(guān)閉狀態(tài)下的局部放大剖視圖。
圖7是展示燈管端部的安裝結(jié)構(gòu)的局部放大剖視圖。
圖8是展示另一個(gè)實(shí)施例的燈室的關(guān)閉狀態(tài)的局部放大剖視圖。
圖9是展示又一個(gè)實(shí)施例的、燈室打開(kāi)狀態(tài)下的光處理裝置的局部側(cè)視圖。
圖10是現(xiàn)有清洗裝置的整體正面圖。
圖11是現(xiàn)有光處理裝置的立體圖。
發(fā)明的最佳實(shí)施形式下面,對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說(shuō)明,以用來(lái)對(duì)液晶顯示用玻璃基板進(jìn)行清洗的紫外線拋光裝置10中所采用的一個(gè)實(shí)施形式為例結(jié)合圖1至圖7進(jìn)行說(shuō)明。
如圖1所示,清洗生產(chǎn)線,是從紫外線拋光裝置10的正面看過(guò)去,將紅外線預(yù)加熱裝置31連續(xù)地配置在左側(cè),在右側(cè)連續(xù)地配置冷卻裝置32,再在冷卻裝置32的右側(cè)連續(xù)地配置濕式清洗裝置33而構(gòu)成,將相當(dāng)于被處理物的未圖示的玻璃基板如圖中箭頭所示從左側(cè)向右側(cè)依次進(jìn)行輸送。
紫外線拋光裝置10的本體11呈箱形,其上面開(kāi)口,配置有可將開(kāi)口部封閉的兩片燈室12。在本體11的內(nèi)部,沿著其前壁111和后壁112設(shè)置有成對(duì)平行設(shè)置的兩片傳送機(jī)框架壁13,在該傳送機(jī)框架壁13之間沿前后方向延伸的多根傳送機(jī)軸14得到未圖示的軸承的支持而能夠自由旋轉(zhuǎn)。在各傳送機(jī)軸14上,分別安裝有多個(gè)例如氟樹(shù)脂制造的滾子15,通過(guò)以設(shè)置在本體11內(nèi)的驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)傳送機(jī)軸14使之旋轉(zhuǎn),可輸送放置在滾子15上的玻璃基板。
從本體11的前面看過(guò)去位于左側(cè)的燈室12如圖3所示,其左側(cè)邊緣的前后兩個(gè)端部通過(guò)鉸鏈機(jī)構(gòu)16得到本體11的前壁111和后壁112的支持,本體11的上面開(kāi)口部的左半部分能夠通過(guò)該燈室12被向左方進(jìn)行開(kāi)合。該鉸鏈機(jī)構(gòu)16如圖4所示,是將從燈室12側(cè)延伸過(guò)來(lái)的一對(duì)回旋臂161、以及、從本體11側(cè)延伸過(guò)來(lái)的支持臂162二者,通過(guò)沿本體11的前后方向延伸的橫向旋轉(zhuǎn)軸163進(jìn)行連結(jié)而構(gòu)成,因此,左側(cè)的燈室12,能夠以該橫向旋轉(zhuǎn)軸163為中心,在圖5中雙點(diǎn)劃線所示的關(guān)閉位置、以及、該圖中實(shí)線所示的打開(kāi)位置之間沿著箭頭方向121轉(zhuǎn)動(dòng)而開(kāi)合。另外,在橫向旋轉(zhuǎn)軸163與支持臂162之間插入有潤(rùn)滑件164。
另一方面,從本體11的前面看過(guò)去位于右側(cè)的燈室12也同樣,其右側(cè)邊緣的前后兩個(gè)端部通過(guò)鉸鏈機(jī)構(gòu)16得到本體11的前壁111和后壁112的支持,本體11的上面開(kāi)口部的右半部分能夠通過(guò)該燈室12被向橫向進(jìn)行開(kāi)合。該鉸鏈機(jī)構(gòu)16與左側(cè)的鉸鏈機(jī)構(gòu)同樣,具有沿本體11的前后方向延伸的橫向旋轉(zhuǎn)軸163,因此,右側(cè)的燈室12,能夠以該橫向旋轉(zhuǎn)軸163為中心,在圖5中雙點(diǎn)劃線所示的關(guān)閉位置、以及、該圖中實(shí)線所示的打開(kāi)位置之間,沿著箭頭122的方向轉(zhuǎn)動(dòng)而開(kāi)合。
此外,在本體11的開(kāi)口部的左右方向的中間部位和兩個(gè)燈室12的鉸鏈機(jī)構(gòu)16一側(cè),分別設(shè)置有可拆卸的在前后方向上延伸的中間桿17,如圖6所示,在這些中間桿17的頂面的左右兩側(cè)設(shè)有前后延伸的兩條密封件171。當(dāng)各燈室12轉(zhuǎn)動(dòng)到關(guān)閉位置上時(shí),其底面板123將與各中間桿17的密封件171緊密接觸(對(duì)于中間部位的中間桿17,在圖6中示出其放大圖)。此外,相對(duì)于該燈室12的底面板123,配置在兩片傳送機(jī)框架壁13的頂面的未圖示的密封件也將與之緊密接觸。這樣,可將燈管19的下方空間(玻璃基板的輸送空間)密封起來(lái),防止紫外線和臭氧等泄漏。
此外,在各燈室12的前后兩個(gè)端部與本體11的前壁111及后壁112之間,分別設(shè)置有支桿18。該支桿18是軸桿182可滑動(dòng)地容納在缸筒181內(nèi)而構(gòu)成的公知的氣體阻尼式支桿,在軸桿182從缸筒181向外伸出的方向上總是施加有作用力,該作用力幫助燈室12向打開(kāi)方向轉(zhuǎn)動(dòng),并且能夠使燈室12保持打開(kāi)狀態(tài)。
在燈室12的處于關(guān)閉位置時(shí)成為底面的部位上,配置有多根用來(lái)照射紫外線的燈管19。該燈管19如圖2和圖3所示,其整體上呈長(zhǎng)度與所說(shuō)傳送機(jī)框架壁13之間的相向間隔大約相等的長(zhǎng)條形形狀,而燈頭部分191位于本體11的前側(cè),玻璃管部分192在本體11的后側(cè)呈折返狀彎曲后,在前側(cè)再次呈折返狀彎曲,再在后側(cè)呈折返狀彎曲而構(gòu)成M形曲折燈。其燈頭部分191通過(guò)螺釘緊固在設(shè)置在燈室12上的固定部20上,玻璃管部分192的后端部如圖7所示,靠通過(guò)螺釘緊固的固定卡子21固定在燈室12的底面板123上。與燈頭部分191相連接的一把導(dǎo)線(未圖示)集中在燈室12內(nèi)的前側(cè),從設(shè)置在燈室12的前端部與本體11之間的撓性蛇皮管22內(nèi)穿過(guò)后,連接到本體11內(nèi)的未圖示的電源裝置上。
此外,燈室12內(nèi)設(shè)有冷卻水路23,與該冷卻水路23相連接的給水管24和排水管25如圖2所示,從與上述蛇皮管22的相反側(cè)的燈室12的后端部引出,連接到本體11內(nèi)的未圖示冷卻水供給裝置上。
作為如上構(gòu)成的本實(shí)施例的光處理裝置10,通過(guò)對(duì)輸送裝置進(jìn)行驅(qū)動(dòng),能夠?qū)⒆鳛楸惶幚砦锏母街锌刮g劑的液晶顯示用玻璃基板從圖1中的左側(cè)向右側(cè)輸送。在玻璃基板移動(dòng)到紅外線預(yù)加熱裝置31處時(shí)被加熱,該被加熱的玻璃基板進(jìn)入應(yīng)用了本發(fā)明的光處理裝置10中,在其中進(jìn)行抗蝕劑的拋光。接著,完成拋光處理的玻璃基板進(jìn)入冷卻裝置32內(nèi)進(jìn)行濕式清洗。此外,在本實(shí)施例的光處理裝置10中,也可以設(shè)置用來(lái)供給高濃度臭氧的臭氧發(fā)生器,從而以更高的效率進(jìn)行拋光。并且,為了提高作為光處理裝置的處理能力,還可以同時(shí)設(shè)有促使玻璃基板升溫和臭氧生成氧的活性基團(tuán)的加熱功能。
對(duì)于這種光處理裝置10,輸送裝置的維護(hù)作業(yè),例如,傳送機(jī)軸14的軸承的修理與檢查、輸送滾子15的更換等,還有燈管19的更換,是打開(kāi)燈室12進(jìn)行的。各燈室12,以鉸鏈機(jī)構(gòu)16的沿前后延伸的橫向旋轉(zhuǎn)軸163為中心旋轉(zhuǎn)而打開(kāi),因此,將處于如圖2所示的左右打開(kāi)的橫向打開(kāi)狀態(tài)。因此,進(jìn)行前側(cè)的軸承和滾子15的維護(hù)時(shí),作業(yè)人員站在本體11的前側(cè)進(jìn)行作業(yè)即可,維護(hù)后側(cè)的軸承和滾子15時(shí),作業(yè)人員可繞到本體11的后側(cè)從后側(cè)進(jìn)行作業(yè)。
此外,在各燈室12的前端部,用來(lái)將燈管19的燈頭部分191固定在燈室12上的螺釘孔,在固定部20上沿垂直于燈室12的橫向旋轉(zhuǎn)軸16的方向排列,燈管19是通過(guò)安裝螺釘固定在該固定部上的。因此,作為本裝置,即使裝置體積較大,也能夠很容易地進(jìn)行燈管19的更換作業(yè)。例如,當(dāng)作為被處理物的玻璃基板的大小為1m這個(gè)檔次的輸送寬度時(shí),對(duì)于圖10所示的現(xiàn)有裝置來(lái)說(shuō),由于多個(gè)紫外線燈管54是在燈室50的與開(kāi)合軸55相反一側(cè)平行于開(kāi)合軸55排列并以螺釘進(jìn)行固定的,因此,燈室50打開(kāi)時(shí),該螺釘部位的高度變高(即使打開(kāi)角為30度~45度,也達(dá)到約1.9m~2.5m),因而需要設(shè)置墊腳板;相比之下,作為本裝置,即使燈室12的打開(kāi)角度為90度,螺釘?shù)奈恢靡矁H在1.5m左右處。
如上所述,本發(fā)明的裝置,特別適于作為可處理傳送機(jī)輸送寬度較寬的被處理物的處理裝置。
此外,本實(shí)施例的光處理裝置,與圖10所示的以往的結(jié)構(gòu)不同,燈室12的支桿18不是橫跨于被處理物的輸送路徑之上,而是位于本體11的前壁111和后壁112的上方,因此,即使從該支桿18上落下軸桿182的研磨粉或潤(rùn)滑油油霧,也不會(huì)附著在被處理物上。而且,與以往橫跨輸送路徑安裝的情況相比,還具有能夠與輸送路徑的寬度無(wú)關(guān)地設(shè)計(jì)支桿18的優(yōu)點(diǎn),因此,在本實(shí)施例中,可以使用其長(zhǎng)度比現(xiàn)有裝置短的支桿。另外,支桿18在本體11上的連接部位,可以是前壁111和后壁112的任何部位,還包括可以固定在傳送機(jī)框架壁13上。此外,支桿18,既可以像本實(shí)施例這樣,安裝在燈室12的前后兩個(gè)部位上,也可以只安裝在前側(cè)和后側(cè)中的任意一側(cè)。
此外,在上述實(shí)施例中,兩片燈室12是以左右成對(duì)的對(duì)開(kāi)型設(shè)置的,在本體11上設(shè)置前后延伸的中間桿17使之同燈室12的與鉸鏈機(jī)構(gòu)16相反一側(cè)的邊端相接觸,因此,燈室12能夠?qū)⒈倔w11的上面開(kāi)口部完全密閉。因此,能夠切實(shí)防止諸如向本體11的輸送路徑內(nèi)供給的臭氧泄漏、燈管19發(fā)出的紫外線向外泄漏等現(xiàn)象的發(fā)生。
此外,本實(shí)施例的燈管19使用的是呈M形的曲折型燈管,因此,多根燈管19的所有燈頭部分191可以靠一端配置。其結(jié)果,可以將電氣配線部分集中配設(shè)在燈室12的一端,而在另一端配置冷卻水的給排水管路,能夠做到將電氣配線部分與水循環(huán)部分分開(kāi)的安全且合理的設(shè)計(jì)。
本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施例,例如可以如下所述在不改變本發(fā)明的發(fā)明要旨的范圍內(nèi)進(jìn)行種種改變而加以實(shí)施。
(1)在上述實(shí)施形式中,設(shè)置了兩片燈室12,但并不受此限定,也可以做成對(duì)整個(gè)本體11以一片燈室進(jìn)行開(kāi)合的結(jié)構(gòu),還可以做成以三片以上的燈室進(jìn)行開(kāi)合的結(jié)構(gòu)。覆蓋相同面積的燈室其片數(shù)越多,寬度可做得越小,因而打開(kāi)狀態(tài)下的高度尺寸可以越低。另外,在設(shè)置多個(gè)燈室的場(chǎng)合,既可以做成彼此向同一個(gè)方向打開(kāi),也可以做成向相反方向打開(kāi)的對(duì)開(kāi)型。作為將多片燈室這樣進(jìn)行設(shè)置的結(jié)構(gòu),由于燈室可向左右方向打開(kāi)因而是可行的。
(2)在上述實(shí)施例中,將兩片燈室12做成對(duì)開(kāi)型,同時(shí),在各燈室12之間配置中間桿17,從而能夠?qū)羰?2的底面一側(cè)密封起來(lái);但例如也可以如圖8所示,將例如左側(cè)的燈室12的底面板123做成與鉸鏈機(jī)構(gòu)16相反一側(cè)的邊緣的下半部分沿前后整個(gè)被去除的形狀,而將右側(cè)的燈室12的底面板123,做成與其鉸鏈機(jī)構(gòu)16相反一側(cè)的邊緣的上半部分沿前后整個(gè)被去除的形狀,并在其中之一或二者上配置沿前后延伸的密封件17而成。通過(guò)做成這樣的結(jié)構(gòu),可將燈室12下方的區(qū)域(玻璃基板的輸送與處理空間)密封起來(lái),從而防止紫外線和臭氧泄漏。
(3)在上述實(shí)施例中,燈管19是M形管,但并不限于此,也可以是U形管,還可以是兩端具有燈頭部分的直形管。此外,本實(shí)施例中,燈管19的燈頭部分191是以螺釘固定在燈室12上的,但也可以通過(guò)安裝金具進(jìn)行固定。紫外線燈的波長(zhǎng)因用途的不同而異,而在進(jìn)行拋光和清洗的場(chǎng)合,以具有150~300nm的波長(zhǎng)為宜,例如,可使用具有185nm和254nm的波長(zhǎng)的低壓水銀燈和具有172nm的波長(zhǎng)的屏蔽式(バリヤ)放電燈。這樣,在使用這種燈管的場(chǎng)合,本發(fā)明裝置的良好的可維護(hù)性可得到充分的發(fā)揮。另外,在燈管功率較小的場(chǎng)合,從提高處理速度的角度來(lái)說(shuō),最好設(shè)置加熱被處理物的加熱手段。
(3)關(guān)于燈管19的布局方案,并不限于本實(shí)施例所示的朝向同一方向排列,例如也可以如圖9所示,彼此朝向相反地排列。在這里,燈管19的燈頭部分191交替位于前后。這樣,能夠與約2倍于燈管19管長(zhǎng)的輸送路徑寬度相適應(yīng),即使是特別大型的玻璃基板也能夠處理。即使做成這種寬度非常寬的結(jié)構(gòu),由于燈管19的燈頭部分191位于燈室12的前端和后端,因此,最適合采用燈室橫向打開(kāi)型的本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)而發(fā)揮優(yōu)良的可維護(hù)性。
(4)在上述實(shí)施例中,是將本發(fā)明應(yīng)用于將紫外線照射在被處理物上進(jìn)行拋光的紫外線拋光裝置中的,但本發(fā)明可廣泛應(yīng)用于,無(wú)論紅外線、紫外線、可見(jiàn)光,凡通過(guò)將光直接照射在被處理物上或照射在被處理物的周圍而利用所照射的光的作用直接或間接對(duì)被處理物進(jìn)行處理的裝置中,例如能夠應(yīng)用于,光刻裝置、薄膜形成裝置、半導(dǎo)體制造裝置、印刷裝置、清洗裝置、氧化裝置等中使用的紫外線清洗裝置、紫外線固化裝置、紅外線加熱裝置等各種裝置中。
特別是,當(dāng)光處理裝置為進(jìn)行有機(jī)物的清洗、拋光、表面材料的氧化或活化的紫外線處理裝置時(shí),在紫外線的作用下,處理室內(nèi)容易發(fā)生老化等現(xiàn)象,需要頻繁進(jìn)行維護(hù)作業(yè),因此適合采用本發(fā)明的裝置。另外,作為例如具有臭氧發(fā)生器的、利用紫外線燈和臭氧的作用對(duì)被處理物進(jìn)行處理的紫外線處理裝置,還由于臭氧的作用,處理室內(nèi)容易發(fā)生老化等現(xiàn)象,需要頻繁進(jìn)行維護(hù)作業(yè),因此本發(fā)明的裝置最為適用。
(5)在上述實(shí)施例中,是在本體11內(nèi)構(gòu)成輸送裝置,對(duì)放置在其傳送機(jī)滾子15上的被處理物邊進(jìn)行輸送邊照射紫外線的,而放置被處理物的部位無(wú)論是固定式還是可動(dòng)式均可,但若將輸送被處理物的傳送機(jī)直接作為被處理物的放置臺(tái),則能夠構(gòu)建效率較高的生產(chǎn)線。在這種場(chǎng)合,作為本發(fā)明的光處理裝置,最好是,將傳送機(jī)配置成面對(duì)光處理裝置的正面看過(guò)去時(shí)能夠?qū)⒈惶幚砦镌谧笥曳较蛏线M(jìn)行輸送,通過(guò)在左右方向上配置其它處理裝置,可建立起易于維護(hù)且效率高的生產(chǎn)線。另外,作為輸送裝置,并不限于滾子式傳送機(jī),也可以使用帶式傳送機(jī)和機(jī)械手。
(6)燈室12是安裝用來(lái)照射光的燈管19的支持體,既可以像本實(shí)施例這樣,燈管19呈外露狀態(tài)安裝的結(jié)構(gòu),也可以設(shè)置光照射窗而構(gòu)成將燈管整個(gè)覆蓋的腔室結(jié)構(gòu)。在安放多根燈管的場(chǎng)合,最好是將用來(lái)固定燈管的固定部這樣設(shè)置在燈室上,即,使其相對(duì)于開(kāi)合燈室的橫向旋轉(zhuǎn)軸在垂直方向上排列。這是由于,通過(guò)這樣設(shè)置,可使燈管的固定部全部位于裝置的前面或后面一側(cè),燈管的固定部配置在最靠近作業(yè)人員的位置上,因而,即使裝置體積較大,燈管更換作業(yè)也易于進(jìn)行。因此,最好是,將進(jìn)行維護(hù)時(shí)需要拆下的、例如照射窗安裝螺釘孔等其它固定部也同樣相對(duì)于開(kāi)合燈室的橫向旋轉(zhuǎn)軸在垂直方向上排列地設(shè)置在燈室上。
(7)在上述實(shí)施例中,采用的是氣體阻尼式支桿,但并不限于此,也可以利用油阻尼式支桿,此外,在燈室體積大、重量重的場(chǎng)合,也可以利用氣動(dòng)缸以使得開(kāi)合操作易于進(jìn)行。另外,支桿并不限于設(shè)置在燈室的前后兩側(cè),也可以僅設(shè)置在前側(cè)與后側(cè)中的某一側(cè)。
產(chǎn)業(yè)上利用的可能性本發(fā)明的光處理裝置中,將燈室設(shè)置成面對(duì)光處理裝置正面看過(guò)去能夠以前后方向的軸為旋轉(zhuǎn)軸向左右開(kāi)合,因此,能夠從裝置的前后進(jìn)行維護(hù),即使是大型化的裝置,對(duì)本體內(nèi)部的以及燈室零部件更換等維護(hù)作業(yè)也易于進(jìn)行。
權(quán)利要求
1.一種光處理裝置,在上面具有開(kāi)口部的本體上配置有可將該開(kāi)口部覆蓋的燈室,從設(shè)置在該燈室上的燈管向所說(shuō)本體內(nèi)的被處理物照射光,并且,對(duì)所說(shuō)燈室能夠從所說(shuō)本體的前面或后面進(jìn)行開(kāi)合操作,其特征是,所說(shuō)燈室能夠以在所說(shuō)本體的前后方向上延伸的橫向旋轉(zhuǎn)軸為中心轉(zhuǎn)動(dòng)而開(kāi)合。
2.如權(quán)利要求1所說(shuō)的光處理裝置,其特征是,用來(lái)對(duì)所說(shuō)燈室的打開(kāi)狀態(tài)進(jìn)行保持的支桿,設(shè)置在所說(shuō)燈室的前邊緣部與所說(shuō)本體的前壁之間、以及/或者、所說(shuō)燈室的后邊緣部與所說(shuō)本體的后壁之間。
3.如權(quán)利要求1或2所說(shuō)的光處理裝置,其特征是,所說(shuō)燈室,以左右成對(duì)的偶數(shù)片呈對(duì)開(kāi)型設(shè)置,并且,在所說(shuō)本體的開(kāi)口部設(shè)置有前后延伸設(shè)置的中間桿,而所說(shuō)成對(duì)的各燈室的與所說(shuō)橫向旋轉(zhuǎn)軸的相反一側(cè)的邊緣部分與該中間桿相接觸。
4.如權(quán)利要求1或2所說(shuō)的光處理裝置,其特征是,所說(shuō)燈室,以左右成對(duì)的偶數(shù)片呈對(duì)開(kāi)型設(shè)置,并且,這些成對(duì)的各燈室的與所說(shuō)橫向旋轉(zhuǎn)軸相反一側(cè)的邊緣部分彼此重合。
5.如權(quán)利要求1至4之一的權(quán)利要求所說(shuō)的光處理裝置,其特征是,所說(shuō)燈管,是其燈頭部分靠一端設(shè)置、玻璃管部分的另一端呈折返狀彎曲形狀的U字形或M字形曲折型燈管。
6.如權(quán)利要求5所說(shuō)的光處理裝置,其特征是,所說(shuō)燈管,其所說(shuō)燈頭部分交替配置在所說(shuō)燈室的前后兩側(cè)而排列。
7.如權(quán)利要求1至6之一的權(quán)利要求所說(shuō)的光處理裝置,其特征是,在所說(shuō)本體內(nèi),設(shè)置有用來(lái)將所說(shuō)被處理物在左右方向上進(jìn)行輸送的輸送裝置。
全文摘要
配置有將本體(11)的上面覆蓋的兩片燈室(12)。本體(11)的內(nèi)部設(shè)置有輸送裝置以進(jìn)行玻璃基板的輸送。左側(cè)的燈室(12),其左側(cè)邊緣的前后兩個(gè)端部通過(guò)鉸鏈機(jī)構(gòu)(16)得到本體(11)的支持,右側(cè)的燈室(12)其右側(cè)邊緣的前后兩個(gè)端部通過(guò)鉸鏈機(jī)構(gòu)(16)得到本體(11)的支持。各鉸鏈機(jī)構(gòu)(16)具有在前后方向上延伸的橫向旋轉(zhuǎn)軸(163),各燈室(12)能夠橫向?qū)﹂_(kāi)。各燈室(12)上固定有燈管(19),它們的燈頭部分(191)在前側(cè)排成一排。
文檔編號(hào)B08B7/00GK1455709SQ02800080
公開(kāi)日2003年11月12日 申請(qǐng)日期2002年1月15日 優(yōu)先權(quán)日2001年1月15日
發(fā)明者坂元弘實(shí), 長(zhǎng)谷川豐 申請(qǐng)人:日本電池株式會(huì)社
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