超聲波換能器裝置、探測(cè)器、電子設(shè)備及超聲波診斷裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及超聲波換能器裝置、探測(cè)器、電子設(shè)備及超聲波診斷裝置。其中，上述超聲波換能器裝置的特征在于，具備：基板，具有多個(gè)開(kāi)口；振動(dòng)膜，閉塞上述開(kāi)口；壓電元件，針對(duì)每個(gè)上述開(kāi)口地設(shè)置在上述振動(dòng)膜上；輸入部，對(duì)上述壓電元件中的一部分壓電元件輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)；以及檢測(cè)部，在對(duì)上述壓電元件中的一部分壓電元件輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)期間，該檢測(cè)部檢測(cè)上述壓電元件中未輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的壓電元件的振動(dòng)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】超聲波換能器裝置、探測(cè)器、電子設(shè)備及超聲波診斷裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及超聲波換能器裝置及利用其的探測(cè)器、電子設(shè)備及超聲波診斷裝置
坐寸O
【背景技術(shù)】
[0002]超聲波換能器裝置可以具備一張基板。在基板上形成開(kāi)口。在各個(gè)開(kāi)口設(shè)置超聲波換能器元件。超聲波換能器元件具備振動(dòng)膜。振動(dòng)膜從基板的表面閉塞開(kāi)口。在振動(dòng)膜上安裝有壓電元件。在壓電元件的作用下對(duì)每個(gè)超聲波換能器元件引起振動(dòng)膜的振動(dòng)。隨著振動(dòng)膜的振動(dòng)生成超聲波。在該超聲波換能器裝置中能夠薄薄地形成壓電元件的壓電體膜。
[0003]如專(zhuān)利文獻(xiàn)I所公開(kāi)的，確保對(duì)壓電體膜進(jìn)行極化。如果薄薄地形成壓電體膜，則相對(duì)地矯頑電壓低，因此由于電磁噪聲和溫度等的干擾，極化量容易降低。有極化量隨時(shí)間的推移而降低之憂。極化的降低導(dǎo)致靈敏度的降低，靈敏度的降低導(dǎo)致測(cè)定的精度惡化。然而，不使用超聲波換能器裝置之外的其他裝置例如校正裝置，就不能檢測(cè)壓電元件的靈敏度。
[0004]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0006]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本專(zhuān)利特開(kāi)2009-302445號(hào)公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]根據(jù)本發(fā)明至少一個(gè)方式，不使用超聲波換能器裝置之外的其他裝置而能夠檢測(cè)壓電元件的靈敏度。
[0008](I)本發(fā)明的一個(gè)方式涉及一種超聲波換能器裝置，該超聲波換能器裝置具備:基板，具有多個(gè)開(kāi)口 ；振動(dòng)膜，閉塞所述開(kāi)口 ；壓電元件，針對(duì)每一個(gè)上述開(kāi)口地設(shè)置在上述振動(dòng)膜上；輸入部，對(duì)上述壓電元件中的一部分壓電元件輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)；以及檢測(cè)部，在對(duì)上述壓電元件中的一部分壓電元件輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)期間，該檢測(cè)部檢測(cè)上述壓電元件中未輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的壓電兀件的振動(dòng)。
[0009]一部分壓電元件隨著驅(qū)動(dòng)信號(hào)的供給而變形。壓電元件的變形引起對(duì)應(yīng)的振動(dòng)膜的變形?；咫S著振動(dòng)膜的變形而變形。基板的變形引起其他振動(dòng)膜的變形。其他振動(dòng)膜的變形在未輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)的壓電兀件也產(chǎn)生應(yīng)力。在未輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)的壓電兀件中生成電動(dòng)勢(shì)。通過(guò)檢測(cè)這種電動(dòng)勢(shì)，不使用超聲波換能器裝置之外的其他裝置例如校正裝置而能夠檢測(cè)壓電元件的靈敏度。
[0010](2)超聲波換能器裝置可以具備控制處理部。上述控制處理部根據(jù)檢測(cè)未輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的上述壓電元件的振動(dòng)的檢測(cè)結(jié)果能夠辨別上述壓電元件的靈敏度。這樣，能夠辨別靈敏度是否良好。
[0011](3)在超聲波換能`器裝置中，上述多個(gè)開(kāi)口在上述基板的厚度方向的俯視觀察中配置為矩陣狀或者線狀，上述檢測(cè)部能夠檢測(cè)未輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的上述壓電元件中、與輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的上述一部分壓電兀件鄰接的壓電兀件的振動(dòng)。這樣，輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)的一部分壓電元件能夠確切地弓丨起未輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)的壓電元件變形。
[0012](4)上述檢測(cè)部能夠檢測(cè)未輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的上述壓電元件中、位于輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的兩個(gè)上述壓電元件之間且與上述兩個(gè)壓電元件鄰接的壓電元件的振動(dòng)。這樣，對(duì)未輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)的壓電元件從兩側(cè)施加變形力。因而，在一次驅(qū)動(dòng)信號(hào)的供給下，壓電元件的應(yīng)力能夠增大。壓電元件的電動(dòng)勢(shì)增大。其結(jié)果，可以提高靈敏度的檢測(cè)精度。
[0013](5)上述控制處理部如果辨別為未輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的上述壓電元件的靈敏度在規(guī)定值以下，則能夠?qū)ξ摧斎肷鲜鲵?qū)動(dòng)信號(hào)的上述壓電元件供給極化用電壓。在使用之前確保對(duì)壓電元件進(jìn)行極化。極化量隨著時(shí)間的推移而降低。其結(jié)果，壓電元件的靈敏度降低。因而，如果在壓電元件的靈敏度降低至規(guī)定值以下時(shí)對(duì)壓電元件供給極化用電壓，則壓電元件能夠再次確保充分的極化。壓電元件的靈敏度能夠維持良好。
[0014](6)上述控制處理部如果辨別為未輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的上述壓電元件的靈敏度在規(guī)定值以下，則能夠輸出表示靈敏度在上述規(guī)定值以下的通知信號(hào)。壓電元件的靈敏度降低能夠從控制處理部通知到外部。根據(jù)這種通知，用戶能夠得知壓電元件的靈敏度降低。
[0015](7)超聲波換能器裝置可以具備控制處理部。上述控制處理部根據(jù)檢測(cè)未輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的上述壓電元件的振動(dòng)的檢測(cè)結(jié)果能夠輸出通知信號(hào)。這樣，檢測(cè)結(jié)果能夠從控制處理部通知到外部。根據(jù)這種通知，用戶能夠判斷壓電元件的靈敏度降低。
[0016](8)本發(fā)明的其他方式涉及一種超聲波換能器裝置，該超聲波換能器裝置具備:基板，具有第一開(kāi)口、第二開(kāi)口和作為被上述第一開(kāi)口和上述第二開(kāi)口夾著的部分的隔壁部；振動(dòng)膜，閉塞上述第一開(kāi)口和上述第二開(kāi)口 ；第一壓電元件，在上述基板的厚度方向的俯視觀察中設(shè)置于上述振動(dòng)膜上，包含與上述第一開(kāi)口重疊的位置；第二壓電元件，在上述基板的厚度方向的俯視觀察中，設(shè)置于上述振動(dòng)膜上且包含與上述第二開(kāi)口重疊的位置；輸入部，對(duì)上述第一壓電兀件輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)；檢測(cè)部，在對(duì)上述第一壓電兀件輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)期間，該檢測(cè)部檢測(cè)未輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的上述第二壓電元件的振動(dòng)，上述隔壁部具有上述基板的厚度方向的厚度大于上述基板的厚度方向的俯視觀察中上述第一開(kāi)口和上述第二開(kāi)口之間的距離最小值的形狀。
[0017]第一壓電元件隨著驅(qū)動(dòng)信號(hào)的供給而變形。第一壓電元件的變形引起與第一開(kāi)口重疊的振動(dòng)膜的變形。隔壁部隨著振動(dòng)膜的變形而變形。隔壁部的變形引起與第二開(kāi)口重疊的振動(dòng)膜的變形。與第二開(kāi)口重疊的振動(dòng)膜的變形在第二壓電元件產(chǎn)生應(yīng)力。在未輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)的第二壓電元件生成電動(dòng)勢(shì)。通過(guò)檢測(cè)這種電動(dòng)勢(shì)，不使用超聲波換能器裝置之外的其他裝置例如校正裝置而能夠檢測(cè)第二壓電元件的靈敏度。
[0018](9)本發(fā)明的其他方式涉及一種超聲波換能器裝置，該超聲波換能器裝置具備:基板，具有配置為矩陣狀或者線狀的多個(gè)第一開(kāi)口和配置于上述多個(gè)第一開(kāi)口所配置的區(qū)域輪廓外側(cè)的第二開(kāi)口 ；振動(dòng)膜，閉塞上述第一開(kāi)口和上述第二開(kāi)口 ；第一壓電元件，在上述基板的厚度方向的俯視觀察中，針對(duì)上述多個(gè)第一開(kāi)口的每一個(gè)地設(shè)置在上述振動(dòng)膜上；第二壓電元件，在上述基板的厚度方向的俯視觀察中，設(shè)置在上述振動(dòng)膜上且包含與上述第二開(kāi)口重疊的位置；輸入部，對(duì)上述第一壓電元件輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)；檢測(cè)部，在對(duì)上述第一壓電元件輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)期間，該檢測(cè)部檢測(cè)未輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的上述第二壓電元件的振動(dòng)。
[0019]第一壓電元件隨著驅(qū)動(dòng)信號(hào)的供給而變形。第一壓電元件的變形引起與第一開(kāi)口重疊的振動(dòng)膜的變形?；咫S著振動(dòng)膜的變形而變形?；宓淖冃我鹋c第二開(kāi)口重疊的振動(dòng)膜的變形。與第二開(kāi)口重疊的振動(dòng)膜的變形在第二壓電元件產(chǎn)生應(yīng)力。在未輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)的第二壓電元件生成電動(dòng)勢(shì)。通過(guò)檢測(cè)這種電動(dòng)勢(shì)，不使用超聲波換能器裝置之外的其他裝置例如校正裝置而能夠檢測(cè)第二壓電元件的靈敏度。
[0020]( 10)在超聲波換能器裝置中，上述第一開(kāi)口和上述第二開(kāi)口能夠形成相同的形狀，上述第一壓電元件和上述第二壓電元件能夠形成相同的結(jié)構(gòu)。這樣，第二壓電元件的特性能夠與第一壓電元件的特性建立關(guān)聯(lián)。第二壓電元件的特性高精度地反映第一壓電元件的特性。
[0021](11)本發(fā)明的其他方式涉及一種超聲波換能器裝置，該超聲波換能器裝置具備:基板，該基板具有配置為矩陣狀或者線狀的多個(gè)第一開(kāi)口、配置于上述第一開(kāi)口所配置的區(qū)域輪廓外側(cè)的第二開(kāi)口、及配置于上述多個(gè)第一開(kāi)口所配置的區(qū)域外側(cè)且比上述第一開(kāi)口接近上述第二開(kāi)口的位置的第三開(kāi)口 ；振動(dòng)膜，閉塞上述第一開(kāi)口、上述第二開(kāi)口和上述第三開(kāi)口 ；第一壓電元件，在上述基板的厚度方向的俯視觀察中，針對(duì)上述多個(gè)第一開(kāi)口的每一個(gè)地設(shè)置在上述振動(dòng)膜上；第二壓電元件，在上述基板的厚度方向的俯視觀察中，設(shè)置在上述振動(dòng)膜上且包含與上述第二開(kāi)口重疊的位置；第三壓電元件，在上述基板的厚度方向的俯視觀察中，配置在上述振動(dòng)膜上且包含與上述第三開(kāi)口重疊的位置；輸入部，對(duì)上述第三壓電元件輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)；檢測(cè)部，在對(duì)上述第三壓電元件輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)期間，該檢測(cè)部檢測(cè)未輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的上述第二壓電元件的振動(dòng)。
[0022]第三壓電元件隨著驅(qū)動(dòng)信號(hào)的供給而變形。第三壓電元件的變形引起第三開(kāi)口的振動(dòng)膜的變形?；咫S著振動(dòng)膜的變形而變形。基板的變形引起第二開(kāi)口的振動(dòng)膜的變形。第二開(kāi)口的振動(dòng)膜的變形在第二壓電兀件產(chǎn)生應(yīng)力。在未輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)的第二壓電兀件中生成電動(dòng)勢(shì)。通過(guò)檢 測(cè)這種電動(dòng)勢(shì)，不使用超聲波換能器裝置之外的其他裝置例如校正裝置而能夠檢測(cè)第二壓電元件的靈敏度。通常，由于第二壓電元件的特性反映第一壓電元件的特性，因此根據(jù)第二壓電元件的靈敏度能夠推斷第一壓電元件的靈敏度。
[0023](12)在上述基板的厚度方向的俯視觀察中，上述第三壓電元件可以具有大于上述第二壓電元件的面積。這樣，可以對(duì)第二壓電元件施加更大的變形力。其結(jié)果，能夠提高振動(dòng)的檢測(cè)精度。
[0024]( 13)超聲波換能器裝置可以具備控制處理器。上述控制處理器根據(jù)檢測(cè)未輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的上述第二壓電元件的振動(dòng)的檢測(cè)結(jié)果可以辨別上述第一壓電元件的靈敏度。這樣，能夠辨別靈敏度是否良好。
[0025](14)如果上述控制處理部辨別為上述第一壓電元件的靈敏度在規(guī)定值以下，則能夠?qū)ι鲜龅谝粔弘娫┙o極化用電壓。在使用之前全部對(duì)壓電元件進(jìn)行極化。極化量隨著時(shí)間的推移而降低。其結(jié)果，壓電元件的靈敏度降低。因而，如果在壓電元件的靈敏度降低至規(guī)定值以下時(shí)對(duì)壓電元件供給極化用電壓，則壓電元件中能夠再次確保充分的極化。壓電元件的靈敏度能夠維持良好。
[0026](15)如果上述控制處理部辨別為上述第一壓電元件的靈敏度在規(guī)定值以下，則能夠輸出表示靈敏度在上述規(guī)定以下的通知信號(hào)。壓電元件的靈敏度降低能夠從控制處理部通知至外部。根據(jù)這種通知，用戶能夠知道壓電元件的靈敏度降低。
[0027](16)任何超聲波換能器裝置都可以被裝入探測(cè)器中進(jìn)行利用。探測(cè)器可以具備超聲波換能器裝置以及支承上述超聲波換能器裝置的箱體。
[0028](17)超聲波換能器裝置可以被裝入電子設(shè)備中進(jìn)行利用。電子設(shè)備可以具備超聲波換能器裝置，以及與上述超聲波換能器裝置連接并處理上述超聲波換能器裝置的輸出的處理部。
[0029](18)超聲波換能器裝置可以被裝入超聲波診斷裝置中進(jìn)行利用。超聲波診斷裝置可以具備超聲波換能器裝置，與上述超聲波換能器裝置連接、處理上述超聲波換能器裝置的輸出并生成圖像的處理部，以及顯示上述圖像的顯示裝置。
[0030](19)任何超聲波換能器裝置都可以被裝入探頭中進(jìn)行利用。探頭可以具備超聲波換能器裝置以及支承上述超聲波換能器裝置的箱體。
[0031](20)本發(fā)明的其他方式涉及一種超聲波換能器裝置，該超聲波換能器裝置具備:基板，具有由隔壁部劃分的多個(gè)開(kāi)口 ；振動(dòng)膜，閉塞上述開(kāi)口 ；壓電元件，針對(duì)每一個(gè)上述開(kāi)口地設(shè)置在上述振動(dòng)膜上；輸入部，對(duì)多個(gè)上述壓電元件中的一部分壓電元件輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)；檢測(cè)部，在對(duì)上述一部分壓電元件輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)期間，該檢測(cè)部檢測(cè)未輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的上述壓電元件的振動(dòng)，通過(guò)對(duì)上述一部分壓電元件輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)，振動(dòng)的上述振動(dòng)膜的振動(dòng)使上述隔壁部變形，并使未輸入上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的上述壓電元件振動(dòng)。
[0032]一部分壓電元件隨著驅(qū)動(dòng)信號(hào)的供給而變形。壓電元件的變形引起對(duì)應(yīng)的振動(dòng)膜的振 動(dòng)。隔壁部隨著振動(dòng)膜的振動(dòng)而變形。隔壁部的變形引起其他振動(dòng)膜的變形。其他振動(dòng)膜的變形在未輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)的壓電兀件中也產(chǎn)生應(yīng)力。在未輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)的壓電兀件中生成電動(dòng)勢(shì)。通過(guò)檢測(cè)這種電動(dòng)勢(shì)，不使用超聲波換能器裝置之外的其他裝置例如校正裝置而能夠檢測(cè)壓電元件的靈敏度。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0033]圖1是概略示出一個(gè)實(shí)施方式所涉及的電子設(shè)備的一個(gè)具體示例即超聲波診斷裝置的外觀圖。
[0034]圖2是超聲波探測(cè)器的放大主視圖。
[0035]圖3是第一實(shí)施方式所涉及的超聲波換能器元件單元的放大俯視圖。
[0036]圖4是沿著圖3的A-A線的截面圖。
[0037]圖5是概略示出超聲波診斷裝置的電路結(jié)構(gòu)的方框圖。
[0038]圖6是概略示出靈敏度檢測(cè)模式的動(dòng)作的流程圖。
[0039]圖7是與圖4相對(duì)應(yīng)、概略示出靈敏度檢測(cè)模式的結(jié)構(gòu)的放大截面圖。
[0040]圖8是概略示出形成于硅片上的撓性膜和第二導(dǎo)電體的部分放大垂直截面圖。
[0041]圖9是概略示出形成于第二導(dǎo)電體上的壓電體膜和第一導(dǎo)電膜的部分放大垂直截面圖。
[0042]圖10是概略示出覆蓋硅片的導(dǎo)電材料的膜的部分放大垂直截面圖。
[0043]圖11是概略示出形成于硅片的開(kāi)口和補(bǔ)強(qiáng)板的部分放大垂直截面圖。
[0044]圖12是第二實(shí)施方式所涉及的超聲波換能器元件單元的放大部分俯視圖。
[0045]圖13是沿著圖12的B-B線的截面圖。[0046]圖14是概略示出利用第二實(shí)施方式所涉及的超聲波換能器元件單元的超聲波診斷裝置的電路結(jié)構(gòu)的方框圖。
[0047]圖15是第三實(shí)施方式所涉及的超聲波換能器元件單元的放大部分俯視圖。
[0048]圖16是概略示出其他實(shí)施方式所涉及的超聲波診斷裝置的電路結(jié)構(gòu)的方框圖。
[0049]符號(hào)說(shuō)明
[0050]11作為電子設(shè)備的超聲波診斷裝置，Ila作為電子設(shè)備的超聲波診斷裝置，13探測(cè)器(超聲波探測(cè)器)，13b探頭，15顯示裝置(顯示面板)，16箱體，17構(gòu)成超聲波換能器裝置的一部分的超聲波換能器元件單元，17a構(gòu)成超聲波換能器裝置的一部分的超聲波換能器元件單元，23 (第一)超聲波換能器元件，24 (第一和第二)壓電元件(壓電元件部)，44基板，46 (第一)開(kāi)口，51振動(dòng)膜，64轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)，65發(fā)送路徑，66接收路徑，72輸入部和檢測(cè)部(驅(qū)動(dòng)/接受電路)，74作為處理部的處理電路，94第二開(kāi)口，95第三開(kāi)口
【具體實(shí)施方式】
[0051]以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。另外，以下說(shuō)明的本實(shí)施方式并非對(duì)權(quán)利要求書(shū)所記載的本發(fā)明的內(nèi)容進(jìn)行不合理的限定，本實(shí)施方式中說(shuō)明的結(jié)構(gòu)的全部作為本發(fā)明的解決手段并非是必須的。
[0052](1)超聲波診斷裝置的整體結(jié)構(gòu)
[0053]圖1概略示出本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的電子設(shè)備的一個(gè)具體示例即超聲波診斷裝置11的結(jié)構(gòu)。超聲波診斷裝置11具備裝置終端12和超聲波探測(cè)器(探測(cè)器)13。裝置終端12和超聲波探測(cè)器13由電纜14相互連接。裝置終端12與超聲波探測(cè)器13通過(guò)電纜14交換電信號(hào)。在裝置終端12裝入顯示面板(顯示裝置)15。顯示面板15的畫(huà)面在裝置終端12的表面露出。如后所述裝置終端12根據(jù)由超聲波探測(cè)器13檢測(cè)到的超聲波生成圖像。顯示面板15的畫(huà)面顯示圖像化的檢測(cè)結(jié)果。
[0054]如圖2所示，超聲波探測(cè)器13具有箱體16。箱體16內(nèi)容納超聲波換能器元件單元(以下稱(chēng)為“元件單元”)17。元件單元17的表面能夠在箱體16的表面露出。元件單元17從表面輸出超聲波的同時(shí)接收超聲波的反射波。另外，超聲波探測(cè)器13可以具備可自由裝卸地與探測(cè)器主體13a連接的探頭13b。此時(shí)，元件單元17能夠被裝入探頭13b的箱體16內(nèi)。
[0055]圖3概略示出第一實(shí)施方式所涉及的元件單元17的俯視圖。元件單元17具備基體21?；w21上形成元件陣列22。元件陣列22由超聲波換能器元件(以下稱(chēng)為“元件”)23的排列構(gòu)成。排列由多行多列的矩陣形成。每個(gè)元件23具備壓電元件部24。壓電元件部24由上部電極25、下部電極26和壓電體膜27構(gòu)成。在每個(gè)元件23上壓電體膜27被夾入上部電極25和下部電極26之間。元件單元17構(gòu)成為一張超聲波換能器元件芯片。
[0056]基體21的表面形成有多根第一導(dǎo)電體28。第一導(dǎo)電體28在排列的行方向上相互平行延伸。對(duì)每一行兀件23分配一根第一導(dǎo)電體28。與在排列行方向上并列的兀件23的壓電體膜27共同與一根第一導(dǎo)電體28連接。第一導(dǎo)電體28在每個(gè)兀件23上形成上部電極25。第一導(dǎo)電體28的兩端分別與一對(duì)引出配線29連接。引出配線29在排列的列方向上相互平行延伸。因而，所有第一導(dǎo)電體28具有相同長(zhǎng)度。這樣，矩陣所有的元件23共同與上部電極25連接。[0057]基體21的表面上形成有多根第二導(dǎo)電體31。第二導(dǎo)電體31在排列的列方向上相互平行延伸。對(duì)每一列兀件23分配一根第二導(dǎo)電體31。對(duì)排列的列方向上并列的兀件23的壓電體膜27共同配置一根第二導(dǎo)電體31。按每一列對(duì)元件23的通電進(jìn)行轉(zhuǎn)換。對(duì)應(yīng)于這種通電轉(zhuǎn)換而實(shí)現(xiàn)線掃描和扇區(qū)掃描。由于一列兀件23同時(shí)輸出超聲波，因此根據(jù)超聲波的輸出水平能夠決定一列的個(gè)數(shù)即排列的行數(shù)。行數(shù)例如可以設(shè)定為10~15行左右。在圖中被省略而描繪5行。根據(jù)掃描范圍的寬度能夠決定排列的列數(shù)。列數(shù)例如可以設(shè)定為128列或256列。在圖中被省略而描繪8列。另外，在排列中還可以設(shè)立交錯(cuò)配置。在交錯(cuò)配置中偶數(shù)列的元件23組可以相對(duì)于奇數(shù)列的元件23組偏移行間距的二分之一。奇數(shù)列和偶數(shù)列的其中一方的元件數(shù)可以比另一方的元件數(shù)少一個(gè)。并且，上部電極25和下部電極26的作用可以互換。即，可以矩陣所有的元件23共同與下部電極連接，而按照排列的每一列元件23共同與上部電極連接。 [0058]基體21的輪廓具有被相互平行的一對(duì)直線隔開(kāi)且相對(duì)的第一邊21a和第二邊21b。在第一邊21a和元件陣列22的輪廓之間配置一排第一端子陣列32a。在第二邊21b和元件陣列22的輪廓之間配置一排第二端子陣列32b。第一端子陣列32a可以與第一邊21a平行地形成一排。第二端子陣列32b可以與第二邊21b平行地形成一排。第一端子陣列32a由一對(duì)上部電極端子33和多個(gè)下部電極端子34構(gòu)成。同樣，第二端子陣列32b由一對(duì)上部電極端子35和多個(gè)下部電極端子36構(gòu)成。上部電極端子33、35分別與一根引出配線29的兩端連接。引出配線29和上部電極端子33、35可以關(guān)于二等分元件陣列22的垂直面形成面對(duì)稱(chēng)。下部電極端子34、36分別與一根第二導(dǎo)電體31的兩端連接。第二導(dǎo)電體31和下部電極端子34、36可以關(guān)于二等分元件陣列22的垂直面形成面對(duì)稱(chēng)。此處，基體21的輪廓形成為矩形?；w21的輪廓可以為正方形也可以為梯形。
[0059]第一柔性印刷電路配線板(以下稱(chēng)為“第一配線板”)37與基體21連接。第一配線板37覆蓋在第一端子陣列32a上。在第一配線板37的一端與上部電極端子33和下部電極端子34單獨(dú)對(duì)應(yīng)并形成導(dǎo)線即第一信號(hào)線38。使第一信號(hào)線38與上部電極端子33和下部電極端子34單獨(dú)相對(duì)并單獨(dú)接合。同樣，第二柔性印刷電路配線板(以下稱(chēng)為“第二配線板”)41覆蓋在基體21上。第二配線板41覆蓋在第二端子陣列32b上。在第二配線板41的一端與上部電極端子35和下部電極端子36單獨(dú)對(duì)應(yīng)并形成導(dǎo)線即第二信號(hào)線42。使第二信號(hào)線42與上部電極端子35和下部電極端子36單獨(dú)相對(duì)并單獨(dú)接合。
[0060]如圖4所示，基體21具備基板44和撓性膜45。在基板44的表面整面地形成撓性膜45。在基板44上針對(duì)每個(gè)元件23形成開(kāi)口 46。開(kāi)口 46對(duì)基板44配置成陣列狀。配置開(kāi)口 46的區(qū)域輪廓相當(dāng)于元件陣列22的輪廓。在鄰接的兩個(gè)開(kāi)口 46之間形成有分隔壁(隔壁部)47。鄰接的開(kāi)口 46被分隔壁47隔開(kāi)。分隔壁47的壁厚度相當(dāng)于開(kāi)口 46的間隔。分隔壁47在相互平行地伸展的平面內(nèi)規(guī)定兩個(gè)壁面。壁厚度相當(dāng)于兩個(gè)壁面的距離。即，壁厚度可以規(guī)定為與壁面正交并被夾在壁面之間的垂線的長(zhǎng)度。
[0061]撓性膜45由層壓于基板44的表面的二氧化硅(SiO2)層48以及層壓于二氧化硅層48的表面的二氧化鋯(ZrO2)層49構(gòu)成。撓性膜45與開(kāi)口 46接觸。這樣，撓性膜45的一部分與開(kāi)口 46的輪廓相對(duì)應(yīng)而形成振動(dòng)膜51。振動(dòng)膜51是撓性膜45中因?yàn)槊鎸?duì)開(kāi)口46而能夠在基板44的厚度方向進(jìn)行膜振動(dòng)的部分。二氧化硅層48的膜厚可以根據(jù)諧振頻率來(lái)決定。[0062]在振動(dòng)膜51的表面上第二導(dǎo)電體31、壓電體膜27和第一導(dǎo)電體28按順序?qū)訅?。第二?dǎo)電體31例如可以使用鈦(Ti)、銥(Ir)、或者鉬(Pt)和鈦(Ti)的層壓膜。壓電體膜27例如可以由鋯鈦酸鉛(PZT)形成。第一導(dǎo)電體28例如可以由銥(Ir)形成。第一導(dǎo)電體28和第二導(dǎo)電體31可以利用其他導(dǎo)電材料，壓電體膜27可以使用其他壓電材料。此處，在第一導(dǎo)電體28的下面，壓電體膜27完全覆蓋第二導(dǎo)電體31。在壓電體膜27的作用下，可以避免在第一導(dǎo)電體28和第二導(dǎo)電體31之間短路。
[0063]保護(hù)膜53層壓于基體21的表面。保護(hù)膜53例如整面地覆蓋在基體21的表面上。其結(jié)果，元件陣列22、以及第一和第二端子陣列32a、32b、第一和第二配線板37、41被保護(hù)膜53覆蓋。保護(hù)膜53例如可以使用有機(jī)硅樹(shù)脂膜。保護(hù)膜53保護(hù)元件陣列22的結(jié)構(gòu)、第一端子陣列32a和第一配線板37的接合、第二端子陣列32b和第二配線板41的接合。
[0064]加強(qiáng)板54固定在基體21的反面?；w21的反面與加強(qiáng)板54的表面重疊。加強(qiáng)板54在兀件單兀17的反面閉合開(kāi)口 46。加強(qiáng)板54可以具備剛性基材。加強(qiáng)板54例如可以由二氧化硅基板形成?；w21的板厚例如設(shè)定為100 μ m左右，加強(qiáng)板54的板厚例如設(shè)定為IOOym~150μπι左右。此處，分隔壁47與加強(qiáng)板54結(jié)合。加強(qiáng)板54與各分隔壁47至少在一個(gè)接合區(qū)域接合。當(dāng)接合時(shí)可以使用粘接劑。
[0065](2)超聲波診斷裝置的電路結(jié)構(gòu)
[0066]如圖5所示，超聲波診斷裝置11具備與元件單元17電連接的集成電路芯片58。集成電路芯片58具備多路復(fù)用器59和收發(fā)電路61。多路復(fù)用器59具備元件單元17側(cè)的端口組59a和收發(fā)電路61側(cè)的端口組59b。在元件單元17側(cè)的端口組59a經(jīng)由配線62連接有第一信號(hào)線38和第二信號(hào)線42。這樣，端口組59a與元件陣列22連接。此處，集成電路芯片55內(nèi)的規(guī)定數(shù)量的信號(hào)線63與收發(fā)電路61側(cè)的端口組59b連接。規(guī)定數(shù)量相當(dāng)于掃描時(shí)同時(shí)輸出的元件2 3的列數(shù)。多路復(fù)用器59在電纜14側(cè)的端口和元件單元17側(cè)的端口之間管理相互連接。
[0067]收發(fā)電路61具備規(guī)定數(shù)量的轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)64。各轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)64分別與單獨(dú)對(duì)應(yīng)的信號(hào)線63連接。收發(fā)電路61針對(duì)每個(gè)轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)64具備發(fā)送路徑65和接收路徑66。發(fā)送路徑65和接收路徑66并列連接在轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)64上。轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)64將發(fā)送路徑65或者接收路徑66選擇性地與多路復(fù)用器59連接。在發(fā)送路徑65裝入脈沖發(fā)生器67。脈沖發(fā)生器67按照與振動(dòng)膜52的諧振頻率對(duì)應(yīng)的頻率輸出脈沖信號(hào)。在接收路徑66裝入放大器68、低通濾波器(LPF) 69和模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器(ADC) 71。各元件23的輸出信號(hào)被放大并轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。
[0068]收發(fā)電路61具備驅(qū)動(dòng)/接收電路72。發(fā)送路徑65和接收路徑66與驅(qū)動(dòng)/接收電路72連接。驅(qū)動(dòng)/接收電路72根據(jù)掃描的方式同時(shí)控制脈沖發(fā)生器67。驅(qū)動(dòng)/接收電路72根據(jù)掃描的方式接收輸出信號(hào)的數(shù)字信號(hào)。驅(qū)動(dòng)/接收電路72通過(guò)控制線73與多路復(fù)用器59連接。多路復(fù)用器59根據(jù)由驅(qū)動(dòng)/接收電路72供給的控制信號(hào)進(jìn)行相互連
接的管理。
[0069]在裝置終端12裝入處理電路74。處理電路74例如可以具備中央演算處理裝置(CPU)和存儲(chǔ)器。按照處理電路74的處理控制超聲波診斷裝置11的整體動(dòng)作。根據(jù)由用戶輸入的指示，處理電路74控制驅(qū)動(dòng)/接收電路72。處理電路74根據(jù)元件23的輸出信號(hào)生成圖像。圖像通過(guò)描繪數(shù)據(jù)特定。[0070]在裝置終端12裝入描繪電路75。描繪電路75與處理電路74連接。顯示面板15與描繪電路75連接。描繪電路75根據(jù)由處理電路74生成的描繪數(shù)據(jù)生成驅(qū)動(dòng)信號(hào)。驅(qū)動(dòng)信號(hào)被送入顯示面板15。其結(jié)果，顯示面板15放映出圖像。
[0071](3)超聲波診斷裝置11的動(dòng)作
[0072]接著，對(duì)超聲波診斷裝置11的動(dòng)作進(jìn)行簡(jiǎn)單說(shuō)明。處理電路74轉(zhuǎn)換超聲波診斷模式和靈敏度檢測(cè)模式。在超聲波診斷模式中能夠通過(guò)超聲波診斷裝置11進(jìn)行超聲波診斷。在靈敏度檢測(cè)模式中能夠判斷壓電元件部24的靈敏度降低。如果處理電路74選擇超聲波診斷模式，則處理電路74對(duì)驅(qū)動(dòng)/接收電路72指示超聲波的發(fā)送和接收。驅(qū)動(dòng)/接收電路72供給多路復(fù)用器59控制信號(hào)，同時(shí)供給各脈沖發(fā)生器67驅(qū)動(dòng)信號(hào)。脈沖發(fā)生器67對(duì)應(yīng)于驅(qū)動(dòng)信號(hào)的供給輸出脈沖信號(hào)。多路復(fù)用器59按照控制信號(hào)的指示將端口組59a的端口與端口組59b的端口連接。根據(jù)端口的選擇通過(guò)上部電極端子33、35和下部電極端子34、36按列供給元件23脈沖信號(hào)。對(duì)應(yīng)于脈沖信號(hào)的供給，振動(dòng)膜53振動(dòng)。其結(jié)果，向?qū)ο笪?例如人體的內(nèi)部)發(fā)出所需的超聲波束。
[0073]發(fā)送超聲波后，轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)64被轉(zhuǎn)換。多路復(fù)用器59維持端口的連接關(guān)系。轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)64取代發(fā)送路徑65和信號(hào)線63的連接而建立接收路徑66和信號(hào)線63的連接。超聲波的反射波使振動(dòng)膜43振動(dòng)。其結(jié)果，從元件23輸出輸出信號(hào)。輸出信號(hào)被轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)并被送入驅(qū)動(dòng)/接收電路72中。
[0074]反復(fù)進(jìn)行超聲波的發(fā)送和接收。當(dāng)反復(fù)進(jìn)行時(shí)，多路復(fù)用器59變更端子的連接關(guān)系。其結(jié)果，實(shí)現(xiàn)線掃描和扇區(qū)掃描。當(dāng)掃描結(jié)束，處理電路74根據(jù)輸出信號(hào)的數(shù)字信號(hào)形成圖像。形成的圖像在顯示面板15的畫(huà)面上顯示。
[0075]如圖6所示，如果處理電路74選擇靈敏度檢測(cè)模式，則處理電路74在步驟SI中選擇特定的一列元件23組(以下稱(chēng)為“對(duì)象檢測(cè)元件列”)。此處，如圖3所示，可以選擇與多根第二導(dǎo)電體31中、除位于最外側(cè)的兩根第二導(dǎo)電體31之外的一根第二導(dǎo)電體31連接的元件23組作為對(duì)象檢測(cè)元件列76。根據(jù)該選擇，驅(qū)動(dòng)/接收電路72供給多路復(fù)用器59控制信號(hào)。在控制信號(hào)中，對(duì)象檢測(cè)元件列76和鄰接于對(duì)象檢測(cè)元件列76兩側(cè)的兩列元件23組(以下稱(chēng)為“對(duì)象驅(qū)動(dòng)元件列”)被特定。多路復(fù)用器59根據(jù)控制信號(hào)的指示，在端口組59b的任意端口單獨(dú)連接分別與對(duì)象檢測(cè)元件列76和對(duì)象驅(qū)動(dòng)元件列77連接的端口組59a的端口。按照轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)64的轉(zhuǎn)換，對(duì)象檢測(cè)元件列76與接收路徑66連接，兩列對(duì)象驅(qū)動(dòng)元件列77分別與發(fā)送路徑65連接。
[0076]處理電路74在步驟S2中指示對(duì)對(duì)象驅(qū)動(dòng)元件列77供給驅(qū)動(dòng)信號(hào)。處理電路74對(duì)兩個(gè)脈沖發(fā)生器67供給驅(qū)動(dòng)信號(hào)。脈沖發(fā)生器67對(duì)應(yīng)于驅(qū)動(dòng)信號(hào)的供給輸出脈沖信號(hào)(驅(qū)動(dòng)信號(hào))。脈沖信號(hào)通過(guò)第一導(dǎo)電體28和第二導(dǎo)電體31被供給對(duì)象驅(qū)動(dòng)元件列77。這樣，在對(duì)象驅(qū)動(dòng)元件列77中，對(duì)各壓電元件部24施加電壓。此時(shí)，驅(qū)動(dòng)/接收電路72作為將驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸入一部分元件23的壓電元件部24的輸入部發(fā)揮作用。
[0077]在對(duì)象驅(qū)動(dòng)元件列77中，壓電體膜27隨著驅(qū)動(dòng)信號(hào)的供給而變形。壓電體膜27的變形引起振動(dòng)膜51的變形即振動(dòng)。如圖7所示，基板44的分隔壁47隨著對(duì)象驅(qū)動(dòng)元件列77的振動(dòng)膜51的振動(dòng)而振動(dòng)。分隔壁47的振動(dòng)在對(duì)象檢測(cè)元件列76的振動(dòng)膜51中引起振動(dòng)。隨著該振動(dòng)，在對(duì)象檢測(cè)元件列76的壓電體膜27生成應(yīng)力。隨著應(yīng)力的生成，在壓電體膜27中生成電動(dòng)勢(shì)。`電動(dòng)勢(shì)作為輸出信號(hào)被輸出。由于對(duì)象檢測(cè)兀件列76與對(duì)象驅(qū)動(dòng)元件列77鄰接，因此對(duì)象驅(qū)動(dòng)元件列77的振動(dòng)膜51能夠確切地引起對(duì)象檢測(cè)元件列76的振動(dòng)膜51的變形。
[0078]處理電路74在步驟S3中指示對(duì)于接收對(duì)象檢測(cè)元件列76的輸出信號(hào)。輸出信號(hào)被轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)并被送入驅(qū)動(dòng)/接收電路72。此時(shí)，在對(duì)壓電元件中的一部分壓電元件即對(duì)象驅(qū)動(dòng)元件列77的壓電元件部24輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)期間，驅(qū)動(dòng)/接收電路72作為檢測(cè)壓電元件中未輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)的壓電元件即對(duì)象檢測(cè)元件列76的壓電元件部24的振動(dòng)的檢測(cè)部發(fā)揮作用。處理電路74對(duì)輸出信號(hào)的檢測(cè)值進(jìn)行特定。被特定的檢測(cè)值在步驟S4中與預(yù)定的閾值進(jìn)行比較。閾值可以預(yù)先儲(chǔ)存在例如處理電路74的存儲(chǔ)器這種存儲(chǔ)部中。檢測(cè)值如果在閾值以上，則靈敏度被判斷為良好。靈敏度檢測(cè)模式結(jié)束。檢測(cè)值如果在閾值以下，則處理電路74辨別為壓電體膜27的極化量降低。判斷為壓電元件部24的靈敏度降低即“異?！薄＿@樣，如果檢測(cè)為“異?！?，則處理電路74在步驟S5中指示進(jìn)行極化處理。如果進(jìn)行極化處理，則對(duì)各壓電體膜27供給極化用電壓。在壓電體膜27中隨著極化用電壓的施加而實(shí)現(xiàn)極化。
[0079]如上所述，在元件單元17中在使用之前在各壓電體膜27確保極化。極化量隨著時(shí)間的推移而降低。其結(jié)果，元件23的靈敏度降低。因而，如果在檢測(cè)到元件23的靈敏度降低時(shí)對(duì)壓電體膜27重新供給極化用電壓，則壓電體膜27中能夠再次確保充分的極化。元件23的靈敏度能夠返回到良好的狀態(tài)。
[0080]在元件單元17中當(dāng)進(jìn)行超聲波診斷時(shí)，元件陣列22所有的元件23進(jìn)行超聲波的發(fā)送和接收。各元件23在超聲波的發(fā)送和接收間轉(zhuǎn)換。元件23在發(fā)送時(shí)由振動(dòng)膜51發(fā)出超聲波束。接收時(shí)，從對(duì)象物反射來(lái)的超聲波引起該振動(dòng)膜51的振動(dòng)。這樣，對(duì)應(yīng)于反射來(lái)的超聲波從元件23輸 出輸出信號(hào)。然后，元件陣列22中的三列元件23組在判斷靈敏度時(shí)被利用。因而，當(dāng)判斷靈敏度時(shí)不必重新附加其專(zhuān)用結(jié)構(gòu)。能夠簡(jiǎn)單地實(shí)現(xiàn)靈敏度判斷。
[0081]在此例中，當(dāng)判斷靈敏度時(shí)，從兩側(cè)的兩列元件23對(duì)作為檢測(cè)對(duì)象的一列元件23的振動(dòng)膜51施加變形力。因而，與單純地從一側(cè)的一列元件23施加變形力的情況相比，在一次驅(qū)動(dòng)信號(hào)的供給下，作為檢測(cè)對(duì)象的壓電體膜27的應(yīng)力能夠增大。壓電體膜27的電動(dòng)勢(shì)增大。其結(jié)果，能夠提高判斷精度。在元件單元17中能夠?qū)γ苛性谌兄羞M(jìn)行靈敏度判斷。此時(shí)，在元件陣列22兩端的列中，僅從一側(cè)的一列元件23對(duì)作為檢測(cè)對(duì)象的壓電體膜27施加變形力。另外，元件陣列22兩端的列可以僅在判斷靈敏度時(shí)接收驅(qū)動(dòng)電壓，而在超聲波診斷模式不被利用。
[0082]當(dāng)辨別極化量降低時(shí)，還可以取代步驟S4的檢測(cè)值和閾值的比較而觀察輸出信號(hào)的信號(hào)波形的變化率。例如如果信號(hào)電平的上升為閾值以上，則可以判斷靈敏度為良好。信號(hào)電平的上升沿如果低于閾值，則可以辨別為極化量降低。信號(hào)電平的上升能夠根據(jù)以規(guī)定的時(shí)間間隔檢測(cè)的信號(hào)電平的大小進(jìn)行特定。
[0083]另外，處理電路74還可以取代步驟S5的極化處理而根據(jù)“異?！钡臋z測(cè)生成通知信號(hào)。例如在通知信號(hào)中可以含有表示靈敏度降低的圖像信號(hào)。這樣的圖像信號(hào)可以被送入描繪電路75中。靈敏度降低可以通過(guò)顯示面板15的畫(huà)面顯示通知用戶。這樣，用戶能夠知道壓電體膜27的靈敏度降低。根據(jù)這種通知可以交換探頭13b或元件單元17，也可以通過(guò)外部裝置進(jìn)行壓電體膜27的極化處理。[0084]通知信號(hào)中可以取代上述圖像信號(hào)而包含表示電動(dòng)勢(shì)大小的圖像信號(hào)。電動(dòng)勢(shì)大小能夠通過(guò)顯示面板15的畫(huà)面顯示提示給用戶。用戶根據(jù)電動(dòng)勢(shì)大小能夠判斷極化量是否適當(dāng)。當(dāng)輸出這種通知信號(hào)時(shí)，處理電路74能夠?qū)?duì)象驅(qū)動(dòng)元件列77的壓電元件部24輸出在輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)的驅(qū)動(dòng)期間的積分信號(hào)。這樣，能夠獲得驅(qū)動(dòng)期間部分的輸出信號(hào)的積分值。[0085](4)超聲波換能器元件單元的制造方法
[0086]如圖8所示，在硅片78的表面在每個(gè)元件單元17上形成第二導(dǎo)電體31和下部電極端子34、36 (在圖8以后未圖示)。在形成第二導(dǎo)電體31和下部電極端子34、36之前，在硅片78的表面相繼形成二氧化硅膜79和二氧化鋯膜81。在二氧化鋯膜81的表面形成導(dǎo)電膜。導(dǎo)電膜由鈦、銥、或者鉬和鈦的層壓膜構(gòu)成。根據(jù)光刻技術(shù)由導(dǎo)電膜成形為第二導(dǎo)電體31和下部電極端子34、36。
[0087]如圖9所示，在第二導(dǎo)電體31的表面在每個(gè)元件23上形成壓電體膜27和第一導(dǎo)電膜82。在形成壓電體膜27和第一導(dǎo)電膜82時(shí),在娃片78的表面使壓電材料膜和導(dǎo)電材料的膜成膜。壓電材料膜由PZT膜構(gòu)成。導(dǎo)電材料的膜由銥?zāi)?gòu)成。根據(jù)光刻技術(shù)在每個(gè)元件23上由壓電材料膜和導(dǎo)電材料的膜成形為壓電體膜27和第一導(dǎo)電膜82。
[0088]接著，如圖10所示，在硅片78的表面使導(dǎo)電材料的膜83成膜。導(dǎo)電材料的膜83覆蓋在各第一導(dǎo)電膜82上。鄰接的第一導(dǎo)電膜82通過(guò)膜83相互連接。然后，根據(jù)光刻技術(shù)由膜83成形第二導(dǎo)電膜。第二導(dǎo)電膜在與第一導(dǎo)電體31正交方向上延伸，連續(xù)不斷地橫穿過(guò)第一導(dǎo)電體31。第二導(dǎo)電膜在元件陣列22的行方向上將第一導(dǎo)電膜82相互連接。第二導(dǎo)電膜形成第二導(dǎo)電體31、引出配線29和上部電極端子33、35。第二導(dǎo)電膜的一部分與第一導(dǎo)電膜82重疊并與第一導(dǎo)電膜82 —起形成上部電極25。
[0089]然后，如圖11所示，從硅片78的反面形成陣列狀開(kāi)口 46。當(dāng)形成開(kāi)口 46時(shí)進(jìn)行蝕刻處理。二氧化硅膜79作為蝕刻停止層發(fā)揮作用。在二氧化硅膜79和二氧化鋯膜81上劃分出振動(dòng)膜51。開(kāi)口 46形成之后，使加強(qiáng)板用的晶片84的表面與硅片78的反面重合。在重合之前，晶片84被保持在操作機(jī)構(gòu)或工作臺(tái)上。晶片84例如可以使用剛性絕緣性基板。絕緣性基板可以使用硅片。接合時(shí)例如可以使用粘結(jié)劑。接合后，從硅片78切出各個(gè)元件單元17。在切出的元件單元17進(jìn)行極化處理。對(duì)各個(gè)壓電體膜27施加極化用電壓。
[0090](5)第二實(shí)施方式所涉及的超聲波換能器元件單元
[0091]圖12概略示出第二實(shí)施方式所涉及的元件單元17a的結(jié)構(gòu)。第二實(shí)施方式中在基體21上除了上述元件陣列22之外還形成專(zhuān)用于靈敏度檢測(cè)模式的壓電元件組85。元件陣列22如上所述由第一元件23的排列構(gòu)成。壓電元件組85配置在元件陣列22的輪廓外偵U。壓電元件組85具備一個(gè)第二元件86和一對(duì)第三元件87。第二元件86作為檢測(cè)專(zhuān)用元件發(fā)揮作用。第三元件87作為驅(qū)動(dòng)專(zhuān)用元件發(fā)揮作用。第二元件86配置在兩個(gè)第三元件87之間。第二元件86和第三元件87與第一元件23同樣具備壓電元件部24。壓電元件部24由上部電極25、壓電體膜27和下部電極26構(gòu)成。第二元件86形成與第一元件23相同的結(jié)構(gòu)。
[0092]在基體21的表面形成第一輔助導(dǎo)電體88。第一輔助導(dǎo)電體88被公共地分配給第二元件86和第三元件87。第一輔助導(dǎo)電體88公共地連接于第二元件86和第三元件87的壓電體膜27。第一輔助導(dǎo)電體88針對(duì)每個(gè)兀件86、87形成上部電極25。第一輔助導(dǎo)電體88的一端例如與引出配線29連接。第一輔助導(dǎo)電體88可以由與第一導(dǎo)電體28和引出配線29相同的材料形成。
[0093]在基體21的表面上形成第二輔助導(dǎo)電體89。第二輔助導(dǎo)電體89與第二元件86的壓電體膜27連接。第二輔助導(dǎo)電體89形成第二元件86的下部電極26。這樣，在第二元件86中由第一輔助導(dǎo)電體88和第二輔助導(dǎo)電體89對(duì)壓電體膜27施加驅(qū)動(dòng)電壓。第二輔助導(dǎo)電體89可以由與第二導(dǎo)電體31相同的材料形成。
[0094]在基體21的表面形成第三輔助導(dǎo)電體91。第三輔助導(dǎo)電體91被公共連接于第三元件87的壓電體膜27。第三輔助導(dǎo)電體91形成第三元件87的下部電極26。這樣，在第三兀件87中由第一輔助導(dǎo)電體88和第三輔助導(dǎo)電體91對(duì)壓電體膜27施加驅(qū)動(dòng)電壓。第三輔助導(dǎo)電體91可以由與第二導(dǎo)電體31相同的材料形成。
[0095]在第一端子陣列32a裝入第一輔助電極端子92和第二輔助電極端子93。第一輔助電極端子92與第二輔助導(dǎo)電體89電連接。第一輔助電極端子92可以與第二輔助電極端子89 —體化。第二輔助電極端子93與第三輔助導(dǎo)電體91電連接。第二輔助電極端子93可以與第三輔助導(dǎo)電體91 一體化。第一輔助電極端子91和第二輔助電極端子93與第一配線板37的第一信號(hào)線38單獨(dú)接合。
[0096]如圖13所示，在基板44上除了上述第一開(kāi)口 46之外還形成第二開(kāi)口 94和第三開(kāi)口 95。第二開(kāi)口 94劃分第二元件86的振動(dòng)膜51。第三開(kāi)口 95劃分第三元件87的振動(dòng)膜51。因而，第二開(kāi)口 94和第三開(kāi)口 95配置于元件陣列22的輪廓外側(cè)。第三開(kāi)口 95配置為比第一開(kāi)口 46更接近第二開(kāi)口 94。在第二開(kāi)口 94上配置第二元件86的壓電元件部24。在第三開(kāi)口 95上配置第三元件87的壓電元件部24。這樣，第二元件86和第三元件87的壓電元件部24與各 自對(duì)應(yīng)的振動(dòng)膜51結(jié)合。
[0097]此時(shí)，第三元件87的壓電元件部24形成比第一和第二元件23、86的壓電元件部24大的面積。具體而言，在與第二元件86輪廓的中心軸正交的方向上，第三元件87的壓電元件部24具有大于第二元件86的壓電元件部24的第一寬度Wl的第二寬度W2。并且，第三元件87的壓電元件部24延伸至第三開(kāi)口 95的輪廓外側(cè)。即，第三元件87的壓電元件部24橫穿過(guò)第三開(kāi)口 95而連接基板44的另一側(cè)。壓電元件部24的大小可以規(guī)定為壓電體膜27中被上部電極25和下部電極26夾著的區(qū)域。
[0098]如圖14所示，當(dāng)利用第二實(shí)施方式所涉及的元件單元17a時(shí)，在超聲波診斷裝置11的集成電路芯片58中，除了上述上部電極端子33、35和下部電極端子34、36之外，第一輔助電極端子92和第二輔助電極端子93還經(jīng)由配線62與多路復(fù)用器59的端口組59a連接。處理電路74如果選擇靈敏度檢測(cè)模式，則在多路復(fù)用器59的作用下第一輔助電極端子92與接收路徑66連接，第二輔助電極端子93與發(fā)送路徑連接。其他結(jié)構(gòu)和動(dòng)作與前面所述相同。
[0099]處理電路74如果選擇超聲波診斷模式，則與前面所述相同，通過(guò)上部電極端子33,35和下部電極端子34、36供給元件陣列22內(nèi)的第一元件23驅(qū)動(dòng)信號(hào)。在多路復(fù)用器59的作用下實(shí)現(xiàn)線掃描和扇區(qū)掃描。根據(jù)檢測(cè)信號(hào)，在顯示面板15的畫(huà)面上顯示圖像。
[0100]處理電路74如果選擇靈敏度檢測(cè)模式，則驅(qū)動(dòng)/接收電路72供給多路復(fù)用器59控制信號(hào)。在控制信號(hào)中第二元件86和第三元件87被特定。多路復(fù)用器59根據(jù)控制信號(hào)的指示，將連接于第一輔助電極端子92和第二輔助電極端子93的端口組59a的端口單獨(dú)與端口組59b的任意端口連接。根據(jù)轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)64的轉(zhuǎn)換，第一輔助電極端子92與接收路徑66連接，第二輔助電極端子93與發(fā)送路徑65連接。
[0101]處理電路74指示供給第三元件87驅(qū)動(dòng)信號(hào)。處理電路74供給脈沖發(fā)生器67驅(qū)動(dòng)信號(hào)。脈沖發(fā)生器67對(duì)應(yīng)于驅(qū)動(dòng)信號(hào)的供給輸出脈沖信號(hào)(驅(qū)動(dòng)信號(hào))。脈沖信號(hào)通過(guò)第一輔助導(dǎo)電體88和第二輔助導(dǎo)電體89被供給第三元件87。
[0102]在第三元件87中壓電體膜27隨著驅(qū)動(dòng)信號(hào)的供給而變形。壓電體膜27的變形引起振動(dòng)膜51的變形。第三元件87的振動(dòng)膜51的變形在第二元件86的振動(dòng)膜51中引起變形。隨著該變形，在第二元件86的壓電體膜27生成應(yīng)力。隨著應(yīng)力的生成，在壓電體膜27中生成電動(dòng)勢(shì)。電動(dòng)勢(shì)作為輸出信號(hào)被輸出。
[0103]處理電路74指示接收針對(duì)第二元件86的輸出信號(hào)。輸出信號(hào)被轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)并送入驅(qū)動(dòng)/接收電路72中。處理電路74對(duì)輸出信號(hào)的檢測(cè)值進(jìn)行特定。被特定的檢測(cè)值與預(yù)定的閾值進(jìn)行比較。檢測(cè)值如果在閾值以上，則靈敏度檢測(cè)模式結(jié)束。檢測(cè)值如果低于閾值，則處理電路74認(rèn)定壓電體膜27的極化量降低。通常，由于第二元件86的特性反映第一壓電元件23的特性，因此能夠根據(jù)第二元件86的異常推斷第一元件23的異常。這樣，在第二元件86中如果判斷為壓電元件部24的靈敏度降低即“異?！?，則與前面所述同樣，處理電路74可以指示進(jìn)行極化處理，也可以生成通知信號(hào)。
[0104]此處，第二元件86具有與第一元件23相同的結(jié)構(gòu)。第二開(kāi)口 94形成與第一開(kāi)口46相同的形狀。振動(dòng)膜51具有相同形狀和相同膜厚。壓電元件部24具有相同的結(jié)構(gòu)。這樣，第二元件86的特性可以簡(jiǎn)單地與第一元件23的特性建立關(guān)聯(lián)。第二元件86的特性能夠高精度地反映第一元件23的特性。在元件陣列22內(nèi)由于各元件中特性的偏差小，因此如果一個(gè)第二元件86被特定，則能夠推斷所有的第一元件23的特性。
[0105]在壓電元件組85中從兩側(cè)的第三元件87對(duì)作為檢測(cè)對(duì)象的第二元件86的振動(dòng)膜51施加變形力。因而，與單純地從一側(cè)施加變形力的情況相比，在一次驅(qū)動(dòng)信號(hào)的供給下作為檢測(cè)對(duì)象的壓電體膜27的應(yīng)力可以增大。壓電體膜27的電動(dòng)勢(shì)增大。其結(jié)果，能夠提高判斷精度。并且，第三元件87中，振動(dòng)膜51可以放大壓電體膜27的變形。其結(jié)果，第二元件86的壓電體膜27的變形可以增大。能夠進(jìn)一步提高判斷精度。但是，只要從第三元件87的壓電體對(duì)第二元件86的壓電體膜27施加足夠的變形力，則在第三元件87中就能夠省略振動(dòng)膜51。
[0106]壓電元件組85中第三元件87的壓電元件部24形成為大于第二元件86的壓電元件24。這樣，能夠?qū)Φ诙?6施加更大的變形力。其結(jié)果，能夠提高判斷精度。由于壓電元件組85配置在元件陣列22的輪廓外側(cè)，因此第三元件87的放大不影響元件陣列22內(nèi)的第一元件23。
[0107]另外，第三元件87的壓電元件部24延伸至第三開(kāi)口 95的輪廓外側(cè)。第三元件87的變形能夠直接傳遞至第二開(kāi)口 94周?chē)幕?4即分隔壁47。因而，與第三元件87的變形通過(guò)振動(dòng)膜51傳遞至第二開(kāi)口 94周?chē)幕?4的情況相比，第三元件87的變形能夠有效地傳遞至第二元件86。其結(jié)果，第二元件86的應(yīng)力能夠增大。能夠提高判斷精度。
[0108](6)第三實(shí)施方式所涉及的超聲波換能器元件單元
[0109]圖15概略示出第三實(shí)施方式所涉及的元件單元17b的結(jié)構(gòu)。第三實(shí)施方式中，取代基體21上所述的壓電元件組85而在基體21上形成專(zhuān)用于靈敏度檢測(cè)模式的單一的第二元件86。第二元件86配置在元件陣列22的輪廓外側(cè)。第二元件86與第一元件23同樣具備壓電元件部24。第二元件86形成與第一元件23相同的結(jié)構(gòu)。第二輔助導(dǎo)電體89與第二元件86的壓電體膜27連接。第一輔助電極端子92與第二輔助導(dǎo)電體89電連接。其他結(jié)構(gòu)和動(dòng)作與前面所述相同。
[0110]處理電路74如果選擇靈敏度檢測(cè)模式，則驅(qū)動(dòng)/接收電路72供給多路復(fù)用器59控制信號(hào)。在控制信號(hào)中第二元件86和最接近第二元件86的一列第一元件23組(以下稱(chēng)為“對(duì)象驅(qū)動(dòng)元件列”)被特定。多路復(fù)用器59根據(jù)控制信號(hào)的指示，使與對(duì)象驅(qū)動(dòng)元件列和第二輔助電極端子93連接的端口組59a的端口與端口組59b的任意端口單獨(dú)連接。根據(jù)轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)64的轉(zhuǎn)換，第一輔助電極端子92與接收路徑66連接，第二輔助電極端子93與發(fā)送路徑65連接。
[0111](7)其他實(shí)施方式所涉及的超聲波診斷裝置
[0112]圖16概略示出其他實(shí)施方式所涉及的超聲波診斷裝置Ila的電路結(jié)構(gòu)。在超聲波診斷裝置I Ia中，集成電路芯片58a與元件單元17、17a、17b連接。元件單元17、17a、17b中，對(duì)每個(gè)元件陣列22的列分配發(fā)送用元件23和接收用元件23。發(fā)送用的列和接收用的列例如可以交替配置。在集成電路芯片58a中，發(fā)送路徑65和接收路徑66單獨(dú)與多路復(fù)用器59連接。在發(fā)送超聲波時(shí)，多路復(fù)用器59按照每個(gè)發(fā)送用的列使發(fā)送路徑65與元件23連接。在接收超聲波時(shí)，多路復(fù)用器59按照每個(gè)接收用的列使接收路徑66與元件23連接。連接于發(fā)送路徑65的元件23負(fù)責(zé)發(fā)送超聲波。連接于接收路徑66的元件23負(fù)責(zé)接收超聲波。這樣，由于按照每個(gè)元件23分擔(dān)發(fā)送和接收超聲波，因此各個(gè)元件23可以被專(zhuān)門(mén)化而調(diào)整為發(fā)送或者接收超聲波。其結(jié)果，能夠提高超聲波的接收靈敏度。
[0113]另外，雖然如上所述對(duì)本實(shí)施方式進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，但是可以在實(shí)質(zhì)上不脫離本發(fā)明的新內(nèi)容和效果的前提下，進(jìn)行多種多樣的變形，這對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)是容易理解的。因而，這種變形 例均包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。例如，說(shuō)明書(shū)或者附圖中，至少一次與更加廣義或同義的不同術(shù)語(yǔ)一起被記載的術(shù)語(yǔ)，在說(shuō)明書(shū)或附圖中的任何位置，均能夠替換成該不同術(shù)語(yǔ)。另外，超聲波診斷裝置ll、lla、超聲波探測(cè)器13、探頭13b、元件單元
17、17&、元件23、86、87、集成電路芯片58、58a等的結(jié)構(gòu)和動(dòng)作也不局限于本實(shí)施方式中所說(shuō)明的內(nèi)容，而可以進(jìn)行各種變形。
【權(quán)利要求】
1.一種超聲波換能器裝置，其特征在于， 具備: 基板，具有多個(gè)開(kāi)口 ； 振動(dòng)膜，針對(duì)所述開(kāi)口的每一個(gè)而存在并閉塞所述開(kāi)口； 壓電元件，針對(duì)每個(gè)所述開(kāi)口地設(shè)置在所述振動(dòng)膜上； 輸入部，對(duì)所述壓電元件中的一部分壓電元件輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)；以及檢測(cè)部，在對(duì)所述壓電元件中的一部分壓電元件輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的期間，所述檢測(cè)部檢測(cè)所述壓電元件中未輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的壓電元件的振動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波換能器裝置，其特征在于， 所述超聲波換能器裝置具備控制處理部， 所述控制處理部根據(jù)檢測(cè)未輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的所述壓電元件的振動(dòng)的檢測(cè)結(jié)果辨別所述壓電元件的靈敏度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的超聲波換能器裝置，其特征在于， 多個(gè)所述開(kāi)口在所述基板的厚度方向的俯視觀察中配置為矩陣狀或者線狀， 所述檢測(cè)部檢測(cè)未輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的所述壓電元件中、與輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的所述一部分壓電元件鄰接的壓電元件的振動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超聲波換能器裝置，其特征在于， 所述檢測(cè)部檢測(cè)未輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的所述壓電元件中、位于輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的兩個(gè)壓電元件之間且與所述兩個(gè)壓電元件鄰接的壓電元件的振動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的超聲波換能器裝置，其特征在于， 所述控制處理部辨別為未輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的所述壓電元件的靈敏度在規(guī)定值以下時(shí)，對(duì)未輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的所述壓電元件供給極化用電壓。
6.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的超聲波換能器裝置，其特征在于， 所述控制處理部辨別為未輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的所述壓電元件的靈敏度在規(guī)定值以下時(shí)，輸出表示靈敏度在所述規(guī)定值以下的通知信號(hào)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波換能器裝置，其特征在于， 該超聲波換能器裝置具備控制處理部， 所述控制處理部根據(jù)檢測(cè)未輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的所述壓電元件的振動(dòng)的檢測(cè)結(jié)果輸出通知信號(hào)。
8.一種超聲波換能器裝置，其特征在于， 具備: 基板，具有第一開(kāi)口、第二開(kāi)口和作為被所述第一開(kāi)口以及所述第二開(kāi)口夾著的部分的隔壁部； 振動(dòng)膜，閉塞所述第一開(kāi)口和所述第二開(kāi)口 ； 第一壓電元件，在所述基板的厚度方向的俯視觀察中，設(shè)置在所述振動(dòng)膜上并包含與所述第一開(kāi)口重疊的位置； 第二壓電元件，在所述基板的厚度方向的俯視觀察中，設(shè)置在所述振動(dòng)膜上并包含與所述第二開(kāi)口重疊的位置； 輸入部，對(duì)所述第一壓電元件輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)；以及檢測(cè)部，在對(duì)所述第一壓電元件輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的期間，所述檢測(cè)部檢測(cè)未輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的所述第二壓電元件的振動(dòng)， 所述隔壁部具有所述基板的厚度方向的厚度比所述基板的厚度方向的俯視觀察中的所述第一開(kāi)口和所述第二開(kāi)口之間的距離的最小值大的形狀。
9.一種超聲波換能器裝置，其特征在于， 具備: 基板，具有配置為矩陣狀或者線狀的多個(gè)第一開(kāi)口和配置在多個(gè)所述第一開(kāi)口所配置的區(qū)域的輪廓外側(cè)的第二開(kāi)口； 振動(dòng)膜，閉塞所述第一開(kāi)口和所述第二開(kāi)口 ； 第一壓電元件，在所述基板的厚度方向的俯視觀察中，針對(duì)多個(gè)所述第一開(kāi)口的每一個(gè)地設(shè)置在所述振動(dòng)膜上； 第二壓電元件，在所述基板的厚度方向的俯視觀察中，設(shè)置在所述振動(dòng)膜上并包含與所述第二開(kāi)口重疊的位置； 輸入部，對(duì)所述第一壓電元件輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)；以及 檢測(cè)部，在對(duì)所述第一壓電元件輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的期間，所述檢測(cè)部檢測(cè)未輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的所述第二壓電元件的振動(dòng)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的超聲波換能器裝置，其特征在于， 所述第一開(kāi)口和所述第二開(kāi)口形成為相同的形狀，所述第一壓電元件和所述第二壓電元件形成為相同的結(jié)構(gòu)。
11.一種超聲波換能器裝置，其特征在于， 具備: 基板，具有配置為矩陣狀或者線狀的多個(gè)第一開(kāi)口、配置在多個(gè)所述第一開(kāi)口所配置的區(qū)域的輪廓外側(cè)的第二開(kāi)口、及配置在多個(gè)所述第一開(kāi)口所配置的區(qū)域的輪廓外側(cè)且比所述第一開(kāi)口接近所述第二開(kāi)口的位置的第三開(kāi)口； 振動(dòng)膜，閉塞所述第一開(kāi)口、所述第二開(kāi)口和所述第三開(kāi)口 ； 第一壓電元件，在所述基板的厚度方向的俯視觀察中，針對(duì)多個(gè)所述第一開(kāi)口的每一個(gè)地設(shè)置在所述振動(dòng)膜上； 第二壓電元件，在所述基板的厚度方向的俯視觀察中，設(shè)置在所述振動(dòng)膜上并包含與所述第二開(kāi)口重疊的位置； 第三壓電元件，在所述基板的厚度方向的俯視觀察中，設(shè)置在所述振動(dòng)膜上并包含與所述第三開(kāi)口重疊的位置； 輸入部，對(duì)所述第三壓電元件輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)；以及 檢測(cè)部，在對(duì)所述第三壓電元件輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的期間，所述檢測(cè)部檢測(cè)未輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的所述第二壓電元件的振動(dòng)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的超 聲波換能器裝置，其特征在于， 在所述基板的厚度方向的俯視觀察中，所述第三壓電元件具有比所述第二壓電元件大的面積。
13.根據(jù)權(quán)利要求9至12中任一項(xiàng)所述的超聲波換能器裝置，其特征在于， 所述超聲波換能器裝置具備控制處理部，所述控制處理部根據(jù)檢測(cè)未輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的所述第二壓電元件的振動(dòng)的檢測(cè)結(jié)果辨別所述第一壓電元件的靈敏度。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的超聲波換能器裝置，其特征在于， 所述控制處理部辨別為所述第一壓電元件的靈敏度在規(guī)定值以下時(shí)，對(duì)所述第一壓電元件供給極化用電壓。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的超聲波換能器裝置，其特征在于， 所述控制處理部辨別為所述第一壓電元件的靈敏度在規(guī)定值以下時(shí)，輸出表示靈敏度在所述規(guī)定值以下的通知信號(hào)。
16.一種探測(cè)器，其特征在于， 具備權(quán)利要求1至15中任一項(xiàng)所述的超聲波換能器裝置、以及支承所述超聲波換能器裝置的箱體。
17.—種電子設(shè)備,其特征在于， 具備權(quán)利要求1至15中任一項(xiàng)所述的超聲波換能器裝置、以及與所述超聲波換能器裝置連接并處理所述超聲波換能器裝置的輸出的處理部。
18.—種超聲波診斷裝置，其特征在于， 具備權(quán)利要求1至15中任一項(xiàng)所述的超聲波換能器裝置，與所述超聲波換能器裝置連接、處理所述超聲波換能器裝置的輸出并生成圖像的處理部，以及顯示所述圖像的顯示裝置。
19.一種探頭，其特征在于， 具備權(quán)利要求1至15中任一項(xiàng)所述的超聲波換能器裝置、以及支承所述超聲波換能器裝置的箱體。
20.一種超聲波換能器裝置，其特征在于， 具備: 基板，具有由隔壁部劃分的多個(gè)開(kāi)口 ； 振動(dòng)膜，閉塞所述開(kāi)口 ； 壓電元件，針對(duì)每個(gè)所述開(kāi)口地設(shè)置在所述振動(dòng)膜上； 輸入部，對(duì)多個(gè)所述壓電元件中的一部分壓電元件輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)；以及檢測(cè)部，在對(duì)所述一部分壓電元件輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的期間，所述檢測(cè)部檢測(cè)未輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的所述壓電元件的振動(dòng)， 通過(guò)對(duì)所述一部分壓電元件輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)而振動(dòng)的所述振動(dòng)膜的振動(dòng)使所述隔壁部變形并使未輸入所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)的所述壓電元件振動(dòng)。
【文檔編號(hào)】A61B8/00GK103654848SQ201310379245
【公開(kāi)日】2014年3月26日 申請(qǐng)日期:2013年8月27日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月28日
【發(fā)明者】西脅學(xué) 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社